【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空处理，尤其涉及一种搬送装置及真空处理系统。
技术介绍
1、真空镀膜通常是指在一定真空条件下利用蒸发或溅射等手段使金属或非金属材料以气相形式沉积到基板表面而形成薄膜的一种方法。目前，自动化连续式真空镀膜设备成为镀膜设备发展的趋势之一，为实现真空镀膜设备自动化连续式工作，其中一个关键技术是基板装卸的自动化。
2、目前，一般采用承载治具作为装载基板的载体，通过搬送机构将承载治具从搬送腔室搬入到真空镀膜室，或从真空镀膜室搬出到搬送腔室，以此完成自动化上下料。但现有技术中的搬送机构搬送效率较低，为满足真空镀膜设备自动化连续式工作，需设置多个搬送腔室和搬送机构，进而导致成本增加。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种搬送装置及真空处理系统，以解决现有技术中搬送机构搬送效率较低，为满足真空处理设备自动化连续式工作，需设置多个搬送腔室和搬送机构，进而导致成本增加的问题。
2、为达上述目的，本技术采用以下技术方案：
3、第一方面，本技术提供一种搬送装置，用于搬送基板架，上述搬送装置包括：
4、第一送料机构，上述第一送料机构包括第一载台、第一伸缩组件和第一装载组件，上述第一伸缩组件设于上述第一载台上，上述第一伸缩组件的驱动端连接上述第一装载组件，用于驱动上述第一装载组件沿第一方向和第二方向所在平面的任一方向移动；上述第一装载组件用于装载上述基板架；
5、第二送料机构，上述第二送料机构包括第二载台、第二伸缩组件和第二装载组件
6、移动机构，上述移动机构的驱动端连接上述第一载台和/或第二载台，用于驱动上述第一载台和/或第二载台沿上述第三方向移动。
7、作为上述搬送装置的一种可选方案，上述第一送料机构还包括旋转组件，上述旋转组件连接上述第一载台，上述旋转组件的驱动端连接上述第一伸缩组件，用于驱动上述第一伸缩组件旋转；或，
8、上述第一送料机构还包括第三伸缩组件，上述第三伸缩组件连接上述第一载台，上述第三伸缩组件的驱动端连接上述第一伸缩组件，用于驱动上述第一伸缩组件沿上述第二方向移动。
9、作为上述搬送装置的一种可选方案，上述第一装载组件包括第一支撑板、第一夹件和第二夹件，上述第一支撑板设于上述第一伸缩组件的驱动端，上述第一夹件和上述第二夹件均设于上述第一支撑板上；上述第一夹件具有第一台阶槽，上述第二夹件具有第二台阶槽，上述第一台阶槽和上述第二台阶槽相对设置，上述基板架的两侧能够嵌设于上述第一台阶槽和上述第二台阶槽内。
10、作为上述搬送装置的一种可选方案，上述第一台阶槽设置有第一定位件，上述第二台阶槽设置有第二定位件，上述第一定位件和上述第二定位件均能够插设于上述基板架内。
11、作为上述搬送装置的一种可选方案，上述第二装载组件包括第二支撑板和u型夹件，上述第二支撑板设于上述第二伸缩组件的驱动端，上述u型夹件设于上述第二支撑板上；上述u型夹件具有u型口，上述基板架的部分能够放置于上述u型夹件上，上述基板架的另一部分能够穿过上述u型口。
12、作为上述搬送装置的一种可选方案，上述第一伸缩组件包括第一固定板、第一伸缩板、第一直线模组和第二直线模组，上述第一固定板设于上述第一载台上；上述第一直线模组设于上述第一固定板上，上述第二直线模组设于上述第一伸缩板上；上述第一直线模组的驱动端连接上述第一伸缩板，上述第二直线模组的驱动端连接上述第一装载组件，上述第一直线模组和上述第二直线模组分别能够驱动上述第一伸缩板和上述第一装载组件移动。
13、作为上述搬送装置的一种可选方案，上述第二伸缩组件包括第二固定板、第二伸缩板、第三直线模组和第四直线模组，上述第二固定板设于上述第二载台上；上述第三直线模组设于上述第二固定板上，上述第四直线模组设于上述第二伸缩板上；上述第三直线模组的驱动端连接上述第二伸缩板，上述第四直线模组的驱动端连接上述第二装载组件，上述第三直线模组和上述第四直线模组分别能够驱动上述第二伸缩板和上述第二装载组件移动。
14、作为上述搬送装置的一种可选方案，上述移动机构包括第一移动组件和第二移动组件，上述第一移动组件的驱动端连接上述第一载台，用于驱动上述第一载台沿上述第三方向移动，上述第二移动组件的驱动端连接上述第二载台，用于驱动上述第二载台沿上述第三方向移动。
15、作为上述搬送装置的一种可选方案，上述第一移动组件包括至少两个，至少两个上述第一移动组件设于上述第一载台的相对两侧；上述第二移动组件包括至少两个，至少两个上述第二移动组件设于上述第二载台的相对两侧。
16、作为上述搬送装置的一种可选方案，两个上述第一移动组件和两个上述第二移动组件呈矩形排布。
17、第二方面，本技术提供一种真空处理系统，包括如上述的搬送装置，上述真空处理系统还包括搬送室、真空处理室和真空处理装置，上述搬送装置设于上述搬送室内，上述真空处理装置设于上述真空处理室内；上述搬送室与上述真空处理室之间设置有连通通道。
18、本技术的有益效果为：
19、该搬送装置包括第一送料机构、第二送料机构和移动机构。第一送料机构包括第一载台、第一伸缩组件和第一装载组件，第二送料机构包括第二载台、第二伸缩组件和第二装载组件。其中，第一伸缩组件能够调整第一装载组件在第一方向和第二方向所在平面的任一方向上的位置，从而第一送料机构通过第一装载组件能够将搬送室外的未处理的基板架移动至搬送室内。同时，第二伸缩组件能够调整第二装载组件在第一方向和第二方向所在平面的任一方向上的位置，从而第二送料机构的第二装载组件能够将真空处理室内处理完成的基板架移动至搬送室内，再配合移动机构在第三方向移动第一载台和/或第二载台，以将基板架从第二装载组件转移至第一装载组件上，最终通过第一送料机构将处理完成的基板架送出搬送室。该搬送装置能够合理规划搬送室与真空处理室之间，以及搬送室与外界之间对基板架的搬送移动，以此提高基板架的搬送效率，且仅需一个搬送装置和一个搬送室就能够满足真空处理设备自动化连续式工作，以此降低了成本，减少了搬送等待时间和抽真空的时间。
20、本技术的真空处理系统包括上述的搬送装置，该真空处理系统还包括搬送室、真空处理室和真空处理装置，搬送装置设于搬送室内，真空处理装置设于真空处理室内，且搬送室与真空处理室之间设置有连通通道，从而真空处理系统利用搬送装置能够高效的实现外界与搬送室之间，以及搬送室与真空处理室之间对基板架的搬送移动。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种搬送装置，用于搬送基板架(3)，其特征在于，所述搬送装置包括：
2.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，所述第一送料机构(1)还包括旋转组件(13)，所述旋转组件(13)连接所述第一载台(11)，所述旋转组件(13)的驱动端连接所述第一伸缩组件(14)，用于驱动所述第一伸缩组件(14)旋转；或，
3.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，所述第一装载组件(15)包括第一支撑板(151)、第一夹件(152)和第二夹件(153)，所述第一支撑板(151)设于所述第一伸缩组件(14)的驱动端，所述第一夹件(152)和所述第二夹件(153)均设于所述第一支撑板(151)上；所述第一夹件(152)具有第一台阶槽(1521)，所述第二夹件(153)具有第二台阶槽(1531)，所述第一台阶槽(1521)和所述第二台阶槽(1531)相对设置，所述基板架(3)的两侧能够嵌设于所述第一台阶槽(1521)和所述第二台阶槽(1531)内。
4.根据权利要求3所述的搬送装置，其特征在于，所述第一台阶槽(1521)设置有第一定位件(1522)，所述第二台
5.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，所述第二装载组件(24)包括第二支撑板(241)和U型夹件(242)，所述第二支撑板(241)设于所述第二伸缩组件(23)的驱动端，所述U型夹件(242)设于所述第二支撑板(241)上；所述U型夹件(242)具有U型口(2421)，所述基板架(3)的部分能够放置于所述U型夹件(242)上，所述基板架(3)的另一部分能够穿过所述U型口(2421)。
6.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，所述第一伸缩组件(14)包括第一固定板(141)、第一伸缩板(142)、第一直线模组(143)和第二直线模组(144)，所述第一固定板(141)设于所述第一载台(11)上；所述第一直线模组(143)设于所述第一固定板(141)上，所述第二直线模组(144)设于所述第一伸缩板(142)上；所述第一直线模组(143)的驱动端连接所述第一伸缩板(142)，所述第二直线模组(144)的驱动端连接所述第一装载组件(15)，所述第一直线模组(143)和所述第二直线模组(144)分别能够驱动所述第一伸缩板(142)和所述第一装载组件(15)移动。
7.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，所述第二伸缩组件(23)包括第二固定板、第二伸缩板、第三直线模组和第四直线模组，所述第二固定板设于所述第二载台(21)上；所述第三直线模组设于所述第二固定板上，所述第四直线模组设于所述第二伸缩板上；所述第三直线模组的驱动端连接所述第二伸缩板，所述第四直线模组的驱动端连接所述第二装载组件(24)，所述第三直线模组和所述第四直线模组分别能够驱动所述第二伸缩板和所述第二装载组件(24)移动。
8.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，所述移动机构包括第一移动组件(12)和第二移动组件(22)，所述第一移动组件(12)的驱动端连接所述第一载台(11)，用于驱动所述第一载台(11)沿所述第三方向移动，所述第二移动组件(22)的驱动端连接所述第二载台(21)，用于驱动所述第二载台(21)沿所述第三方向移动。
9.根据权利要求8所述的搬送装置，其特征在于，所述第一移动组件(12)包括至少两个，至少两个所述第一移动组件(12)设于所述第一载台(11)的相对两侧；所述第二移动组件(22)包括至少两个，至少两个所述第二移动组件(22)设于所述第二载台(21)的相对两侧。
10.根据权利要求9所述的搬送装置，其特征在于，两个所述第一移动组件(12)和两个所述第二移动组件(22)呈矩形排布。
11.一种真空处理系统，其特征在于，包括如权利要求1～10任一项所述的搬送装置，所述真空处理系统还包括搬送室(4)、真空处理室(5)和真空处理装置，所述搬送装置设于所述搬送室(4)内，所述真空处理装置设于所述真空处理室(5)内；所述搬送室(4)与所述真空处理室(5)之间设置有连通通道。
...【技术特征摘要】
1.一种搬送装置，用于搬送基板架(3)，其特征在于，所述搬送装置包括：
2.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，所述第一送料机构(1)还包括旋转组件(13)，所述旋转组件(13)连接所述第一载台(11)，所述旋转组件(13)的驱动端连接所述第一伸缩组件(14)，用于驱动所述第一伸缩组件(14)旋转；或，
3.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，所述第一装载组件(15)包括第一支撑板(151)、第一夹件(152)和第二夹件(153)，所述第一支撑板(151)设于所述第一伸缩组件(14)的驱动端，所述第一夹件(152)和所述第二夹件(153)均设于所述第一支撑板(151)上；所述第一夹件(152)具有第一台阶槽(1521)，所述第二夹件(153)具有第二台阶槽(1531)，所述第一台阶槽(1521)和所述第二台阶槽(1531)相对设置，所述基板架(3)的两侧能够嵌设于所述第一台阶槽(1521)和所述第二台阶槽(1531)内。
4.根据权利要求3所述的搬送装置，其特征在于，所述第一台阶槽(1521)设置有第一定位件(1522)，所述第二台阶槽(1531)设置有第二定位件(1532)，所述第一定位件(1522)和所述第二定位件(1532)均能够插设于所述基板架(3)内。
5.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，所述第二装载组件(24)包括第二支撑板(241)和u型夹件(242)，所述第二支撑板(241)设于所述第二伸缩组件(23)的驱动端，所述u型夹件(242)设于所述第二支撑板(241)上；所述u型夹件(242)具有u型口(2421)，所述基板架(3)的部分能够放置于所述u型夹件(242)上，所述基板架(3)的另一部分能够穿过所述u型口(2421)。
6.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，所述第一伸缩组件(14)包括第一固定板(141)、第一伸缩板(142)、第一直线模组(143)和第二直线模组(144)，所述第一固定板(141)设于所述第一载台(11)上；所述第一直线模组(143)设于所述第一固定...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄永长，龙汝磊，吴萍，邵鑫，黄道柱，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。