【技术实现步骤摘要】
本申请属于传感，具体涉及一种mems深海水听器。
技术介绍
1、科技发展的步履不停，人类对地球的探索永无止境。从陆地到海洋，从浅海到深海，广袤的海洋蕴藏着丰富的资源，都需要与环境相适应的技术进行探索。海洋中最重要的信息是水声信号，而水听器就成为了海洋探索的重要器件。
2、传统水听器尺寸大，不利于阵列化，而mems水听器具有尺寸小、成本低、功耗低、一致性高等优点。目前，mems水听器根据其工作原理，主要可以分为电容式、压阻式和压电式三种。电容式水听器灵敏度高，压阻式水听器的结构简单，低频特性好，压电式水听器结构简单，灵敏度较高，无需外接电源，噪音低，温度稳定性高。
3、传统的压电陶瓷类的水听器耐静水压能力较强，而mems水听器的敏感元件为一个可以感受声压信号的振动膜，其振膜较薄，对比之下耐静水压能力弱。深海中静水压较高，振膜正反面压力差过大会严重影响器件灵敏度甚至导致振膜破裂，因此亟需设计一种静水压平衡结构，使得mems水听器能在深海高压环境中正常工作。
技术实现思路
1、本申请的目的在于克服现有mems水听器无法适应深海高静水压环境的缺陷。
2、为了实现上述目的，本申请提出了一种mems深海水听器，其特征在于，所述水听器包括：透声胶囊、平压板、平压孔、底座、水密插头、引线、mems水听器芯片和填充液体；
3、所述透声胶囊为采用透声材料制成的外壳，与所述底座一起形成一个密封空间，所述密封空间中充满填充液体；
4、所述平压板为
5、所述mems水听器芯片固定在平压板上，通过引线与穿过底座的水密插头电连接。
6、作为上述水听器的一种改进，所述水听器还包括支撑结构；
7、所述支撑结构将平压板与底座固定连接在一起，使平压板与底座的位置相对固定。
8、作为上述水听器的一种改进，所述平压板、支撑结构和底座的材质包括金属、陶瓷、有机材料或复合材料。
9、作为上述水听器的一种改进，所述支撑结构为柱形的支撑柱；若干个所述支撑柱将平压板与底座固定连接在一起。
10、作为上述水听器的一种改进，所述支撑结构为支撑墙；所述支撑墙为连续或不连续的板状结构，将平压板与底座固定连接在一起。
11、作为上述水听器的一种改进，所述水听器的形状为圆柱形、胶囊形、球形、半球形或方形。
12、作为上述水听器的一种改进，所述水听器还包括贯穿所述底座的注油孔/针；
13、所述填充液体通过注油孔/针注入密封空间内；
14、所述注油孔/针具有密封功能，防止密封空间中的填充液体流出。
15、作为上述水听器的一种改进，所述填充液体的组成包括硅油或蓖麻油。
16、作为上述水听器的一种改进，所述透声胶囊的材料包括聚氨酯、氯丁橡胶、环氧树脂或透声橡胶。
17、作为上述水听器的一种改进，所述水听器的工作频率范围为0.005hz到1mhz。
18、与现有技术相比，本申请的优势在于：
19、1、使用本专利技术提供的mems深海水听器，在基本不影响声信号接收的情况下，通过透声胶囊、填充液体及带有平压孔的平压板，实现mems芯片振膜正反面压力平衡；
20、2、使用本专利技术提供的mems深海水听器，显著提高了mems水听器的耐静水压能力和工作深度；
21、3、本专利技术结构制作工艺简单、成本低、一致性好、尺寸小，可保证mems深海水听器长时间在深海工作。
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1.一种MEMS深海水听器，其特征在于，所述水听器包括：透声胶囊(1)、平压板(2)、平压孔(3)、底座(5)、水密插头(6)、引线、MEMS水听器芯片(10)和填充液体(11)；
2.根据权利要求1所述的MEMS深海水听器，其特征在于，所述水听器还包括支撑结构；
3.根据权利要求2所述的MEMS深海水听器，其特征在于，所述平压板(2)、支撑结构和底座(5)的材质包括金属、陶瓷、有机材料或复合材料。
4.根据权利要求3所述的MEMS深海水听器，其特征在于，所述支撑结构为柱形的支撑柱(12a)；若干个所述支撑柱(12a)将平压板(2)与底座(5)固定连接在一起。
5.根据权利要求3所述的MEMS深海水听器，其特征在于，所述支撑结构为支撑墙(12b)；所述支撑墙(12b)为连续或不连续的板状结构，将平压板(2)与底座(5)固定连接在一起。
6.根据权利要求1所述的MEMS深海水听器，其特征在于，所述水听器的形状为圆柱形、胶囊形、球形、半球形或方形。
7.根据权利要求1所述的MEMS深海水听器，其特征在于，所述水听
8.根据权利要求1所述的MEMS深海水听器，其特征在于，所述填充液体(11)的组成包括硅油或蓖麻油。
9.根据权利要求1所述的MEMS深海水听器，其特征在于，所述透声胶囊(1)的材料包括聚氨酯、氯丁橡胶、环氧树脂或透声橡胶。
10.根据权利要求1所述的MEMS深海水听器，其特征在于，所述水听器的工作频率范围为0.005Hz到1MHz。
...【技术特征摘要】
1.一种mems深海水听器，其特征在于，所述水听器包括：透声胶囊(1)、平压板(2)、平压孔(3)、底座(5)、水密插头(6)、引线、mems水听器芯片(10)和填充液体(11)；
2.根据权利要求1所述的mems深海水听器，其特征在于，所述水听器还包括支撑结构；
3.根据权利要求2所述的mems深海水听器，其特征在于，所述平压板(2)、支撑结构和底座(5)的材质包括金属、陶瓷、有机材料或复合材料。
4.根据权利要求3所述的mems深海水听器，其特征在于，所述支撑结构为柱形的支撑柱(12a)；若干个所述支撑柱(12a)将平压板(2)与底座(5)固定连接在一起。
5.根据权利要求3所述的mems深海水听器，其特征在于，所述支撑结构为支撑墙(12b)；所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：李俊红，余卿，任玉涵，樊青青，
申请(专利权)人：中国科学院声学研究所，
类型：发明
国别省市：
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