System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种全自动硅料酸碱一体清洗机制造技术_技高网

一种全自动硅料酸碱一体清洗机制造技术

技术编号:43125111 阅读:20 留言:0更新日期:2024-10-26 10:04
本发明专利技术公开了一种全自动硅料酸碱一体清洗机,属于硅料清理设备技术领域,全自动硅料酸碱一体清洗机,包括清洗机主体,所述清洗机主体外部一侧设置有放置台,所述清洗机主体外部在远离放置台的一侧设置有收取台,所述清洗机主体内部上方设置有移动机构,所述移动机构外部上方设置有旋转机构,所述旋转机构侧方下部设置有卡合机构,所述旋转机构侧方设置有驱动机构,所述驱动机构驱动卡合机构进行转动。本发明专利技术通过携带式的防水罩、升降罩来防止清洗液溅射,省去了现有清洗槽之间挡板的移动过程;而卡合机构和驱动机构的配合,可以快速地与储料框进行连接、分离,大大提高了移动储料框的效率,减少了储料框卡合用的时间,提高了硅料的清洗效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于硅料清理设备,具体涉及到一种全自动硅料酸碱一体清洗机


技术介绍

1、全自动硅料酸碱一体清洗机是一种专门用于清洗硅料的设备,它能够同时完成酸洗和碱洗的过程,以去除硅料表面的杂质,提高硅料的纯度,这种清洗机通常应用于多晶硅或单晶硅的生产过程中,特别是在太阳能光伏行业;

2、硅料的酸碱清洗是多晶硅生产过程中非常关键的一个环节,主要用于去除硅料表面的各种杂质,包括灰尘、氧化物、金属离子等。下面是硅料酸碱清洗的一些流程;

3、酸洗:混酸腐蚀、纯水漂洗、氢氟酸腐蚀、二次纯水漂洗、超声波水洗;碱洗:超声碱洗、超声漂洗、二次超声漂洗;

4、现有的硅料酸碱一体清洗机在对硅料进行清洗时,先将盛有硅料的框体进行抓取,然后进行移动,再缓慢放置在各种清洗液之中,其中各个清洗槽之间还设置有挡板,以防清洗液溅射造成污染;

5、而在移动盛有硅料的框体时,硅料酸碱一体清洗机内部的移动装置往往是先下降卡扣,然后再横向移动卡扣,当卡扣与盛有硅料的框体扣合后,再上升将框体提起,从而达到移动盛有硅料的框体的效果,这样移动的效率过低,所需时间较长;

6、同时各个清洗槽之间设置的挡板,会让硅料的移动速度降低,虽然避免了污染,但是变相地降低了工作效率;

7、最后现有的硅料酸碱一体清洗机都是线性设置,往往占地面积较大,进行重复清洗工作的时候,需要重复设置同样的清洗机构,增加不必要的成本。


技术实现思路

1、本专利技术所要解决的技术问题在于克服上述现有技术的缺点,提供一种全自动硅料酸碱一体清洗机。

2、解决上述技术问题所采用的技术方案是:一种全自动硅料酸碱一体清洗机,包括清洗机主体,所述清洗机主体外部一侧设置有放置台,所述清洗机主体外部在远离放置台的一侧设置有收取台,所述清洗机主体内部上方设置有移动机构,所述移动机构外部上方设置有旋转机构,所述旋转机构侧方下部设置有卡合机构,所述旋转机构侧方设置有驱动机构,所述驱动机构驱动卡合机构进行转动。

3、通过上述技术方案,驱动机构驱动卡合机构将储料框进行卡合,然后旋转机构带动储料框进行转动,而移动机构则会连同旋转机构一同带动储料框进行移动,这样储料框内部的硅料就会被带动进行移动,从而进行各种清洗工序,以便将硅料清洗干净。

4、进一步的,所述清洗机主体内部上端在靠近放置台的一侧后方开设有混酸腐蚀槽,所述混酸腐蚀槽向收取台一侧方向延伸依次开设有纯水漂洗槽和氢氟酸腐蚀槽,所述清洗机主体内部上端在靠近放置台的一侧前方开设有超声碱洗槽,所述超声碱洗槽向收取台一侧方向延伸依次开设有第一超声水洗槽和第二超声水洗槽,所述混酸腐蚀槽、纯水漂洗槽、氢氟酸腐蚀槽、超声碱洗槽、第一超声水洗槽和第二超声水洗槽内部上方均设置有进水管,所述混酸腐蚀槽、纯水漂洗槽、氢氟酸腐蚀槽、超声碱洗槽、第一超声水洗槽和第二超声水洗槽内部上方均设置有出水管,所述进水管和出水管内部均设置有阀门。

5、通过上述技术方案,盛放硅料的储料框会先进入混酸腐蚀槽进行第一步的酸洗,然后进入到纯水漂洗槽进行第一次纯水漂洗,之后进入到氢氟酸腐蚀槽进行二次酸洗,之后再回到纯水漂洗槽进行第二次纯水漂洗,以上步骤完成即可完成酸洗;当进行碱洗的时候只需要依次将盛放硅料的储料框放置进入到超声碱洗槽、第一超声水洗槽和第二超声水洗槽内部即可;当清洗液需要更换的时候,可以通过阀门来打开出水管,以便于将各个槽内的清洗液排出,再通过阀门打开进水管,以便于将各个槽内注满新的清洗液。

6、进一步的,所述清洗机主体内部下端在靠近超声碱洗槽、第一超声水洗槽和第二超声水洗槽的一侧均设置有超声波清洗机,所述超声碱洗槽、第一超声水洗槽和第二超声水洗槽均对应一个超声波清洗机。

7、通过上述技术方案,硅料在进行碱洗工序的时候,可以通过启动超声波清洗机将硅料清洗得更加干净,且每个超声波清洗机对应各自的清洗槽,可以单独进行运行,大大减少了能量消耗。

8、进一步的,所述移动机构包括清洗机主体内部中部上表面开设有安装槽,所述安装槽内部固定连接有电动丝杆,所述电动丝杆内部设置有移动块,所述移动块在电动丝杆上方进行移动。

9、通过上述技术方案,移动块可以携带其上方的结构部件共同进行移动。

10、进一步的,所述旋转机构包括固定连接在移动块外部上方一侧的旋转电机,所述旋转电机的输出端固定连接有齿轮,所述移动块外部上方在远离旋转电机的一侧固定设置有固定环,所述固定环内部设置有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆在靠近固定环的一端固定连接有转环,所述转环位于固定环内部,所述电动伸缩杆外部固定连接有齿环,所述齿环与旋转电机输出端的齿轮相啮合。

11、通过上述技术方案,旋转电机通过齿轮来带动齿环进行转动,而齿环与电动伸缩杆固定连接,这样电动伸缩杆就会一同进行转动,电动伸缩杆会通过转环在固定环内部进行转动。

12、进一步的,所述电动伸缩杆在远离转环的一端固定连接有顶板,所述顶板外部下表面两侧均固定连接有侧板,所述侧板之间固定连接有横板。

13、通过上述技术方案,储料框会位于侧板之间,且通过侧板来携带储料框进行移动、升降等工序。

14、进一步的,所述驱动机构包括横板上表面固定设置的升降电机,所述升降电机输出端固定连接有齿轮,所述侧板外部一侧的上端和下端均固定设置有固定杆,所述侧板外部一侧设置有升降杆,所述升降杆内部上端和下端均开设有滑槽,所述固定杆位于滑槽内部,所述升降杆上方在靠近升降电机的一侧固定连接有齿条,所述齿条与升降电机外部的齿轮相啮合。

15、通过上述技术方案,升降电机为步进电机,升降电机在运行的时候,会通过齿轮来带动齿条进行移动,而齿条与升降杆固定连接,当齿条在移动的时候,就会连同升降杆一同进行移动,而升降杆又因为固定杆的限制,所以升降杆会始终贴合在侧板的侧壁。

16、进一步的,所述卡合机构包括侧板内部下端开设的卡槽,所述侧板内部还开设有挡槽和转槽,所述挡槽和转槽分别位于卡槽的两侧,所述转槽与固定杆处于同一侧,所述挡槽与转槽均与卡槽相连通,所述转槽内部下方固定设置有转轴,所述转轴外部套放有转杆,所述转杆围绕转轴进行转动,所述转槽内部上方固定连接有弹簧,所述弹簧在远离转槽的一端固定连接有压板。

17、通过上述技术方案,储料框两侧侧杆会进入到卡槽内部,且通过转杆将侧杆进行阻挡,这样通过带动侧杆进行移动,就可以将储料框进行带动、移动,同时储料框内部的硅料也会被带动进行移动。

18、进一步的,所述放置台外部上方放置有储料框,所述储料框外部两侧上方均固定连接有侧杆,所述储料框内部放置有硅料,且各种清洗液可以透过储料框对其内部的硅料进行清洗。

19、通过上述技术方案,硅料放置在储料框内部,可以与储料框一同进行移动,而框体的设计可以使得其内部的硅料与外部的清洗液更方便地进行接触,从而可以达到更好的清洗效果。

20、进一步的,所述顶板上边固定连接有防水罩,所本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种全自动硅料酸碱一体清洗机,包括清洗机主体(300),其特征在于:所述清洗机主体(300)外部一侧设置有放置台(200),所述清洗机主体(300)外部在远离放置台(200)的一侧设置有收取台(201),所述清洗机主体(300)内部上方设置有移动机构,所述移动机构外部上方设置有旋转机构,所述旋转机构侧方下部设置有卡合机构,所述旋转机构侧方设置有驱动机构,所述驱动机构驱动卡合机构进行转动;

2.根据权利要求1所述的一种全自动硅料酸碱一体清洗机,其特征在于,所述清洗机主体(300)内部上端在靠近放置台(200)的一侧后方开设有混酸腐蚀槽(302),所述混酸腐蚀槽(302)向收取台(201)一侧方向延伸依次开设有纯水漂洗槽(303)和氢氟酸腐蚀槽(304),所述清洗机主体(300)内部上端在靠近放置台(200)的一侧前方开设有超声碱洗槽(305),所述超声碱洗槽(305)向收取台(201)一侧方向延伸依次开设有第一超声水洗槽(306)和第二超声水洗槽(307),所述混酸腐蚀槽(302)、纯水漂洗槽(303)、氢氟酸腐蚀槽(304)、超声碱洗槽(305)、第一超声水洗槽(306)和第二超声水洗槽(307)内部上方均设置有进水管(308),所述混酸腐蚀槽(302)、纯水漂洗槽(303)、氢氟酸腐蚀槽(304)、超声碱洗槽(305)、第一超声水洗槽(306)和第二超声水洗槽(307)内部上方均设置有出水管(309),所述进水管(308)和出水管(309)内部均设置有阀门。

3.根据权利要求1所述的一种全自动硅料酸碱一体清洗机,其特征在于,所述清洗机主体(300)内部下端在靠近超声碱洗槽(305)、第一超声水洗槽(306)和第二超声水洗槽(307)的一侧均设置有超声波清洗机(310),所述超声碱洗槽(305)、第一超声水洗槽(306)和第二超声水洗槽(307)均对应一个超声波清洗机(310)。

4.根据权利要求1所述的一种全自动硅料酸碱一体清洗机,其特征在于,所述旋转机构包括固定连接在移动块(601)外部上方一侧的旋转电机(602),所述旋转电机(602)的输出端固定连接有齿轮(604),所述电动伸缩杆(603)在靠近固定环(607)的一端固定连接有转环(606),所述转环(606)位于固定环(607)内部,所述电动伸缩杆(603)外部固定连接有齿环(605),所述齿环(605)与旋转电机(602)输出端的齿轮(604)相啮合。

5.根据权利要求1所述的一种全自动硅料酸碱一体清洗机,其特征在于,所述侧板(401)之间固定连接有横板(402)。

6.根据权利要求5所述的一种全自动硅料酸碱一体清洗机,其特征在于,所述驱动机构包括横板(402)上表面固定设置的升降电机(403),所述升降电机(403)输出端固定连接有齿轮(604),所述侧板(401)外部一侧的上端和下端均固定设置有固定杆(404),所述侧板(401)外部一侧设置有升降杆(700),所述升降杆(700)内部上端和下端均开设有滑槽(702),所述固定杆(404)位于滑槽(702)内部,所述升降杆(700)上方在靠近升降电机(403)的一侧固定连接有齿条(701),所述齿条(701)与升降电机(403)外部的齿轮(604)相啮合。

7.根据权利要求1所述的一种全自动硅料酸碱一体清洗机,其特征在于,所述放置台(200)外部上方放置有储料框(500),所述储料框(500)外部两侧上方均固定连接有侧杆(501),所述储料框(500)内部放置有硅料,且各种清洗液可以透过储料框(500)对其内部的硅料进行清洗。

8.根据权利要求1所述的一种全自动硅料酸碱一体清洗机,其特征在于,所述顶板(400)上边固定连接有防水罩(100),所述防水罩(100)在靠近电动伸缩杆(603)的一侧中部开设有开口槽(103),所述防水罩(100)外部下表面固定连接有挡板(102),所述防水罩(100)外部套放有升降罩(101),所述升降罩(101)在靠近电动伸缩杆(603)的一侧中部开设有开口槽(103),所述升降罩(101)外部上表面固定连接有挡板(102),所述防水罩(100)与升降罩(101)通过挡板(102)相连接。

...

【技术特征摘要】

1.一种全自动硅料酸碱一体清洗机,包括清洗机主体(300),其特征在于:所述清洗机主体(300)外部一侧设置有放置台(200),所述清洗机主体(300)外部在远离放置台(200)的一侧设置有收取台(201),所述清洗机主体(300)内部上方设置有移动机构,所述移动机构外部上方设置有旋转机构,所述旋转机构侧方下部设置有卡合机构,所述旋转机构侧方设置有驱动机构,所述驱动机构驱动卡合机构进行转动;

2.根据权利要求1所述的一种全自动硅料酸碱一体清洗机,其特征在于,所述清洗机主体(300)内部上端在靠近放置台(200)的一侧后方开设有混酸腐蚀槽(302),所述混酸腐蚀槽(302)向收取台(201)一侧方向延伸依次开设有纯水漂洗槽(303)和氢氟酸腐蚀槽(304),所述清洗机主体(300)内部上端在靠近放置台(200)的一侧前方开设有超声碱洗槽(305),所述超声碱洗槽(305)向收取台(201)一侧方向延伸依次开设有第一超声水洗槽(306)和第二超声水洗槽(307),所述混酸腐蚀槽(302)、纯水漂洗槽(303)、氢氟酸腐蚀槽(304)、超声碱洗槽(305)、第一超声水洗槽(306)和第二超声水洗槽(307)内部上方均设置有进水管(308),所述混酸腐蚀槽(302)、纯水漂洗槽(303)、氢氟酸腐蚀槽(304)、超声碱洗槽(305)、第一超声水洗槽(306)和第二超声水洗槽(307)内部上方均设置有出水管(309),所述进水管(308)和出水管(309)内部均设置有阀门。

3.根据权利要求1所述的一种全自动硅料酸碱一体清洗机,其特征在于,所述清洗机主体(300)内部下端在靠近超声碱洗槽(305)、第一超声水洗槽(306)和第二超声水洗槽(307)的一侧均设置有超声波清洗机(310),所述超声碱洗槽(305)、第一超声水洗槽(306)和第二超声水洗槽(307)均对应一个超声波清洗机(310)。

4.根据权利要求1所述的一种全自动硅料酸碱一体清洗机,其特征在于,所述旋转机构包括固定连接在移动块(601)外部上方一侧的旋转电机(602),所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:徐竹林徐竹起徐鹏
申请(专利权)人:华林科纳江苏半导体设备有限公司
类型:发明
国别省市:

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