【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及乙硅烷加工，具体涉及一种乙硅烷精馏加工装置。
技术介绍
1、乙硅烷是一种无机化合物，在常温常压下为无色透明气体，具有刺激性气味，乙硅烷是太阳能电池、非晶硅膜、化学沉积等过程中重要的原料，主要应用包括半导体技术生长氮化硅膜，氧化硅膜，在化学沉积工艺中，与硅烷比较具有沉积速度快、沉积温度低特点。
2、如申请号：202311659054.4，名称为一种高纯乙硅烷制备系统，公开了一种高纯乙硅烷制备系统，包括反应釜，所述反应釜的出口端设置有分离器，所述分离器的出口端设置有精馏塔，所述精馏塔上固定安装有外框，所述外框的内部固定安装有外环，所述外环上转动安装有多个套环，所述套环上固定安装有两个填料框，所述外框上设置有清洗机构；所述外框上设置有驱动机构，所述驱动机构驱使各层套环错时转动，以使得各层的填料框在同一驱动件进行转动并在转动更换过程中进行清洗。上述专利技术使得填料框内的填料错开清洗，避免大量填料同时转动清洗时，上层填料清洗下来的化学组分影响下层的清洗效果，且更换填料时可直接进行清洗，大大提高清洗效率。
3、现有技术的不足之处在于：填料与填料框混合进行冲洗，冲洗时容易导致填料清洗不充分，例如上述专利，通过设置驱动机构驱使各成套环错时转动对填料框以及填料进行清理，且各填料框的污染情况不同，位于底部的填料框污染严重，简单的冲洗无法满足填料的冲洗要求，且冲洗不充分也会影响到填料的精馏效率。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种乙硅烷精馏加工装置，以解决
2、为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种乙硅烷精馏加工装置，包括加工箱以及设置在加工箱中的蒸馏罐，所述加工箱中通过密封板分割出多个处理空间，各所述处理空间中均设置有用于承接填料的框架组件；还包括搅动组件以及清洗组件，其均设于蒸馏罐中；还包括传输组件，其设于加工箱上；还包括多组冲洗组件，其设于相对应的处理空间中；使用时，所述搅动组件工作通过传动机构驱使从下至上处的框架组件依次打开，以使得填料以此掉落至下一处理空间中循环精馏使用，并通过冲洗组件以及清洗组件分别对框架组件以及填料进行单独冲洗，清洗后的填料通过传输组件输送至最顶部的框架组件中再次进行组合使用；所述框架组件包括滑动连接在蒸馏罐中的弧形框，所述弧形框上固定连接有连接框，所述弧形框中固定连接有过滤网。
3、作为上述技术方案的进一步描述：
4、所述搅动组件包括转动连接在蒸馏罐上的搅动杆，所述搅动杆上设置有多个导流扇叶以及清洗扇叶。
5、作为上述技术方案的进一步描述：
6、所述清洗组件包括固定连接在蒸馏罐中的清洗斗；所述清洗斗上连通有进水管以及出水管。
7、作为上述技术方案的进一步描述：
8、所述传输组件包括固定连接在加工箱上的绞龙机，所述绞龙机上固定连接有沥干箱；所述绞龙机的进料管与清洗斗连通，所述绞龙机的出料管与沥干箱连通。
9、作为上述技术方案的进一步描述：
10、所述冲洗组件包括固定连接在处理空间中的多个第二冲洗管。
11、作为上述技术方案的进一步描述：
12、所述传动机构包括转动连接在加工箱两侧中的竖杆以及辅助杆，两所述竖杆上均固定连接有第一接触齿轮以及多个不完全齿轮，两所述辅助杆上均固定连接有第二接触齿轮，各所述第一接触齿轮与相对应的第二接触齿轮啮合；各所述处理空间中均转动连接有从动杆，各所述从动杆上均固定连接有被动齿轮以及凸轮，各所述不完全齿轮转动的行程中与相对应的被动齿轮啮合，各所述连接框与加工箱之间均固定连接有弹性伸缩杆，各所述凸轮与相对应的连接框接触；两所述辅助杆通过连接组件与搅动杆传动连接。
13、作为上述技术方案的进一步描述：
14、所述连接组件包括转动连接在加工箱上的被动杆以及转向杆，所述被动杆上设置同步筒，所述同步筒通过第一皮带与搅动杆传动连接；所述被动杆上设置有第一同步齿轮，所述转向杆上设置有第二同步齿轮，所述第一同步齿轮与第二同步齿轮啮合，所述被动杆以及转向杆均通过第二皮带与相对应的辅助杆传动连接，所述同步筒与被动杆之间设置有限制单元；所述限制单元包括弹性滑动连接在被动杆中的楔形块，所述同步筒中开设有楔形槽，所述楔形块与楔形槽卡接配合。
15、作为上述技术方案的进一步描述：
16、所述蒸馏罐中设置有用于控制沥干箱出料的封堵组件，所述封堵组件包括滑动连接在蒸馏罐上的连接条，所述连接条的另一端通过龙门架固定连接有l型封堵块；位于一侧的竖杆上设置有用于驱使封堵组件打开的驱动单元，所述驱动单元包括固定连接在竖杆上的固定盘，所述固定盘上开设有异型槽，所述连接条的一端固定连接有限位杆，所述限位杆滑动连接在异型槽中。
17、作为上述技术方案的进一步描述：
18、所述蒸馏罐上还设置用于驱使封堵组件关闭的推动单元，所述推动单元包括转动连接在蒸馏罐上的传动杆，所述传动杆通过第三皮带与搅动杆传动连接；所述传动杆上固定连接有第一主动齿轮，所述加工箱中滑动连接有推动齿板，所述推动齿板的两端均滑动连接有单齿牙，两所述单齿牙与推动齿板之间均设置有连接弹簧，所述推动齿板上还固定连接有推动板。
19、作为上述技术方案的进一步描述：
20、所述蒸馏罐上还设置有封隔组件，所述封隔组件包括固定连接在蒸馏罐两侧处的底框，两所述竖杆的一端延伸至底框中并固定连接有圆盘，所述圆盘上开设有轨道槽；所述蒸馏罐的两侧均滑动连接有封堵板，两所述封堵板均通过轨道杆均滑动连接在相对应的轨道槽中。
21、在上述技术方案中，本专利技术提供的一种乙硅烷精馏加工装置具备的有益效果：
22、本专利技术通过设置加工箱、蒸馏罐、密封板、处理空间、框架组件、搅动组件、清洗组件、传输组件、冲洗组件以及传动机构之间的相互配合，通过搅动杆转动配合传动机构驱使位于各处理空间中的框架组件依次打开并闭合后，使得该层框架组件中的填料下料，并使得上一侧中填料落入至该层进行补充使用，并且最底部的框架组件中的填料直接落入清洗组件中进行充分清洗，而依次打开的框架组件会受到冲洗组件的单独清理，以确保填料得到充分且均匀的冲洗效果，冲洗完成的填料在并通过传输组件的配合冲洗进入至最顶部的框架组件中进行使用，以确保乙硅烷在排出蒸馏罐之前得到充分的提纯，保证了乙硅烷的精馏效果。
23、应当理解，前面的一般描述和以下详细描述都仅是示例性和说明性的，而不是用于限制本公开。
24、本申请文件提供本公开中描述的技术的各种实现或示例的概述，并不是所公开技术的全部范围或所有特征的全面公开。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种乙硅烷精馏加工装置，包括加工箱(1)以及设置在加工箱(1)中的蒸馏罐(11)，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种乙硅烷精馏加工装置，其特征在于，所述搅动组件包括转动连接在蒸馏罐(11)上的搅动杆(31)，所述搅动杆(31)上设置有多个导流扇叶(32)以及清洗扇叶(33)。
3.根据权利要求1所述的一种乙硅烷精馏加工装置，其特征在于，所述清洗组件包括固定连接在蒸馏罐(11)中的清洗斗(41)；
4.根据权利要求3所述的一种乙硅烷精馏加工装置，其特征在于，所述传输组件包括固定连接在加工箱(1)上的绞龙机(51)，所述绞龙机(51)上固定连接有沥干箱(52)；
5.根据权利要求4所述的一种乙硅烷精馏加工装置，其特征在于，所述冲洗组件包括固定连接在处理空间(13)中的多个第二冲洗管(6)。
6.根据权利要求2所述的一种乙硅烷精馏加工装置，其特征在于，所述传动机构包括转动连接在加工箱(1)两侧的竖杆(71)以及辅助杆(72)，两所述竖杆(71)上均固定连接有第一接触齿轮(73)以及多个不完全齿轮(74)，两所述辅助
7.根据权利要求5所述的一种乙硅烷精馏加工装置，其特征在于，所述连接组件包括转动连接在加工箱(1)上的被动杆(81)以及转向杆(82)，所述被动杆(81)上设置同步筒(83)，所述同步筒(83)通过第一皮带(84)与搅动杆(31)传动连接；
8.根据权利要求7所述的一种乙硅烷精馏加工装置，其特征在于，所述蒸馏罐(11)中设置有用于控制沥干箱(52)出料的封堵组件，所述封堵组件包括滑动连接在蒸馏罐(11)上的连接条(101)，所述连接条(101)的另一端通过龙门架(102)固定连接有L型封堵块(103)；
9.根据权利要求8所述的一种乙硅烷精馏加工装置，其特征在于，所述蒸馏罐(11)上还设置用于驱使封堵组件关闭的推动单元，所述推动单元包括转动连接在蒸馏罐(11)上的传动杆(121)，所述传动杆(121)通过第三皮带(122)与搅动杆(31)传动连接；
10.根据权利要求6所述的一种乙硅烷精馏加工装置，其特征在于，所述蒸馏罐(11)上还设置有封隔组件，所述封隔组件包括固定连接在蒸馏罐(11)两侧处的底框(131)，两所述竖杆(71)的一端延伸至底框(131)中并固定连接有圆盘(132)，所述圆盘(132)上开设有轨道槽(133)；
...【技术特征摘要】
1.一种乙硅烷精馏加工装置，包括加工箱(1)以及设置在加工箱(1)中的蒸馏罐(11)，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种乙硅烷精馏加工装置，其特征在于，所述搅动组件包括转动连接在蒸馏罐(11)上的搅动杆(31)，所述搅动杆(31)上设置有多个导流扇叶(32)以及清洗扇叶(33)。
3.根据权利要求1所述的一种乙硅烷精馏加工装置，其特征在于，所述清洗组件包括固定连接在蒸馏罐(11)中的清洗斗(41)；
4.根据权利要求3所述的一种乙硅烷精馏加工装置，其特征在于，所述传输组件包括固定连接在加工箱(1)上的绞龙机(51)，所述绞龙机(51)上固定连接有沥干箱(52)；
5.根据权利要求4所述的一种乙硅烷精馏加工装置，其特征在于，所述冲洗组件包括固定连接在处理空间(13)中的多个第二冲洗管(6)。
6.根据权利要求2所述的一种乙硅烷精馏加工装置，其特征在于，所述传动机构包括转动连接在加工箱(1)两侧的竖杆(71)以及辅助杆(72)，两所述竖杆(71)上均固定连接有第一接触齿轮(73)以及多个不完全齿轮(74)，两所述辅助杆(72)上均固定连接有第二接触齿轮(75)，各所述第一接触齿轮(73)与相对应的第二接触齿轮(75)啮...
【专利技术属性】
技术研发人员：姜永要，王乐强，汪晶，蒯勇，王彭杰，
申请(专利权)人：安徽亚格盛电子新材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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