【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光伏生产设备，特别涉及一种均匀沉积蒸镀装置。
技术介绍
1、光伏电池现今成为各行各业应用的重要部件之一，在对光伏电池生产过程中，需要在玻璃等透光基材上通过蒸镀、溅镀等方式来形成电池膜层，蒸镀过程在蒸镀装置中进行，蒸镀装置内通常包括蒸镀腔和蒸发腔，而在蒸镀过程中，需要在蒸镀腔中使用蒸镀载具来放置基材，受重力影响，蒸镀载具通常只能位于基材的下方，蒸镀载具用于承载基材的表面具有蒸镀开口，蒸发腔与蒸镀腔连通的蒸镀输出口位于蒸镀载具的下方，蒸发腔中设置有加热组件，蒸镀物料也放置于蒸发腔中，加热组件对蒸镀物料加热而使得蒸镀物料气化，并且受到热量上升的作用，带动气化后的蒸镀物料上升并且从蒸镀输出口输出，并且在基材的表面形成蒸镀膜层，而由于蒸镀载具的承载面的遮挡，基材被遮挡的部位无法形成蒸镀膜层，因此需要将基材移位，进行多次蒸镀后才能够形成完整的蒸镀膜层，但是每次蒸镀过程形成的膜层并不均匀，并且蒸镀效率慢，影响生产效率。
技术实现思路
1、本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种均匀沉积蒸镀装置，可以实现较大面积且均匀的沉积蒸镀，优化蒸镀效果，提高生产效率。
2、根据本专利技术的第一方面实施例的一种均匀沉积蒸镀装置，包括：壳体，内设有蒸镀腔以及气化腔，所述壳体内设置有第一隔板，所述气化腔位于所述蒸镀腔的上方并且所述气化腔和所述蒸镀腔之间通过第一隔板相互隔离，所述第一隔板设置有第一孔筛件，所述第一孔筛件设置有多个第一微孔，所述第一微孔分别
3、根据本专利技术实施例的一种均匀沉积蒸镀装置，至少具有如下有益效果：
4、本专利技术均匀沉积蒸镀装置，待蒸镀的基材放置于蒸镀载具上，第一隔板将蒸镀腔和气化腔分隔，蒸镀腔和气化腔之间通过第一孔筛件的第一微孔连通，在蒸镀过程中，第一加热组件对气化腔加热，气化腔中的温度不断上升，储料腔中的蒸镀物料会气化，气化的蒸镀物料经过第二微孔从储料腔进入到气化腔中，由于第一微孔孔径较小，第一加热组件在加热过程中，气化腔中不断蓄能，蒸镀腔和气化腔之间形成不同的真空度，当气化腔中的压力大于蒸镀腔中的压力达到一定程度，气化的蒸镀物料能够从第一微孔中朝向基材的表面喷涌而出，从而在基材的表面形成蒸镀膜层，而由于本设计是利用第一微孔形成较大压差而驱使气化的蒸镀物料具有指向性的运动，无需依靠传统蒸镀装置中利用热量上升对气化的蒸镀物料导向的原理，第一微孔位于基材的上方，基材上方没有其他部件的遮挡，因此可以在基材的上表面大范围且均匀地蒸镀，本设计能够形成较大面积且均匀的沉积蒸镀膜层，优化蒸镀效果，提高生产效率。
5、根据本专利技术的一些实施例，所述第一加热组件位于所述第二孔筛件的下方。
6、根据本专利技术的一些实施例，所述蒸镀载具包括传送组件，所述传送组件设置在所述壳体并且穿过所述蒸镀腔，基材能够放置于所述传送组件上，所述传送组件能够将基材从输入端经过蒸镀腔输送至输出端。
7、根据本专利技术的一些实施例，所述壳体设置有与所述蒸镀腔连通的进出口，所述传送组件从所述进出口穿入蒸镀腔中，基材能够从进出口进出蒸镀腔，所述壳体在进出口的位置处活动设置有门板件，所述门板件能够封闭或者打开所述进出口。
8、根据本专利技术的一些实施例，所述进出口有两个，两个所述进出口分别位于蒸镀腔相对的两侧，所述传送组件穿设于两个所述进出口，所述门板件有两个，两个门板件各自与两个所述进出口的位置一一对应。
9、根据本专利技术的一些实施例，均匀沉积蒸镀装置还包括第一抽真空组件，所述第一抽真空组件与蒸镀腔连通以能够对所述蒸镀腔抽真空处理。
10、根据本专利技术的一些实施例，所述壳体内还设有第一缓冲腔以及第二隔板，所述第一缓冲腔与蒸镀腔通过第二隔板相互隔离，其中一个所述进出口设置在第二隔板上，靠近输入端一侧的传送组件至少部分位于第一缓冲腔中，所述壳体在所述第一缓冲腔内设置有第二加热组件。
11、根据本专利技术的一些实施例，均匀沉积蒸镀装置还包括第二抽真空组件，所述第二抽真空组件与第一缓冲腔连通以能够对所述第一缓冲腔抽真空处理。
12、根据本专利技术的一些实施例，均匀沉积蒸镀装置还包括第三抽真空组件，所述壳体内还设有第二缓冲腔以及第三隔板，所述第二缓冲腔与蒸镀腔通过第三隔板相互隔离，另一个所述进出口设置在第三隔板上，靠近输出端一侧的传送组件至少部分位于第二缓冲腔中，所述壳体在所述第二缓冲腔内设置有第三加热组件，所述第三抽真空组件与第二缓冲腔连通以能够对所述第二缓冲腔抽真空处理。
13、根据本专利技术的一些实施例，基材为玻璃、i to、fto或者耐温导电基材，蒸镀物料为pb i 2、pbbr2、pbc l 2、pb(scn)2、cs i、csc l、csbr、fa i、fabr、fac l、mabr、ma i或者mac l
14、本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
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1.一种均匀沉积蒸镀装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种均匀沉积蒸镀装置，其特征在于：所述第一加热组件位于所述第二孔筛件的下方。
3.根据权利要求1所述的一种均匀沉积蒸镀装置，其特征在于：所述蒸镀载具包括传送组件，所述传送组件设置在所述壳体并且穿过所述蒸镀腔，基材能够放置于所述传送组件上，所述传送组件能够将基材从输入端经过蒸镀腔输送至输出端。
4.根据权利要求3所述的一种均匀沉积蒸镀装置，其特征在于：所述壳体设置有与所述蒸镀腔连通的进出口，所述传送组件从所述进出口穿入蒸镀腔中，基材能够从进出口进出蒸镀腔，所述壳体在进出口的位置处活动设置有门板件，所述门板件能够封闭或者打开所述进出口。
5.根据权利要求4所述的一种均匀沉积蒸镀装置，其特征在于：所述进出口有两个，两个所述进出口分别位于蒸镀腔相对的两侧，所述传送组件穿设于两个所述进出口，所述门板件有两个，两个门板件各自与两个所述进出口的位置一一对应。
6.根据权利要求5所述的一种均匀沉积蒸镀装置，其特征在于，还包括第一抽真空组件，所述第一抽真空组件与蒸镀腔连
7.根据权利要求5所述的一种均匀沉积蒸镀装置，其特征在于：所述壳体内还设有第一缓冲腔以及第二隔板，所述第一缓冲腔与蒸镀腔通过第二隔板相互隔离，其中一个所述进出口设置在第二隔板上，靠近输入端一侧的传送组件至少部分位于第一缓冲腔中，所述壳体在所述第一缓冲腔内设置有第二加热组件。
8.根据权利要求7所述的一种均匀沉积蒸镀装置，其特征在于：还包括第二抽真空组件，所述第二抽真空组件与第一缓冲腔连通以能够对所述第一缓冲腔抽真空处理。
9.根据权利要求7所述的一种均匀沉积蒸镀装置，其特征在于：还包括第三抽真空组件，所述壳体内还设有第二缓冲腔以及第三隔板，所述第二缓冲腔与蒸镀腔通过第三隔板相互隔离，另一个所述进出口设置在第三隔板上，靠近输出端一侧的传送组件至少部分位于第二缓冲腔中，所述壳体在所述第二缓冲腔内设置有第三加热组件，所述第三抽真空组件与第二缓冲腔连通以能够对所述第二缓冲腔抽真空处理。
10.根据权利要求9所述的一种均匀沉积蒸镀装置，其特征在于：基材为玻璃、I TO、FTO或者耐温导电基材，蒸镀物料为PbI 2、PbBr2、PbCl 2、Pb(SCN)2、Cs I、CsCl、CsBr、FAI、FABr、FACl、MABr、MA I或者MACl。
...【技术特征摘要】
1.一种均匀沉积蒸镀装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种均匀沉积蒸镀装置，其特征在于：所述第一加热组件位于所述第二孔筛件的下方。
3.根据权利要求1所述的一种均匀沉积蒸镀装置，其特征在于：所述蒸镀载具包括传送组件，所述传送组件设置在所述壳体并且穿过所述蒸镀腔，基材能够放置于所述传送组件上，所述传送组件能够将基材从输入端经过蒸镀腔输送至输出端。
4.根据权利要求3所述的一种均匀沉积蒸镀装置，其特征在于：所述壳体设置有与所述蒸镀腔连通的进出口，所述传送组件从所述进出口穿入蒸镀腔中，基材能够从进出口进出蒸镀腔，所述壳体在进出口的位置处活动设置有门板件，所述门板件能够封闭或者打开所述进出口。
5.根据权利要求4所述的一种均匀沉积蒸镀装置，其特征在于：所述进出口有两个，两个所述进出口分别位于蒸镀腔相对的两侧，所述传送组件穿设于两个所述进出口，所述门板件有两个，两个门板件各自与两个所述进出口的位置一一对应。
6.根据权利要求5所述的一种均匀沉积蒸镀装置，其特征在于，还包括第一抽真空组件，所述第一抽真空组件与蒸镀腔连通以能够对所述蒸镀腔抽真空处理。
7.根据权利要求5所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：周壮大，赖新暖，赵志波，
申请(专利权)人：广东明阳薄膜科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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