【技术实现步骤摘要】
本技术是涉及一种隔振平台，具体是涉及一种能隔绝楼板竖直向高频振动的隔振平台，属于基础隔振。
技术介绍
1、在半导体行业中，随着加工精度要求越来越高，精密加工设备对微振动等环境影响也越来越敏感，尤其是竖直向的微振动会明显影响精密加工设备的产出良率，甚至会影响精密加工设备不能正常工作，因此对竖直向的微振动的隔离变得越来越重要。而无尘室厂房中不可避免会存在一些振源(例如动力设备)，由此产生的竖直向高频振动会通过楼板传递到精密加工设备上，从而会影响精密加工设备的正常运行，因此需要通过隔振平台对楼板传递的竖直向振动进行有效隔绝，以减少环境振动对生产线产品产生不良影响。
2、但目前的隔振平台在用于承载精密设备的同时，只能对高架地板传递过来的振动起到有效隔绝作用，不能有效隔绝由楼板传递的竖直向高频振动。因此，有必要开发出一种能隔绝楼板竖直向高频振动的隔振平台，以满足高精密加工设备的防微振需求，为精密加工提供更好的运行环境。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的上述问题和需求，本技术的目的是提供一种能隔绝楼板竖直向高频振动的隔振平台。
2、为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：
3、一种能隔绝楼板竖直向高频振动的隔振平台，包括水平设置的平台主体，在所述平台主体的四角和两长边的中部分别对称设有竖直向弹簧隔振机构，所述竖直向弹簧隔振机构的底部与楼板固定连接(优选可拆卸式固定连接)，在平台主体的两长边的侧面对称设有水平向限位机构，所述水平向限位机构包括水平限位连接支
4、一种实施方案，所述平台主体包括钢构框架和水平设置在所述钢构框架顶部的金属顶板及竖直设置在所述钢构框架四周的金属侧板，所述钢构框架包括水平设置且设有若干空腔的钢构上框和竖直设在钢构上框底部四周的多根钢构立柱。
5、一种优选方案，所述金属顶板和金属侧板与钢构框架之间均采用焊接方式固定连接。
6、一种优选方案，所述钢构上框是由多根方管纵横交叉焊接构成，所述钢构立柱为方管立柱。
7、一种优选方案，所述钢构立柱与钢构上框之间采用焊接方式固定连接。
8、一种实施方案，在所述平台主体的四角和两长边的中部均设有缺口，所述的竖直向弹簧隔振机构安装在对应位置的缺口内。
9、一种实施方案，所述的竖直向弹簧隔振机构包括竖直向弹簧隔振支座和竖直设于竖直向弹簧隔振支座上的竖直向弹簧，所述竖直向弹簧隔振支座的侧部与平台主体固定连接(优选可拆卸式固定连接)，所述竖直向弹簧隔振支座的底部与楼板固定连接(优选可拆卸式固定连接)。
10、一种实施方案，所述的竖直向弹簧隔振支座包括竖直向框架连接座、竖直向弹簧上连接板、竖直向弹簧下连接板和竖直向弹簧套筒，所述竖直向框架连接座包括水平连接板和竖直连接板，所述水平连接板位于竖直连接板侧部的中上部，所述竖直向弹簧上连接板和竖直向弹簧下连接板均水平设置，所述竖直向弹簧套筒竖直设于竖直向弹簧上连接板与竖直向弹簧下连接板之间，所述竖直向弹簧套设于竖直向弹簧套筒的外部，竖直向框架连接座的水平连接板固设于竖直向弹簧上连接板的顶部，竖直向框架连接座的竖直连接板与平台主体的侧面固定连接(优选可拆卸式固定连接)，竖直向弹簧下连接板与楼板固定连接(优选可拆卸式固定连接)。
11、一种优选方案，竖直向框架连接座的水平连接板与竖直连接板之间连接有斜向加强板。
12、一种优选方案，在竖直向框架连接座的竖直连接板的左右两侧均设有折边部，所述折边部与平台主体的侧面固定连接(优选可拆卸式固定连接)。
13、一种优选方案，所述折边部上自上而下设有多个供锁紧螺栓水平穿过的连接孔，所述折边部通过锁紧螺栓与平台主体的侧面可拆卸式固定连接。
14、一种优选方案，竖直向框架连接座的水平连接板和竖直向弹簧上连接板分别设有多个一一对应的、可供锁紧螺栓竖直穿过的连接孔，所述水平连接板与竖直向弹簧上连接板之间通过锁紧螺栓可拆卸式固定连接。
15、一种优选方案，所述竖直向弹簧下连接板上设有多个供膨胀螺栓竖直穿过的连接孔。
16、一种实施方案，所述水平限位连接支架包括竖直设置的框架连接板，所述框架连接板与平台主体固定连接(优选可拆卸式固定连接)，在框架连接板朝向可转动轴套的一侧水平设有两个左右对称的轴套连接板，所述轴套连接板上设有用于水平穿设可转动轴套的轴套连接孔，所述可转动轴套的左右两端分别穿设于对应位置的轴套连接孔内；所述水平限位固定支架包括水平设置的固定底板，所述固定底板与楼板固定连接(优选可拆卸式固定连接)，在固定底板的顶部竖直设有两个左右对称的轴固定板，所述轴固定板上设有用于水平穿设固定轴的固定轴连接孔，所述固定轴的两端分别穿设于对应位置的固定轴连接孔内。
17、一种优选方案，所述轴固定板位于对应位置的轴套连接板的外侧，在所述可转动轴套的左右两端设有端盖，所述端盖位于对应侧的轴固定板与轴套连接板之间、并与轴套连接板固定连接(优选可拆卸式固定连接)，且所述端盖与固定轴之间设有轴承。
18、一种优选方案，在固定轴的两端且位于轴固定板的外侧均设有锁紧螺母和垫片。
19、一种优选方案，所述框架连接板与轴套连接板之间以及固定底板与轴固定板之间均采用焊接方式固定连接。
20、一种优选方案，所述水平限位连接支架的框架连接板上设有多个供锁紧螺栓水平穿过的连接孔。
21、一种优选方案，所述水平限位固定支架的固定底板上设有多个供膨胀螺栓竖直穿过的连接孔。
22、相较于现有技术，本技术的有益技术效果在于：
23、本技术提供的隔振平台，因在平台主体的特定位置设有竖直向弹簧隔振机构和水平向限位机构，因而在用于承载精密设备的同时，不仅能有效隔绝由楼板传递的竖直向高频振动，具有很好的减振、隔振作用，而且可保证平台主体不会因为振动发生水平向位移，可为精密设备提供更好的运行环境，能满足半导体行业的无尘室内精密设备的支撑固定和防微振要求，实用价值显著。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种能隔绝楼板竖直向高频振动的隔振平台，包括水平设置的平台主体，在所述平台主体的四角和两长边的中部分别对称设有竖直向弹簧隔振机构，所述竖直向弹簧隔振机构的底部与楼板固定连接；其特征在于：在平台主体的两长边的侧面对称设有水平向限位机构，所述水平向限位机构包括水平限位连接支架和水平限位固定支架，所述水平限位连接支架的一侧与平台主体固定连接，所述水平限位固定支架的底部与楼板固定连接，所述水平限位固定支架的上部水平穿设有固定轴，所述固定轴的轴向套设有可转动轴套，所述水平限位连接支架的另一侧套设于可转动轴套上。
2.根据权利要求1所述的能隔绝楼板竖直向高频振动的隔振平台，其特征在于：所述平台主体包括钢构框架和水平设置在所述钢构框架顶部的金属顶板及竖直设置在所述钢构框架四周的金属侧板，所述钢构框架包括水平设置且设有若干空腔的钢构上框和竖直设在钢构上框底部四周的多根钢构立柱。
3.根据权利要求2所述的能隔绝楼板竖直向高频振动的隔振平台，其特征在于：所述金属顶板和金属侧板与钢构框架之间均采用焊接方式固定连接。
4.根据权利要求2所述的能隔绝楼板竖直向高频振
5.根据权利要求1所述的能隔绝楼板竖直向高频振动的隔振平台，其特征在于：在所述平台主体的四角和两长边的中部均设有缺口，所述的竖直向弹簧隔振机构安装在对应位置的缺口内。
6.根据权利要求1所述的能隔绝楼板竖直向高频振动的隔振平台，其特征在于：所述的竖直向弹簧隔振机构包括竖直向弹簧隔振支座和竖直设于竖直向弹簧隔振支座上的竖直向弹簧，所述竖直向弹簧隔振支座的侧部与平台主体固定连接，所述竖直向弹簧隔振支座的底部与楼板固定连接。
7.根据权利要求6所述的能隔绝楼板竖直向高频振动的隔振平台，其特征在于：所述的竖直向弹簧隔振支座包括竖直向框架连接座、竖直向弹簧上连接板、竖直向弹簧下连接板和竖直向弹簧套筒，所述竖直向框架连接座包括水平连接板和竖直连接板，所述水平连接板位于竖直连接板侧部的中上部，所述竖直向弹簧上连接板和竖直向弹簧下连接板均水平设置，所述竖直向弹簧套筒竖直设于竖直向弹簧上连接板与竖直向弹簧下连接板之间，所述竖直向弹簧套设于竖直向弹簧套筒的外部，竖直向框架连接座的水平连接板固设于竖直向弹簧上连接板的顶部，竖直向框架连接座的竖直连接板与平台主体的侧面固定连接，竖直向弹簧下连接板与楼板固定连接。
8.根据权利要求1所述的能隔绝楼板竖直向高频振动的隔振平台，其特征在于：所述水平限位连接支架包括竖直设置的框架连接板，所述框架连接板与平台主体固定连接，在框架连接板朝向可转动轴套的一侧水平设有两个左右对称的轴套连接板，所述轴套连接板上设有用于水平穿设可转动轴套的轴套连接孔，所述可转动轴套的左右两端分别穿设于对应位置的轴套连接孔内；所述水平限位固定支架包括水平设置的固定底板，所述固定底板与楼板固定连接，在固定底板的顶部竖直设有两个左右对称的轴固定板，所述轴固定板上设有用于水平穿设固定轴的固定轴连接孔，所述固定轴的两端分别穿设于对应位置的固定轴连接孔内。
9.根据权利要求8所述的能隔绝楼板竖直向高频振动的隔振平台，其特征在于：所述轴固定板位于对应位置的轴套连接板的外侧，在所述可转动轴套的左右两端设有端盖，所述端盖位于对应侧的轴固定板与轴套连接板之间、并与轴套连接板固定连接，且所述端盖与固定轴之间设有轴承。
10.根据权利要求9所述的能隔绝楼板竖直向高频振动的隔振平台，其特征在于：在固定轴的两端且位于轴固定板的外侧均设有锁紧螺母和垫片。
...【技术特征摘要】
1.一种能隔绝楼板竖直向高频振动的隔振平台，包括水平设置的平台主体，在所述平台主体的四角和两长边的中部分别对称设有竖直向弹簧隔振机构，所述竖直向弹簧隔振机构的底部与楼板固定连接；其特征在于：在平台主体的两长边的侧面对称设有水平向限位机构，所述水平向限位机构包括水平限位连接支架和水平限位固定支架，所述水平限位连接支架的一侧与平台主体固定连接，所述水平限位固定支架的底部与楼板固定连接，所述水平限位固定支架的上部水平穿设有固定轴，所述固定轴的轴向套设有可转动轴套，所述水平限位连接支架的另一侧套设于可转动轴套上。
2.根据权利要求1所述的能隔绝楼板竖直向高频振动的隔振平台，其特征在于：所述平台主体包括钢构框架和水平设置在所述钢构框架顶部的金属顶板及竖直设置在所述钢构框架四周的金属侧板，所述钢构框架包括水平设置且设有若干空腔的钢构上框和竖直设在钢构上框底部四周的多根钢构立柱。
3.根据权利要求2所述的能隔绝楼板竖直向高频振动的隔振平台，其特征在于：所述金属顶板和金属侧板与钢构框架之间均采用焊接方式固定连接。
4.根据权利要求2所述的能隔绝楼板竖直向高频振动的隔振平台，其特征在于：所述钢构上框是由多根方管纵横交叉焊接构成，所述钢构立柱为方管立柱，所述钢构立柱与钢构上框之间采用焊接方式固定连接。
5.根据权利要求1所述的能隔绝楼板竖直向高频振动的隔振平台，其特征在于：在所述平台主体的四角和两长边的中部均设有缺口，所述的竖直向弹簧隔振机构安装在对应位置的缺口内。
6.根据权利要求1所述的能隔绝楼板竖直向高频振动的隔振平台，其特征在于：所述的竖直向弹簧隔振机构包括竖直向弹簧隔振支座和竖直设于竖直向弹簧隔振支座上的竖直向弹簧，所述竖直向弹簧隔振支座的侧部与平台主体固定连接，所述竖直向弹簧隔振支座的底部与楼板固定连...
【专利技术属性】
技术研发人员：何成伟，
申请(专利权)人：协伟集成电路设备上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。