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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及轮廓检测设备,尤其涉及一种轮廓仪。
技术介绍
1、轮廓仪是一种对物体轮廓、二维尺寸、二维位移进行测试与检测的仪器,属于精密测试仪器,广泛应用在机械加工、电机、汽配、精密工具和光学元件等行业。
2、轮廓仪包括载台、传感器和与传感器连接的探针,载台用于承载工件,并能带动工件运动。以轮廓仪探测晶圆表面轮廓为例,轮廓仪的工作过程大致为:探针的尖端与被测晶圆表面接触,当载台承载被测晶圆相对于探针滑动时,被测晶圆表面的凹凸结构使探针产生上下浮动,传感器感应该浮动变化,从而引起交流载波波形发生变化,进一步记录被测晶圆的轮廓。具体地,探针的针尖轮廓为圆锥型曲面,载台带动被测晶圆运动时,被测晶圆的凹槽深度和凸起高度不超出探针的量程(即圆锥型曲面的高度)时,在圆锥型曲面的导向作用下,探针进行上下浮动,以被传感器感应。
3、但是,现有的轮廓仪,当测试人员误操作将针尖扎到被测晶圆外面(例如载台表面的缝隙或者气孔中),或者被测晶圆表面的凹槽深度或凸起高度超出了所选探针的量程,此时探针针尖无法通过圆锥型曲面进行导向而上下浮动,导致探针持续受到横向拉力,造成探针损伤,而后续更换探针及探针校准工作复杂,不仅影响测试效率,还可能影响轮廓仪的测试结果。因此,目前亟需一种轮廓仪,以解决上述问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种轮廓仪,能够识别到探针的非正常工作状态,并及时停止载台运动,避免探针进一步损坏。
2、为达此目的,本专利技术采用以下技术方案:
...【技术保护点】
1.一种轮廓仪,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的轮廓仪,其特征在于,所述探针连接部(22)上安装有第一齿轮(11),所述扭矩限制器(12)为齿轮型扭矩限制器,所述连接元件为第二齿轮,所述第一齿轮(11)与所述第二齿轮相啮合,所述探针(2)在所述第一方向的受力大于或等于预设数值时,所述第二齿轮相对于所述第一底座(41)转动并触发所述压力传感器(14)。
3.根据权利要求2所述的轮廓仪,其特征在于,所述压力传感器(14)包括检测端(141)和安装端(142),所述安装端(142)与所述第一底座(41)连接,所述检测端(141)伸入所述第二齿轮的两个齿之间,所述第二齿轮的齿转动时抵压并触发所述检测端(141)。
4.根据权利要求3所述的轮廓仪,其特征在于,所述轮廓仪还包括复位组件(13),所述复位组件(13)安装在所述第一底座(41)上,所述安装端(142)与所述复位组件(13)连接,所述复位组件(13)配置为使所述检测端(141)复位。
5.根据权利要求4所述的轮廓仪,其特征在于,所述复位组件(13)包括第一十字弹簧轴承,所
6.根据权利要求4所述的轮廓仪,其特征在于,所述复位组件(13)包括转轴和扭簧,所述转轴固定在所述第一底座(41)上,所述扭簧套设在所述转轴上,所述扭簧的一端与所述转轴固定,另一端所述安装端(142)连接。
7.根据权利要求1-6任一项所述的轮廓仪,其特征在于,所述第一底座(41)通过第二十字弹簧轴承(3)与所述第二底座(42)枢转连接,所述第二底座(42)与所述第二十字弹簧轴承(3)的内圈套筒连接,所述第一底座(41)和所述随动件(6)均与所述第二十字弹簧轴承(3)的外圈套筒连接。
8.根据权利要求7所述的轮廓仪,其特征在于,所述传感器(5)为电感式传感器,且包括平行设置的第一电容板(51)和第二电容板(52),所述随动件(6)至少部分设置在所述第一电容板(51)和所述第二电容板(52)之间。
...【技术特征摘要】
1.一种轮廓仪,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的轮廓仪,其特征在于,所述探针连接部(22)上安装有第一齿轮(11),所述扭矩限制器(12)为齿轮型扭矩限制器,所述连接元件为第二齿轮,所述第一齿轮(11)与所述第二齿轮相啮合,所述探针(2)在所述第一方向的受力大于或等于预设数值时,所述第二齿轮相对于所述第一底座(41)转动并触发所述压力传感器(14)。
3.根据权利要求2所述的轮廓仪,其特征在于,所述压力传感器(14)包括检测端(141)和安装端(142),所述安装端(142)与所述第一底座(41)连接,所述检测端(141)伸入所述第二齿轮的两个齿之间,所述第二齿轮的齿转动时抵压并触发所述检测端(141)。
4.根据权利要求3所述的轮廓仪,其特征在于,所述轮廓仪还包括复位组件(13),所述复位组件(13)安装在所述第一底座(41)上,所述安装端(142)与所述复位组件(13)连接,所述复位组件(13)配置为使所述检测端(141)复位。
5.根据权利要求4所...
【专利技术属性】
技术研发人员:唐秋逸,相宇阳,俞胜武,
申请(专利权)人:无锡卓海科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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