【技术实现步骤摘要】
本技术涉及沉积炉，具体为一种侧进气的化学气相沉积炉。
技术介绍
1、化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法，化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术，化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。
2、根据申请号为202222628889.0的中国专利提出一种侧进气的化学气相沉积炉，通过设计的挤压弹簧、卡块、插块和卡架，炉盖下移时，插块插入到卡架内部，使其端部的斜面与卡块端面相互挤压，推动卡块自动避让，当其完全插入后，挤压弹簧释放弹力，推动卡块快速插入到卡槽内部，实现对本技术快速固定锁紧，使其提高固定效率，省时省力，提高多孔骨架坯料加工效率，通过设计的同步环和牵引绳，方便在打开炉盖时，通过对同步环下拉即可实现同时带动多个卡块同步移动，使其从卡槽内脱离，提高拆卸效率，通过设计的导向辊，实现对牵引绳转向牵引导向，使其牵引更加顺畅，通过设计的导向条和导向槽，实现对同步环上下滑移导向的同时，也对其进行限位，避免其在炉体上晃动。
3、但是上述专利经过改进后，虽然通过固定机构能够对炉盖进行固定，能够提高该装置的密封性，由于该装置在加工完成之后，炉体的内部会有部分残留气体，但是上述设备不能够对炉体内残留的气体进行处理，不将其排出，会导致下次使用时对重新进入的气体造成污染，影响后续加工的质量，但是直接将其排出会对环境造成污染，为此，我们提出一种侧进气的化学气相沉积炉。
>技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本技术提供了一种侧进气的化学气相沉积炉，解决了上述
技术介绍
中提出的不能够对炉体内残留的气体进行处理的问题。
2、为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种侧进气的化学气相沉积炉，包括底座，所述底座的顶部固定安装有炉体，所述炉体的一侧设置有进气管，所述炉体的顶部设置有炉盖，所述炉体与炉盖之间设置有升降机构，所述底座的顶部且位于炉体的一侧固定安装有过滤箱，所述过滤箱的顶部固定安装有抽气泵，所述抽气泵的吸气端和出气端均固定安装有连接管，其中一个所述连接管的另一端与炉体固定连接，另一个所述连接管贯穿过滤箱并延伸至内部，所述过滤箱的顶部开设有两个安装槽，两个所述安装槽的内部均滑动连接有过滤网，所述过滤网的相对应两侧均固定安装有限位板，所述过滤箱的内部且位于安装槽的相对应两侧均开设有限位槽，所述限位板与限位槽滑动连接，所述过滤箱的内部且位于两个限位槽相互靠近的一侧均开设有固定槽，所述固定槽的内部固定安装有弹簧，所述弹簧的另一端固定安装有固定块，所述限位板靠近固定块的一侧开设有固定孔，所述固定块与固定孔卡接，所述固定块的一侧固定安装有驱动块，所述驱动块和固定块均与固定槽滑动连接，所述过滤箱的一侧固定安装有出气管。
3、优选的，所述升降机构包括固定板，所述固定板的一侧与炉体的外侧固定连接，所述固定板的顶部固定安装有液压杆，所述液压杆的输出端转动连接有支撑杆，所述支撑杆的另一端与炉盖的一侧固定连接，通过升降机构方便工作人员打开和关闭炉盖，方便工作人员放置或取出物体。
4、优选的，所述进气管的另一端固定安装有气体混合器，由于需要多种气体同时进入炉体的内部，通过气体混合器能够使气体充分混合在一起。
5、优选的，所述炉体的内部固定安装有出气板，所述进气管的另一端与出气板的一侧固定连接，所述出气板的一侧且位于炉体的内壁固定安装有若干出气口，能够使混合之后的气体均匀排放至炉体的内部，防止出现气体沉淀不均匀的现象。
6、优选的，所述炉盖的顶部固定安装有真空泵，所述真空泵的吸气端和出气端均固定安装有导管，所述吸气端的导管贯穿炉盖并延伸至炉体的内部，启动真空泵，能够将内部的气体抽出，使其内部形成一个真空环境，防止内部的气体污染进入的气体，提高该装置镀膜的质量。
7、优选的，所述炉体的内壁底部固定安装有电热丝，所述炉体的外侧固定安装有控制面板，所述控制面板与抽气泵、液压杆、真空泵和电热丝电性连接，通过控制面板控制上述设备运行，更加方便工作人员操作，提高该装置的便捷性。
8、优选的，所述炉盖的底部固定安装有密封垫，所述密封垫的外侧与炉体的内壁接触，所述炉盖的一侧和过滤网的顶部均固定安装有把手，通过密封垫的外侧与炉体的内壁接触，防止内部的气体从缝隙中流出，提高该装置的密封效果。
9、本技术提供了一种侧进气的化学气相沉积炉，具备以下有益效果：
10、1、该侧进气的化学气相沉积炉，通过设置可更换的过滤网，当加工完成之后，炉体内部会有一部分残留的气体，如果直接将其排放会导致污染空气，因此需要对其进行过滤才能够将其排出，当过滤网长时间使用后会导致过滤效果降低，因此需要对其进行更换，工作人员拨动两侧的驱动块朝着另一侧移动，由于驱动块与固定块相互靠近的一侧固定连接，使其带动固定块同时移动，此时固定块不再与固定孔卡接，从而能够握住把手带动过滤网向上移动，对其进行更换，然后将新的过滤网两侧的限位板插入到相对应的限位槽内，通过内部弹簧和固定块的配合，能够对过滤网进行固定，防止在使用过程中过滤网出现晃动，避免降低该装置的过滤效果。
11、2、该侧进气的化学气相沉积炉，通过启动真空泵，能够将炉体内的空气抽出，使其内部形成一个真空环境，防止内部的空气对进入的气体造成污染，避免影响沉淀镀膜的效果，通过出气板与进气管连接，使得进入的气体能够通过出气口均匀排放至炉体的内部，防止内部的气体沉淀不均匀，避免导致镀膜的厚度不同，提高该装置的镀膜效果。
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1.一种侧进气的化学气相沉积炉，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定安装有炉体(2)，所述炉体(2)的一侧设置有进气管(21)，所述炉体(2)的顶部设置有炉盖(3)，所述炉体(2)与炉盖(3)之间设置有升降机构(4)，所述底座(1)的顶部且位于炉体(2)的一侧固定安装有过滤箱(5)，所述过滤箱(5)的顶部固定安装有抽气泵(51)，所述抽气泵(51)的吸气端和出气端均固定安装有连接管(52)，其中一个所述连接管(52)的另一端与炉体(2)固定连接，另一个所述连接管(52)贯穿过滤箱(5)并延伸至内部，所述过滤箱(5)的顶部开设有两个安装槽(53)，两个所述安装槽(53)的内部均滑动连接有过滤网(6)，所述过滤网(6)的相对应两侧均固定安装有限位板(61)，所述过滤箱(5)的内部且位于安装槽(53)的相对应两侧均开设有限位槽(54)，所述限位板(61)与限位槽(54)滑动连接，所述过滤箱(5)的内部且位于两个限位槽(54)相互靠近的一侧均开设有固定槽(55)，所述固定槽(55)的内部固定安装有弹簧(56)，所述弹簧(56)的另一端固定安装有固定块(57)，所述限位板(
2.根据权利要求1所述的一种侧进气的化学气相沉积炉，其特征在于：所述升降机构(4)包括固定板(41)，所述固定板(41)的一侧与炉体(2)的外侧固定连接，所述固定板(41)的顶部固定安装有液压杆(42)，所述液压杆(42)的输出端转动连接有支撑杆(43)，所述支撑杆(43)的另一端与炉盖(3)的一侧固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种侧进气的化学气相沉积炉，其特征在于：所述进气管(21)的另一端固定安装有气体混合器(22)。
4.根据权利要求1所述的一种侧进气的化学气相沉积炉，其特征在于：所述炉体(2)的内部固定安装有出气板(7)，所述进气管(21)的另一端与出气板(7)的一侧固定连接，所述出气板(7)的一侧且位于炉体(2)的内壁固定安装有若干出气口(71)。
5.根据权利要求1所述的一种侧进气的化学气相沉积炉，其特征在于：所述炉盖(3)的顶部固定安装有真空泵(31)，所述真空泵(31)的吸气端和出气端均固定安装有导管(32)，所述吸气端的导管(32)贯穿炉盖(3)并延伸至炉体(2)的内部。
6.根据权利要求1所述的一种侧进气的化学气相沉积炉，其特征在于：所述炉体(2)的内壁底部固定安装有电热丝(8)，所述炉体(2)的外侧固定安装有控制面板(81)，所述控制面板(81)与抽气泵(51)、液压杆(42)、真空泵(31)和电热丝(8)电性连接。
7.根据权利要求1所述的一种侧进气的化学气相沉积炉，其特征在于：所述炉盖(3)的底部固定安装有密封垫(33)，所述密封垫(33)的外侧与炉体(2)的内壁接触，所述炉盖(3)的一侧和过滤网(6)的顶部均固定安装有把手(9)。
...【技术特征摘要】
1.一种侧进气的化学气相沉积炉，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定安装有炉体(2)，所述炉体(2)的一侧设置有进气管(21)，所述炉体(2)的顶部设置有炉盖(3)，所述炉体(2)与炉盖(3)之间设置有升降机构(4)，所述底座(1)的顶部且位于炉体(2)的一侧固定安装有过滤箱(5)，所述过滤箱(5)的顶部固定安装有抽气泵(51)，所述抽气泵(51)的吸气端和出气端均固定安装有连接管(52)，其中一个所述连接管(52)的另一端与炉体(2)固定连接，另一个所述连接管(52)贯穿过滤箱(5)并延伸至内部，所述过滤箱(5)的顶部开设有两个安装槽(53)，两个所述安装槽(53)的内部均滑动连接有过滤网(6)，所述过滤网(6)的相对应两侧均固定安装有限位板(61)，所述过滤箱(5)的内部且位于安装槽(53)的相对应两侧均开设有限位槽(54)，所述限位板(61)与限位槽(54)滑动连接，所述过滤箱(5)的内部且位于两个限位槽(54)相互靠近的一侧均开设有固定槽(55)，所述固定槽(55)的内部固定安装有弹簧(56)，所述弹簧(56)的另一端固定安装有固定块(57)，所述限位板(61)靠近固定块(57)的一侧开设有固定孔(62)，所述固定块(57)与固定孔(62)卡接，所述固定块(57)的一侧固定安装有驱动块(58)，所述驱动块(58)和固定块(57)均与固定槽(55)滑动连接，所述过滤箱(5)的一侧固定安装有出气管(59)。
2.根据权利要求1所述的一种侧进气的化学气相沉积炉，其特征在于：所述升降机构(4)包括固定板(...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈飞，张杰，张奇，于志华，
申请(专利权)人：东莞市三体精密工具有限公司，
类型：新型
国别省市：
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