一种微型高频化石英晶片镀膜夹具的吸附装置制造方法及图纸

技术编号:43116036 阅读:16 留言:0更新日期:2024-10-26 09:54
本技术涉及一种微型高频化石英晶片镀膜夹具的吸附装置,包括底座和海绵桌体,所述底座开设有抽气通道,所述海绵桌体与所述底座连接,所述海绵桌体的内部与所述抽气通道连通。上述微型高频化石英晶片镀膜夹具的吸附装置能够降低石英晶片跌落概率,且使得跌落后损坏概率下降后,用户不用频繁拾取散落的石英晶片,也减少对跌落的石英晶片进行重新筛选的步骤,增加了生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及石英晶片,特别是涉及一种微型高频化石英晶片镀膜夹具的吸附装置


技术介绍

1、近年来,通讯行业飞速发展,对石英谐振器提出了更微型、高频的要求。作为石英谐振器核心部件的石英晶片,其尺寸也随之不断缩小。以1.2×1.0mm规格的石英谐振器为例,其内部石英晶片的尺寸已小于1.0mm,50mhz以上高频石英晶片的厚度更是在0.04mm以下。

2、石英晶片在镀膜过程中需要通过镀膜夹具进行固定,这种镀膜夹具通常包括依次叠置的底框、下电极盖板、中心盖板以及上电极盖板,中心盖板用以放置和固定晶片,各种盖板之间通过磁铁吸附固定。镀膜完成后,需要揭开上电极盖板以进行下一道工序的加工。然而,对于微型和高频石英晶片,揭开上电极盖板的过程中,由于镀膜夹具本身稳定性不够,这些尺寸较小的石英晶片极易容易撒落,且石英晶片受掉落的冲击而导致报废,用户还需要重新将这些散落的石英晶片收集起来并进行品质筛选,降低了生产效率。


技术实现思路

1、基于此,有必要提供一种微型高频化石英晶片镀膜夹具的吸附装置。

2、一种微型高频化石英晶片镀膜夹具的吸附装置,包括底座和海绵桌体,所述底座开设有抽气通道,所述海绵桌体与所述底座连接,所述海绵桌体的内部与所述抽气通道连通。具体地,所述海绵桌体内具有多个孔道,各所述孔道分别与所述抽气通道连通,具体地,海绵桌体由开孔海绵制得,或者说,海绵桌体为开孔海绵桌体。海绵桌体具体为由海绵制得的桌体,在一个实施例中,海绵桌体为海绵桌板。

3、上述微型高频化石英晶片镀膜夹具的吸附装置,镀膜夹具放置于海绵桌体,从抽气通道抽气时,海绵桌体内部的气体被抽至抽气通道,使得海绵桌体内部内形成负压,能够将镀膜夹具吸附在海绵桌体表面,使得镀膜夹具在拆开时更稳定,从而提高了拆开镀膜夹具时石英晶片的稳定性,即使石英晶片从镀膜夹具上跌落,也会被吸附在海绵桌体上,避免掉落至地面,且海绵桌体富有弹性,能够保护石英晶片而不容易损坏。进一步地,海绵桌体设置于抽气通道内,富有弹性的海绵桌体很容易与抽气通道的壁面紧密配合,从而使得连接处的密闭性更好,同等抽气功率下,使得海绵桌体的表面吸附力更大。

4、降低石英晶片跌落概率,且使得跌落后损坏概率下降后,用户不用频繁拾取散落的石英晶片,也减少对跌落的石英晶片进行重新筛选的步骤,增加了生产效率。

5、目前,由于静电作用和环境湿度的影响,石英晶片还容易粘附在上电极盖板,接着再掉落。进一步地,将目前设有镀膜孔的镀膜夹具配合本申请的吸附装置使用时,镀膜孔内的气体也被抽至海绵桌体内部及抽气通道,形成负压,从而在打开上电极盖板时,石英晶片被吸附在镀膜夹具的中心盖板的固定孔处,以克服静电和环境湿度因素影响,使得石英晶片不容易四处散落。

6、在其中一个实施例中,所述海绵桌体为高密度海绵桌体,高密度海绵弹性和支撑性都更佳,能够很好地承载镀膜夹具。

7、在其中一个实施例中,还包括抽气泵,所述抽气泵连接于所述底座,且所述抽气泵的内部与所述抽气通道连通。所述抽气泵用于从抽气通道和海绵桌体内部内抽气,形成负压,使得镀膜夹具稳定地吸附在海绵桌体上。

8、在其中一个实施例中,所述抽气通道的壁面设有导风锥面,所述导风锥面由靠近所述海绵桌体的一侧至另一侧的方向逐渐收拢,导风锥面有助于避免气体形成湍流,提高气体流速,从而增强了抽气效率,且使得气流稳定,从而使得镀膜夹具均匀受力,增加了镀膜夹具放置在海绵桌体的稳定性。

9、在其中一个实施例中,所述底座及所述海绵桌体中的其中一个设置有环形的限位壁,所述底座及所述海绵桌体中的另一个嵌设于所述限位壁的内侧且抵接于所述限位壁。嵌入限位壁内侧的部件进一步增强了底座和海绵桌体两者的连接稳固性,防止了两者之间的相对位移,使得海绵桌体和底座的连接更加稳固。

10、在其中一个实施例中,所述底座包括可拆卸连接的负压槽体和框架,贯穿所述负压槽体和所述框架形成所述抽气通道。本实施例中,所述限位壁设置于所述框架,负压槽体内设置所述导风锥面。框架和负压槽体分体设置,有助于更容易生产成型,框架还有助于更好地与海绵桌体配合连接,使得海绵桌体的稳定性更好。

11、在其中一个实施例中,还包括吸气管,所述吸气管与所述底座可拆卸连接,且所述吸气管的内部与所述抽气通道连通。所述吸气管能够与抽气泵直接相连,更好地将气体排出。

12、在其中一个实施例中,还包括镀膜夹具,所述镀膜夹具抵接于所述海绵桌体,更具体地,镀膜夹具放置在海绵桌体背离所述底座的一面。镀膜夹具用于放置在海绵桌体,且在抽气通道抽气时,镀膜夹具被稳定地吸附在海绵桌体上。

13、在其中一个实施例中,所述镀膜夹具包括依次叠置的上电极盖板、中心盖板、下电极盖板和底框所述中心盖板开设有用于固定石英晶片的固定孔,所述下电极盖板开设有镀膜孔,所述固定孔、所述镀膜孔和所述海绵桌体内部依次连通,抽真空后,石英晶片嵌设在固定孔,起到固定作用,避免打开上电极盖板时粘附在上电极盖板。在一个实施例中,上电极盖板、中心盖板、下电极盖板和底框相邻的两个之间磁吸连接。

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【技术保护点】

1.一种微型高频化石英晶片镀膜夹具的吸附装置,其特征在于,包括底座和海绵桌体,所述底座开设有抽气通道,所述海绵桌体与所述底座连接,所述海绵桌体的内部与所述抽气通道连通。

2.根据权利要求1所述的微型高频化石英晶片镀膜夹具的吸附装置,其特征在于,所述海绵桌体为高密度海绵桌体。

3.根据权利要求1所述的微型高频化石英晶片镀膜夹具的吸附装置,其特征在于,所述海绵桌体中海绵的克重大于25kg/m3。

4.根据权利要求1所述的微型高频化石英晶片镀膜夹具的吸附装置,其特征在于,还包括抽气泵,所述抽气泵连接于所述底座,且所述抽气泵的内部与所述抽气通道连通。

5.根据权利要求1所述的微型高频化石英晶片镀膜夹具的吸附装置,其特征在于,所述抽气通道的壁面设有导风锥面,所述导风锥面由靠近所述海绵桌体的一侧至另一侧的方向逐渐收拢。

6.根据权利要求1所述的微型高频化石英晶片镀膜夹具的吸附装置,其特征在于,所述底座及所述海绵桌体中的其中一个设置有环形的限位壁,所述底座及所述海绵桌体中的另一个嵌设于所述限位壁的内侧且抵接于所述限位壁。

7.根据权利要求1所述的微型高频化石英晶片镀膜夹具的吸附装置,其特征在于,所述底座包括可拆卸连接的负压槽体和框架,贯穿所述负压槽体和所述框架形成所述抽气通道。

8.根据权利要求7所述的微型高频化石英晶片镀膜夹具的吸附装置,其特征在于,还包括吸气管,所述吸气管与所述底座可拆卸连接,且所述吸气管的内部与所述抽气通道连通。

9.根据权利要求1所述的微型高频化石英晶片镀膜夹具的吸附装置,其特征在于,还包括镀膜夹具,所述镀膜夹具抵接于所述海绵桌体。

10.根据权利要求1所述的微型高频化石英晶片镀膜夹具的吸附装置,其特征在于,所述镀膜夹具包括依次叠置的上电极盖板、中心盖板、下电极盖板和底框,所述中心盖板开设有用于放置石英晶片的固定孔,所述下电极盖板开设有镀膜孔,所述固定孔、所述镀膜孔和所述海绵桌体的内部依次连通。

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【技术特征摘要】

1.一种微型高频化石英晶片镀膜夹具的吸附装置,其特征在于,包括底座和海绵桌体,所述底座开设有抽气通道,所述海绵桌体与所述底座连接,所述海绵桌体的内部与所述抽气通道连通。

2.根据权利要求1所述的微型高频化石英晶片镀膜夹具的吸附装置,其特征在于,所述海绵桌体为高密度海绵桌体。

3.根据权利要求1所述的微型高频化石英晶片镀膜夹具的吸附装置,其特征在于,所述海绵桌体中海绵的克重大于25kg/m3。

4.根据权利要求1所述的微型高频化石英晶片镀膜夹具的吸附装置,其特征在于,还包括抽气泵,所述抽气泵连接于所述底座,且所述抽气泵的内部与所述抽气通道连通。

5.根据权利要求1所述的微型高频化石英晶片镀膜夹具的吸附装置,其特征在于,所述抽气通道的壁面设有导风锥面,所述导风锥面由靠近所述海绵桌体的一侧至另一侧的方向逐渐收拢。

6.根据权利要求1所述的微型高频化石英晶片镀膜夹具的吸附装置,其特征在于,所述底座及所述海绵...

【专利技术属性】
技术研发人员:李锦雄朱永安胡胜楠
申请(专利权)人:研创科技惠州有限公司
类型:新型
国别省市:

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