影线自动上料设备制造技术

本技术提供影线自动上料设备，涉及上料设备技术领域，解决了显影线设备自动上料的问题，包括显影线设备，所述显影线设备在一侧设有一个支撑台，显影线设备上设有一处输送带，支撑台在上方安装一组送料机构、一组旋转机构，送料机构由第一电动马达和送料盘共同组成，旋转机构由第二电动马达和滑动轨道共同组成。在显影线设备上设置了送料机构、旋转机构、位移机构、升降机构、吸附机构组成的上料装置，解决了半导体自动上料的效果，节省了劳动力的同时提高半导体加工的效率，旋转机构、位移机构、升降机构、吸附机构替代了传统的机械手，在减少维护、安装成本的情况下能够替代机械手。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及上料设备，特别涉及影线自动上料设备。

技术介绍

1、目前在半导体加工过程中包含了影线加工的步骤，目前会借助显影线设备对半导体进行加工，由于半导体行业中产品的种类比较多，因此由人工、机械手配合流水线进行上料时存在以下缺点：

2、首先，人工上料的过程中不仅易疲劳，同时生产效率低下，而且人工休息个过程中显影线设备需要停机，另外产品在上料过程中容易因人工操作造成损伤、报废；

3、其次，当采用自动上料机械手时初期投资较大，收回期较长，机械手臂的维护和修理费用较高，并且需要定期保养。

技术实现思路

1、有鉴于此，本技术提供影线自动上料设备，以解决显影线设备自动上料的问题。

2、本技术提供了影线自动上料设备，具体包括：显影线设备，所述显影线设备在一侧设有一个支撑台，显影线设备上设有一处输送带，支撑台在上方安装一组送料机构、一组旋转机构，送料机构由第一电动马达和送料盘共同组成，旋转机构由第二电动马达和滑动轨道共同组成，滑动轨道的上方位置安装一组位移机构，位移机构由第三电动马达、第一齿条和定位架共同组成，定位架的位置安装一组升降机构，升降机构由第四电动马达、螺栓杆和升降板共同组成，升降板在一侧安装一组吸附机构，吸附机构由推动缸、定位框架、第五电动马达、连接板和第二齿条共同组成，推动缸可以采用气缸，推动缸同样可以采用电动缸。

3、进一步的，所述支撑台上开设一组定位孔，第一电动马达、第二电动马达分别安装在定位孔的内部，第一电动马达在上方安装一个送料盘，送料盘的中心位置和第一电动马达的驱动轴连接。

4、进一步的，所述第二电动马达在上方安装一个滑动轨道，滑动轨道的底部和第二电动马达的驱动轴连接，滑动轨道上设有一个t形结构的滑动槽，滑动槽的位置安装一个第一齿条，送料盘、滑动轨道在底部分别设有两处圆柱结构的稳固块，支撑台在上方开设两处圆环状的转动槽，稳固块延伸至转动槽的内部。

5、进一步的，所述第一齿条在外侧面设有一个定位套筒，第三电动马达安装在定位套筒的内部，第三电动马达的驱动轴外侧安装一个齿轮，齿轮和第一齿条啮合，第一齿条在上方配合一组螺栓安装一个定位架，定位架为弯折结构。

6、进一步的，所述定位架在一端的弯折处开设一个定位孔，第四电动马达安装在定位孔的内部，第四电动马达的驱动轴位置设有一个螺栓杆，定位架在上方设有一个稳固孔，螺栓杆的上方延伸至稳固孔的内部，升降板上开设一个螺纹孔，螺栓杆穿过螺纹孔的内部，升降板在两边分别开设一个滑动槽，升降板配合滑动槽安装在定位架的内部。

7、进一步的，所述升降板在一端开设一个定位孔，推动缸安装在定位孔的内部，推动缸的推杆在底部安装一个定位框架，定位框架在内部安装一个第五电动马达，定位框架的内部开设两个滑动孔，第二齿条穿过滑动孔的内部，第二齿条共有两个，第二齿条在端部设有一个连接板，连接板上安装一组吸盘，第五电动马达的驱动轴在外侧安装一个齿轮，齿轮和第二齿条啮合。

8、进一步的，所述定位框架上安装一组穿过升降板的稳固杆，稳固杆为圆柱结构。

9、本技术所提供的影线自动上料设备，具有以下有益效果：

10、在显影线设备上设置了送料机构、旋转机构、位移机构、升降机构、吸附机构组成的上料装置，解决了半导体自动上料的效果，节省了劳动力的同时提高半导体加工的效率；

11、具体的，旋转机构、位移机构、升降机构、吸附机构替代了传统的机械手，在减少维护、安装成本的情况下能够替代机械手。

12、吸附机构中设置了推动缸、吸盘，推动缸推动吸盘对半导体吸附；

13、在吸盘的基础上设置了齿轮、齿条，齿轮、齿条能够调节吸盘的位置，使吸盘对不同大小的半导体稳定的吸附；

14、送料机构中设置了送料盘，送料盘将半导体输送到吸盘的底部；

15、旋转机构、位移机构、升降机构中的核心结构是齿轮、齿条、螺纹杆，旋转机构、位移机构、升降机构具有结构简单、驱动稳定的效果。

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【技术保护点】

1.影线自动上料设备，包括：显影线设备(1)，所述显影线设备(1)在一侧设有一个支撑台(101)，显影线设备(1)上设有一处输送带，其特征在于，支撑台(101)在上方安装一组送料机构(2)、一组旋转机构(3)，送料机构(2)由第一电动马达(201)和送料盘(202)共同组成，旋转机构(3)由第二电动马达(301)和滑动轨道(302)共同组成，滑动轨道(302)的上方位置安装一组位移机构(4)；

2.如权利要求1所述影线自动上料设备，其特征在于：所述支撑台(101)上开设一组定位孔，第一电动马达(201)、第二电动马达(301)分别安装在定位孔的内部，第一电动马达(201)在上方安装一个送料盘(202)，送料盘(202)的中心位置和第一电动马达(201)的驱动轴连接。

3.如权利要求1所述影线自动上料设备，其特征在于：所述第二电动马达(301)在上方安装一个滑动轨道(302)，滑动轨道(302)的底部和第二电动马达(301)的驱动轴连接，滑动轨道(302)上设有一个滑动槽，滑动槽的位置安装一个第一齿条(402)。

4.如权利要求1所述影线自动上料设备，其特征在于：所述送料盘(202)、滑动轨道(302)在底部分别设有两处稳固块，支撑台(101)在上方开设两处圆环状的转动槽，稳固块延伸至转动槽的内部。

5.如权利要求1所述影线自动上料设备，其特征在于：所述第一齿条(402)在外侧面设有一个定位套筒，第三电动马达(401)安装在定位套筒的内部，第三电动马达(401)的驱动轴外侧安装一个齿轮，齿轮和第一齿条(402)啮合，第一齿条(402)在上方配合一组螺栓安装一个定位架(403)。

6.如权利要求1所述影线自动上料设备，其特征在于：所述定位架(403)在一端的弯折处开设一个定位孔，第四电动马达(501)安装在定位孔的内部，第四电动马达(501)的驱动轴位置设有一个螺栓杆(502)，定位架(403)在上方设有一个稳固孔，螺栓杆(502)的上方延伸至稳固孔的内部，升降板(503)上开设一个螺纹孔，螺栓杆(502)穿过螺纹孔的内部，升降板(503)在两边分别开设一个滑动槽，升降板(503)配合滑动槽安装在定位架(403)的内部。

7.如权利要求1所述影线自动上料设备，其特征在于：所述升降板(503)在一端开设一个定位孔，推动缸(601)安装在定位孔的内部，推动缸(601)的推杆在底部安装一个定位框架(602)，定位框架(602)在内部安装一个第五电动马达(603)，定位框架(602)的内部开设两个滑动孔，第二齿条(605)穿过滑动孔的内部，第二齿条(605)共有两个，第二齿条(605)在端部设有一个连接板(604)，连接板(604)上安装一组吸盘，第五电动马达(603)的驱动轴在外侧安装一个齿轮，齿轮和第二齿条(605)啮合。

8.如权利要求1所述影线自动上料设备，其特征在于：所述定位框架(602)上安装一组穿过升降板(503)的稳固杆。

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【技术特征摘要】

1.影线自动上料设备，包括：显影线设备(1)，所述显影线设备(1)在一侧设有一个支撑台(101)，显影线设备(1)上设有一处输送带，其特征在于，支撑台(101)在上方安装一组送料机构(2)、一组旋转机构(3)，送料机构(2)由第一电动马达(201)和送料盘(202)共同组成，旋转机构(3)由第二电动马达(301)和滑动轨道(302)共同组成，滑动轨道(302)的上方位置安装一组位移机构(4)；

2.如权利要求1所述影线自动上料设备，其特征在于：所述支撑台(101)上开设一组定位孔，第一电动马达(201)、第二电动马达(301)分别安装在定位孔的内部，第一电动马达(201)在上方安装一个送料盘(202)，送料盘(202)的中心位置和第一电动马达(201)的驱动轴连接。

3.如权利要求1所述影线自动上料设备，其特征在于：所述第二电动马达(301)在上方安装一个滑动轨道(302)，滑动轨道(302)的底部和第二电动马达(301)的驱动轴连接，滑动轨道(302)上设有一个滑动槽，滑动槽的位置安装一个第一齿条(402)。

4.如权利要求1所述影线自动上料设备，其特征在于：所述送料盘(202)、滑动轨道(302)在底部分别设有两处稳固块，支撑台(101)在上方开设两处圆环状的转动槽，稳固块延伸至转动槽的内部。

5.如权利要求1所述影线自动上料设备，其特征在于：所述第一齿条(402)在外侧面设有一个定位套筒，第三电动马达(4...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘金平，蔡金鑫，
申请(专利权)人：轩明视江苏人工智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：