一种异质结PECVD用载板镀膜厚度监控系统技术方案

本技术公开了一种异质结PECVD用载板镀膜厚度监控系统，包括降板机构，降板机构包括升降运动的抬升作用板，抬升作用板的上端设有称重传感器。本技术的有益效果：采用称重的方式确定载板镀膜厚度区别于常规下通过产量来评估载板镀膜厚度的方式；相较常规方案能更精准的确定载板镀膜厚度，能更好的指导产线运作；使用该种方法后可以较为精准的控制载板镀膜厚度，更好的确认载板清洗周期，减少镀膜厚度未达标准时的清洗作业从而减少NF3等气体的耗量；可以减少因超出载板镀膜厚度标准而产生的掉粉，减少进而产生的产线不良比例升高、网版寿命降低的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于pecvd加工，具体涉及一种异质结pecvd用载板镀膜厚度监控系统。

技术介绍

1、现载板镀膜加工时，通过对载板镀膜次数或机台累计产量估算载板镀膜厚度。采用统计产量或生产镀膜次数来估算获得载板镀膜厚度，进而确定清洗载板的时间，这样做监控精准度相对较低，同时存在有当机台异常或非生产镀膜情况时统计结果也会有失真的情况。

技术实现思路

1、本技术的目的在于：提供了一种异质结pecvd用载板镀膜厚度监控系统，解决了现载板镀膜厚度监控不准确的问题。

2、本技术的目的通过下述技术方案来实现：

3、一种异质结pecvd用载板镀膜厚度监控系统，包括降板机构，降板机构包括升降运动的抬升作用板，抬升作用板的上端设有称重传感器。

4、进一步的，所述的抬升作用板设有两块并左右对称布置，左右两块抬升作用板之间留有间隔。

5、进一步的，所述的抬升作用板的前后两端均布置有称重传感器。

6、进一步的，所述的降板机构包括旋转安装的上链轮和下链轮，上链轮与下链轮之间连接有往复循环运动的升降链条，升降链条与抬升作用板连接。

7、进一步的，所述的降板机构包括旋转安装的丝杠，丝杠与滚珠螺纹配合，滚珠设在抬升作用板上。

8、进一步的，所述的降板机构包括升降伸缩缸，升降伸缩缸的活塞杆与抬升作用板连接。

9、进一步的，还包括上送给机构、下回传机构和升板机构，上送给机构、降板机构、下回传机构和升板机构形成载板往复循环运动的加工线。

10、进一步的，所述的上送给机构和下回传机构均为滚轮式输送机构。

11、进一步的，所述的上送给机构沿送给方向依次布置有上料机构、镀膜腔室和下料机构。

12、进一步的，所述的上料机构和下料机构均为自动化机构。

13、本技术的有益效果：

14、1、采用称重的方式确定载板镀膜厚度区别于常规下通过产量来评估载板镀膜厚度的方式。

15、2、相较常规方案能更精准的确定载板镀膜厚度，能更好的指导产线运作。

16、3、使用该种方法后可以较为精准的控制载板镀膜厚度，更好的确认载板清洗周期，减少镀膜厚度未达标准时的清洗作业从而减少nf3等气体的耗量。

17、4、可以减少因超出载板镀膜厚度标准而产生的掉粉，减少进而产生的产线不良比例升高、网版寿命降低的问题。

18、前述本技术主方案及其各进一步选择方案可以自由组合以形成多个方案，均为本技术可采用并要求保护的方案；并且本技术，(各非冲突选择)选择之间以及和其他选择之间也可以自由组合。本领域技术人员在了解本方案后根据现有技术和公知常识可明了有多种组合，均为本技术所要保护的技术方案，在此不做穷举。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种异质结PECVD用载板镀膜厚度监控系统，包括降板机构(5)，其特征在于：所述的降板机构(5)包括升降运动的抬升作用板(501)，抬升作用板(501)的上端设有称重传感器(502)。

2.根据权利要求1所述的异质结PECVD用载板镀膜厚度监控系统，其特征在于：所述的抬升作用板(501)设有两块并左右对称布置，左右两块抬升作用板(501)之间留有间隔。

3.根据权利要求1所述的异质结PECVD用载板镀膜厚度监控系统，其特征在于：所述的抬升作用板(501)的前后两端均布置有称重传感器(502)。

4.根据权利要求1所述的异质结PECVD用载板镀膜厚度监控系统，其特征在于：所述的降板机构(5)包括旋转安装的上链轮和下链轮，上链轮与下链轮之间连接有往复循环运动的升降链条，升降链条与抬升作用板(501)连接。

5.根据权利要求1所述的异质结PECVD用载板镀膜厚度监控系统，其特征在于：所述的降板机构(5)包括旋转安装的丝杠，丝杠与滚珠螺纹配合，滚珠设在抬升作用板(501)上。

6.根据权利要求1所述的异质结PECVD用载板镀膜厚度监控系统，其特征在于：所述的降板机构(5)包括升降伸缩缸，升降伸缩缸的活塞杆与抬升作用板(501)连接。

7.根据权利要求1～6任一所述的异质结PECVD用载板镀膜厚度监控系统，其特征在于：还包括上送给机构(1)、下回传机构(6)和升板机构(7)，上送给机构(1)、降板机构(5)、下回传机构(6)和升板机构(7)形成载板(8)往复循环运动的加工线。

8.根据权利要求7所述的异质结PECVD用载板镀膜厚度监控系统，其特征在于：所述的上送给机构(1)和下回传机构(6)均为滚轮式输送机构。

9.根据权利要求7所述的异质结PECVD用载板镀膜厚度监控系统，其特征在于：所述的上送给机构(1)沿送给方向依次布置有上料机构(2)、镀膜腔室(3)和下料机构(4)。

10.根据权利要求9所述的异质结PECVD用载板镀膜厚度监控系统，其特征在于：所述的上料机构(2)和下料机构(4)均为自动化机构。

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【技术特征摘要】

1.一种异质结pecvd用载板镀膜厚度监控系统，包括降板机构(5)，其特征在于：所述的降板机构(5)包括升降运动的抬升作用板(501)，抬升作用板(501)的上端设有称重传感器(502)。

2.根据权利要求1所述的异质结pecvd用载板镀膜厚度监控系统，其特征在于：所述的抬升作用板(501)设有两块并左右对称布置，左右两块抬升作用板(501)之间留有间隔。

3.根据权利要求1所述的异质结pecvd用载板镀膜厚度监控系统，其特征在于：所述的抬升作用板(501)的前后两端均布置有称重传感器(502)。

4.根据权利要求1所述的异质结pecvd用载板镀膜厚度监控系统，其特征在于：所述的降板机构(5)包括旋转安装的上链轮和下链轮，上链轮与下链轮之间连接有往复循环运动的升降链条，升降链条与抬升作用板(501)连接。

5.根据权利要求1所述的异质结pecvd用载板镀膜厚度监控系统，其特征在于：所述的降板机构(5)包括旋转安装的丝杠，丝杠与滚珠螺纹配合，滚珠设在抬升作用板...

【专利技术属性】
技术研发人员：王豫林，郭小勇，汤安民，唐旋，杨文栋，王鸿渝，
申请(专利权)人：眉山琏升光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：