【技术实现步骤摘要】
本技术涉及甩干机，尤其涉及一种多工位圆晶甩干机。
技术介绍
1、晶圆是一种用于制作硅半导体电路所用的硅晶片，生产时根据需要，晶圆加工完成后需要进行清洗、甩干处理，甩干处理过程中会使用到特定的晶圆甩干机进行甩干。
2、于2018年4月20日授权公告的中国技术专利申请授权公告号cn207265017u公开了一种晶片甩干机，其采用固定在旋转平台的沿同一圆周间隔布置的多个限位柱，各限位柱具有弧形支撑面和内凹的避让面，弧形支撑面向上突出，内凹的避让面径向向内凹，这样弧形的支撑面线支撑待甩干的晶圆的下周缘，而内凹的避让面提供了晶圆甩干时起步和减速时形成的径向偏心移动的避让空间，从而减低了对晶圆的周面的碰撞，同时甩干过程限位柱除了接触晶圆的上下周缘外，限位柱不接触晶圆的上下表面。
3、但上述方案中，该晶圆甩干机只有1个甩干工位，同一个时间段只能对一片晶圆进行甩干，效率低下。
技术实现思路
1、本技术提供了一种多工位圆晶甩干机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
3、一种多工位圆晶甩干机，包括甩干箱，所述甩干箱底侧壁上固定连接有多个支撑腿，所述甩干箱的底侧壁上固定连接有机箱，所述机箱内固定连接有电机，所述电机的输出轴固定连接有主动杆，所述主动杆贯穿甩干箱的底侧壁，所述主动杆上固定连接有第一斜齿轮，所述第一斜齿轮的侧壁上啮合连接有多个第二斜齿轮，每个所述第二斜齿轮的侧壁上固定连接有转动杆，每个所述转动杆上
4、作为本技术方案的进一步改进方案：每个所述圆晶固定装置包括多个支撑片，多个所述支撑片呈环形阵列固定连接在转盘的上侧壁，每个所述支撑片的一端固定连接有挡柱，每个所述支撑片上侧设有多个吸盘。
5、作为本技术方案的进一步改进方案：所述甩干箱的上侧壁固定连接有多个挡水筒，每个所述挡水筒上下两端均呈开口设置，多个所述转盘分别位于多个挡水筒内。
6、作为本技术方案的进一步改进方案：所述甩干箱的侧壁底端均固定连接有排水管，所述排水管上设有阀门。
7、作为本技术方案的进一步改进方案：所述甩干箱的内底侧壁呈倾斜状设置，所述排水管位于甩干箱内部倾斜底侧壁的最低端。
8、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
9、该装置设计合理，构思巧妙，通过设置主动杆、第一斜齿轮、第二斜齿轮、转动杆、第三斜齿轮、第四斜齿轮、从动杆等部件相互配合，可同时对多个晶圆片进行甩干，提高了晶圆片的甩干效率。
10、上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。本技术的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出。
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1.一种多工位圆晶甩干机，包括甩干箱(17)，其特征在于，所述甩干箱(17)底侧壁上固定连接有多个支撑腿(2)，所述甩干箱(17)的底侧壁上固定连接有机箱(10)，所述机箱(10)内固定连接有电机(9)，所述电机(9)的输出轴固定连接有主动杆(15)，所述主动杆(15)贯穿甩干箱(17)的底侧壁，所述主动杆(15)上固定连接有第一斜齿轮(16)，所述第一斜齿轮(16)的侧壁上啮合连接有多个第二斜齿轮(8)，每个所述第二斜齿轮(8)的侧壁上固定连接有转动杆(7)，每个所述转动杆(7)上转动连接有支撑板(6)，每个所述支撑板(6)固定连接在甩干箱(17)的内底侧壁上，每个所述转动杆(7)的一端固定连接有第三斜齿轮(5)，每个所述第三斜齿轮(5)的侧壁上啮合连接有第四斜齿轮(3)，每个所述第四斜齿轮(3)的侧壁上贯穿并固定连接有从动杆(4)，每个所述从动杆(4)的底端转动连接在甩干箱(17)的内部底侧壁上，所述主动杆(15)和多个从动杆(4)的上端均固定连接有转盘(12)，每个所述转盘(12)上设有圆晶固定装置。
2.根据权利要求1所述的一种多工位圆晶甩干机，其特征在于，每
3.根据权利要求2所述的一种多工位圆晶甩干机，其特征在于，所述甩干箱(17)的上侧壁固定连接有多个挡水筒(11)，每个所述挡水筒(11)上下两端均呈开口设置，多个所述转盘(12)分别位于多个挡水筒(11)内。
4.根据权利要求3所述的一种多工位圆晶甩干机，其特征在于，所述甩干箱(17)的侧壁底端均固定连接有排水管(1)，所述排水管(1)上设有阀门。
5.根据权利要求4所述的一种多工位圆晶甩干机，其特征在于，所述甩干箱(17)的内底侧壁呈倾斜状设置，所述排水管(1)位于甩干箱(17)内部倾斜底侧壁的最低端。
...【技术特征摘要】
1.一种多工位圆晶甩干机，包括甩干箱(17)，其特征在于，所述甩干箱(17)底侧壁上固定连接有多个支撑腿(2)，所述甩干箱(17)的底侧壁上固定连接有机箱(10)，所述机箱(10)内固定连接有电机(9)，所述电机(9)的输出轴固定连接有主动杆(15)，所述主动杆(15)贯穿甩干箱(17)的底侧壁，所述主动杆(15)上固定连接有第一斜齿轮(16)，所述第一斜齿轮(16)的侧壁上啮合连接有多个第二斜齿轮(8)，每个所述第二斜齿轮(8)的侧壁上固定连接有转动杆(7)，每个所述转动杆(7)上转动连接有支撑板(6)，每个所述支撑板(6)固定连接在甩干箱(17)的内底侧壁上，每个所述转动杆(7)的一端固定连接有第三斜齿轮(5)，每个所述第三斜齿轮(5)的侧壁上啮合连接有第四斜齿轮(3)，每个所述第四斜齿轮(3)的侧壁上贯穿并固定连接有从动杆(4)，每个所述从动杆(4)的底端转动连接在甩干箱(17)的内部底侧壁上，所述主动杆(15)和多个从动杆(4)的上端均固定连接有转盘(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵文涛，
申请(专利权)人：河北中科微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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