【技术实现步骤摘要】
本技术属于搬运机器人，具体的说，涉及一种夹持装置及晶圆盒搬运机器人。
技术介绍
1、晶圆具有厚度薄、重量轻、脆性大且对环境洁净对要求高等特点，为了降低晶圆被污染的风险，晶圆一般存放于晶圆盒内并通过晶圆盒实现搬运，在传统技术中，晶圆盒在仓库、生产车间等室内的搬运一般通过人工进行搬运，其耗费的人力较多。
2、为了解决上述传统技术中的问题，现有技术提出了用于搬运晶圆盒的晶圆搬运机器人，在现有的晶圆盒搬运机器人中，一般是在自动导引车上安装机械臂，机械臂上设有夹取装置(如夹爪或机械手)，通过夹取装置来对晶圆盒进行夹取并搬运，机器人运行于半导体晶圆加工厂，搬运存取的负载为半导体晶圆盒，为了防止晶圆被环境污染以及外物碰擦，需要保持高洁净特定浓度的n2及其他环境，现有的夹取装置难以保证半导体晶圆盒高洁净度效果，搬运机器人难以在高洁净度状态下搬运，容易影响晶圆盒内部晶圆。
3、有鉴于此，特提出本申请。
技术实现思路
1、本技术要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种夹持装置及晶圆盒搬运机器人，实现所需要达到的目的。
2、为解决上述技术问题，本技术提供的一种夹持装置，包括叉臂和安装在叉臂上用于夹取晶圆盒的夹爪；
3、所述叉臂包括基体，所述基体顶面前侧安装有进气喷嘴、出气喷嘴和接触传感器，所述基体顶面后侧还安装有直通式两通电磁阀、流量传感器，所述基体侧壁安装有过滤器，所述基体另一侧壁安装有充气泵，所述进气喷嘴与出气喷嘴之间连接有输气管，所述充气泵、
4、进一步的，所述夹爪包括固定安装在旋转马达上的安装座，所述安装座顶面与底面均转动连接有第一连杆，所述第一连杆远离安装座的一端转动连接有夹板，所述安装座内部安装有电动气缸，所述电动气缸的伸缩端连接有连接板，所述连接板顶面与底面均转动连接有第二连杆，所述第二连杆远离连接板的一端与夹板转动连接。
5、进一步的，所述进气喷嘴与出气喷嘴呈对称设置，所述输气管的一端与出气喷嘴连通，所述输气管另一端与进气喷嘴连通。
6、进一步的，所述接触传感器的数量为两个，其中一个所述接触传感器设置在基体顶面左侧且靠近进气喷嘴，另一个所述接触传感器设置在基体顶面右侧且靠近出气喷嘴。
7、进一步的，一种晶圆盒搬运机器人，包括行走机构、垂直升降机构和承载台，所述行走机构顶部设置有支撑框架，所述承载台滑动设置在支撑框架上，所述垂直升降机构设置在行走机构顶部，所述垂直升降机构可控制承载台沿支撑框架升降位移，所述叉臂安装在承载台顶面。
8、进一步的，所述垂直升降机构包括支撑柱、螺纹杆、螺纹座和伺服电机，所述支撑柱呈对称安装在行走机构顶部，所述螺纹杆转动安装在支撑柱内部，所述螺纹座滑动安装在支撑柱上，所述承载台与螺纹座侧壁固定连接，所述伺服电机安装在支撑柱内部且伺服电机的驱动端与螺纹杆的顶端固定连接。
9、采用上述技术方案后，本技术与现有技术相比具有以下有益效果。
10、本技术中，为维持晶圆盒在搬运过程中n 2气浓度，在机器人叉臂上设计n 2气体流量检测，当检测到晶圆盒内部氮气浓度不足时，通过出气喷嘴可充入n 2气体，在由输气管输送至进气喷嘴内部喷出，并通过过滤器对n 2气体过滤，确保n 2气体结晶度，同时自动释放进行n 2气体充入，并根据流量传感器和输气管进行进入气体的自测量与自反馈，通过该技术，实现晶圆盒保持在百级洁净度。
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1.一种夹持装置，包括：
2.根据权利要求1所述的一种夹持装置，其特征在于，所述夹爪（5）包括固定安装在旋转马达（411）上的安装座（501），所述安装座（501）顶面与底面均转动连接有第一连杆（502），所述第一连杆（502）远离安装座（501）的一端转动连接有夹板（503），所述安装座（501）内部安装有电动气缸（504），所述电动气缸（504）的伸缩端连接有连接板（505），所述连接板（505）顶面与底面均转动连接有第二连杆（506），所述第二连杆（506）远离连接板（505）的一端与夹板（503）转动连接。
3.根据权利要求1所述的一种夹持装置，其特征在于，所述进气喷嘴（402）与出气喷嘴（403）呈对称设置，所述输气管（408）的一端与出气喷嘴（403）连通，所述输气管（408）另一端与进气喷嘴（402）连通。
4.根据权利要求1所述的一种夹持装置，其特征在于，所述接触传感器（409）的数量为两个，其中一个所述接触传感器（409）设置在基体（401）顶面左侧且靠近进气喷嘴（402），另一个所述接触传感器（409）设置在基体（401）顶
5.一种晶圆盒搬运机器人，适用于权利要求1-4任一所述一种夹持装置，其特征在于，包括行走机构（1）、垂直升降机构（2）和承载台（3），所述行走机构（1）顶部设置有支撑框架，所述承载台（3）滑动设置在支撑框架上，所述垂直升降机构（2）设置在行走机构（1）顶部，所述垂直升降机构（2）可控制承载台（3）沿支撑框架升降位移，所述叉臂（4）安装在承载台（3）顶面。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆盒搬运机器人，其特征在于，所述垂直升降机构（2）包括支撑柱、螺纹杆、螺纹座和伺服电机，所述支撑柱呈对称安装在行走机构（1）顶部，所述螺纹杆转动安装在支撑柱内部，所述螺纹座滑动安装在支撑柱上，所述承载台（3）与螺纹座侧壁固定连接，所述伺服电机安装在支撑柱内部且伺服电机的驱动端与螺纹杆的顶端固定连接。
...【技术特征摘要】
1.一种夹持装置，包括：
2.根据权利要求1所述的一种夹持装置，其特征在于，所述夹爪（5）包括固定安装在旋转马达（411）上的安装座（501），所述安装座（501）顶面与底面均转动连接有第一连杆（502），所述第一连杆（502）远离安装座（501）的一端转动连接有夹板（503），所述安装座（501）内部安装有电动气缸（504），所述电动气缸（504）的伸缩端连接有连接板（505），所述连接板（505）顶面与底面均转动连接有第二连杆（506），所述第二连杆（506）远离连接板（505）的一端与夹板（503）转动连接。
3.根据权利要求1所述的一种夹持装置，其特征在于，所述进气喷嘴（402）与出气喷嘴（403）呈对称设置，所述输气管（408）的一端与出气喷嘴（403）连通，所述输气管（408）另一端与进气喷嘴（402）连通。
4.根据权利要求1所述的一种夹持装置，其特征在于，所述接触传感器（409）的数量为两个，其中一个所述接...
【专利技术属性】
技术研发人员：邹春阳，侍素妹，
申请(专利权)人：艾媛永旭半导体江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：
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