【技术实现步骤摘要】
本技术涉及吸气剂，具体为一种用于生产混合膜的薄膜吸气剂掩膜。
技术介绍
1、随着传统真空器件及各类传感器、mems器件向小型化、扁平化、集成化，其形状也从传统的圆柱形，发展为薄片状的厚膜、薄膜、进而集成在晶元上，吸气剂在厚度方向的尺寸也从数毫米，发展为几百微米，进而发展为数微米，薄膜吸气剂是其中一种终端类型，掩膜是在薄膜吸气剂生产过程中配套的一种辅助装置，其作用为将基片的待镀膜区域与非镀膜区域分隔。
2、目前在具体顶部放置掩膜后，在掩膜的表面进行第一次镀膜后，为了提高镀膜的均匀性和去除气泡等功能，需要对掩膜进行旋转，目前旋转的方式是操作人员手动去除掩膜进行旋转并控制旋转角度，但是在手动取出掩膜的过程中，由于不能保持掩膜完全水平，可能会导致第一次镀膜失败，此时需要重新镀膜，进而造成成本损失和资源浪费。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种用于生产混合膜的薄膜吸气剂掩膜，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于生产混合膜的薄膜吸气剂掩膜，包括不锈钢主体，所述不锈钢主体顶端的前后两侧对称开设有空腔，所述空腔底壁的中心固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆顶端的输出轴转动连接有基片，所述基片的左右两端均开设有侧槽，所述侧槽内部的前后两侧对称滑动连接有滑块，所述滑块的顶端转动连接有转杆一，所述转杆一远离滑块的一端固定连接有缓冲弹簧一，所述缓冲弹簧一远离转杆一的一端固定安装有转杆二，所述转杆二的表面固定安装有稳定杆，所述
3、其中，所述不锈钢主体的厚度为0.1mm-5.0mm，所述空腔采用化学蚀刻或激光切割的方式进行制作。
4、其中，所述基片的底端开设有卡槽，所述凸杆和卡槽相适配卡接，使得基片平稳地设置在空腔的内部。
5、其中，两个所述滑块之间固定安装有复位弹簧，复位弹簧可使得两个滑块回到初始位置。
6、其中，所述转杆一靠近缓冲弹簧一的一端开设有凹槽，凹槽的宽度大于稳定杆的宽度，所述稳定杆远离转杆二的一端位于凹槽的内部。
7、其中，所述按压板的底端和掩膜相适配贴合，按压板可对掩膜进行限定，避免掩膜的位置变化，所述拉绳远离底板的一端固定连接在凸杆的表面，底板移动时受到拉绳的拉力，此时底板被拉动向基片的边缘位置。
8、其中，所述缓冲弹簧二的底端固定安装在空腔的底壁，所述缓冲弹簧二设置在基片底端的四角。
9、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
10、本技术通过旋转掩膜并更换不同的靶材，可以在同一个掩膜的表面生产不同的膜层，克服薄膜吸气剂膜层种类单一的问题；在提起掩膜的过程中，按压板对掩膜的边缘进行限定，使得基片托举掩膜并使掩膜保持水平，避免掩膜在升起的过程中弯折而导致镀膜层的损坏，进而避免成本损失和资源浪费。
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1.一种用于生产混合膜的薄膜吸气剂掩膜，包括不锈钢主体(1)，其特征在于：所述不锈钢主体(1)顶端的前后两侧对称开设有空腔(2)，所述空腔(2)底壁的中心固定安装有电动伸缩杆(3)，所述电动伸缩杆(3)顶端的输出轴转动连接有基片(4)，所述基片(4)的左右两端均开设有侧槽(5)，所述侧槽(5)内部的前后两侧对称滑动连接有滑块(6)，所述滑块(6)的顶端转动连接有转杆一(7)，所述转杆一(7)远离滑块(6)的一端固定连接有缓冲弹簧一(8)，所述缓冲弹簧一(8)远离转杆一(7)的一端固定安装有转杆二(9)，所述转杆二(9)的表面固定安装有稳定杆(10)，所述转杆二(9)远离缓冲弹簧一(8)的一端转动连接有连接板(11)，所述连接板(11)的前后两侧均固定安装有按压板(12)，所述滑块(6)的底端固定安装有底板(13)，所述底板(13)的表面固定连接有拉绳(14)，所述空腔(2)的底壁固定安装有凸杆(15)，所述基片(4)的底端固定安装有缓冲弹簧二(16)，所述基片(4)的表面设置有掩膜(17)。
2.根据权利要求1所述的一种用于生产混合膜的薄膜吸气剂掩膜，其特征在于：所述
3.根据权利要求1所述的一种用于生产混合膜的薄膜吸气剂掩膜，其特征在于：所述基片(4)的底端开设有卡槽，所述凸杆(15)和卡槽相适配卡接。
4.根据权利要求1所述的一种用于生产混合膜的薄膜吸气剂掩膜，其特征在于：两个所述滑块(6)之间固定安装有复位弹簧。
5.根据权利要求1所述的一种用于生产混合膜的薄膜吸气剂掩膜，其特征在于：所述转杆一(7)靠近缓冲弹簧一(8)的一端开设有凹槽，凹槽的宽度大于稳定杆(10)的宽度，所述稳定杆(10)远离转杆二(9)的一端位于凹槽的内部。
6.根据权利要求1所述的一种用于生产混合膜的薄膜吸气剂掩膜，其特征在于：所述按压板(12)的底端和掩膜(17)相适配贴合，所述拉绳(14)远离底板(13)的一端固定连接在凸杆(15)的表面。
7.根据权利要求1所述的一种用于生产混合膜的薄膜吸气剂掩膜，其特征在于：所述缓冲弹簧二(16)的底端固定安装在空腔(2)的底壁，所述缓冲弹簧二(16)设置在基片(4)底端的四角。
...【技术特征摘要】
1.一种用于生产混合膜的薄膜吸气剂掩膜，包括不锈钢主体(1)，其特征在于：所述不锈钢主体(1)顶端的前后两侧对称开设有空腔(2)，所述空腔(2)底壁的中心固定安装有电动伸缩杆(3)，所述电动伸缩杆(3)顶端的输出轴转动连接有基片(4)，所述基片(4)的左右两端均开设有侧槽(5)，所述侧槽(5)内部的前后两侧对称滑动连接有滑块(6)，所述滑块(6)的顶端转动连接有转杆一(7)，所述转杆一(7)远离滑块(6)的一端固定连接有缓冲弹簧一(8)，所述缓冲弹簧一(8)远离转杆一(7)的一端固定安装有转杆二(9)，所述转杆二(9)的表面固定安装有稳定杆(10)，所述转杆二(9)远离缓冲弹簧一(8)的一端转动连接有连接板(11)，所述连接板(11)的前后两侧均固定安装有按压板(12)，所述滑块(6)的底端固定安装有底板(13)，所述底板(13)的表面固定连接有拉绳(14)，所述空腔(2)的底壁固定安装有凸杆(15)，所述基片(4)的底端固定安装有缓冲弹簧二(16)，所述基片(4)的表面设置有掩膜(17)。
2.根据权利要求1所述的一种用于生产混合膜的薄膜吸气剂掩膜，其特征在于：所述不锈钢主...
【专利技术属性】
技术研发人员：夏纲，薛函迎，柴云川，
申请(专利权)人：南京华东电子真空材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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