【技术实现步骤摘要】
本技术涉及垂直探针卡,尤其涉及一种具有缓冲功能的垂直探针卡。
技术介绍
1、探针卡应用于在集成电路制造过程中,其是在晶片测试过程期间对晶片上的芯片进行电测试的夹具,探针卡对接在晶片导电探针器上,以用作芯片电极与测试仪器之间的连接器,探针卡上的导电探针与芯片电极接触,以进行电气测试,判断芯片是否正常。
2、但是现有技术中,现有的探针卡进行保密芯片测试时,探针会因为接触带保密芯片而产生一个力,进而对底部的检测壳体通过力的传导,对其产生了一个力,而传统的探针卡不具备缓冲功能,导致探针易断折,降低了保密芯片的测试速度,且垂直式探针卡上的检测壳体采用胶粘的方式固定在承载板上,该连接方式限制了探针卡仅能够对一种型号的芯片进行检测,当需要检测不同的芯片时,需要对整个探针卡进行拆卸更换,操作复杂。
技术实现思路
1、本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,传统的探针卡不具备缓冲功能,导致探针易断折,降低了保密芯片的测试速度,且垂直式探针卡上的检测壳体采用螺栓或胶粘的方式固定在承载板上,该连接方式限制了探针卡仅能够对一种型号的芯片进行检测,当需要检测不同的芯片时,需要对整个探针卡进行拆卸更换,操作复杂,提供一种具有缓冲功能的垂直探针卡。
2、为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:一种具有缓冲功能的垂直探针卡,包括检测壳体,所述检测壳体的上表面开设有引导孔,且检测壳体的上表面固定连接有承载板,所述承载板的上表面固定连接有芯片放置槽,所述芯片放置槽的内部固定连接有垂直探
3、作为一种优选的实施方式,所述缓冲机构包括固定连接在检测壳体底部的缓冲壳体,所述缓冲壳体的内部活动连接有压缩柱,所述压缩柱的底端固定连接有缓冲垫。
4、作为一种优选的实施方式,所述缓冲壳体的底部表面固定连接有半圆缓冲板,所述半圆缓冲板的底部固定连接有弹簧缓冲杆,所述弹簧缓冲杆的上下表面均固定连接有橡胶缓冲板,所述橡胶缓冲板的底端固定连接有塑胶缓冲件。
5、作为一种优选的实施方式,所述缓冲壳体的一侧表面开设有缓冲槽体,所述缓冲槽体的内侧表面固定连接有缓冲弹簧,所述缓冲弹簧的一端固定连接有压缩板,且压缩板活动连接在缓冲槽体内部。
6、作为一种优选的实施方式,所述压缩板的一侧表面固定连接有推进杆,所述推进杆的一端固定连接有塑胶缓冲块,所述塑胶缓冲块的一端固定连接有柱形缓冲件,所述柱形缓冲件活动连接在缓冲壳体的内部。
7、作为一种优选的实施方式,所述固定机构包括固定连接在检测壳体底部的底座,所述底座的内部设置有双向螺纹杆,所述双向螺纹杆的一端与底座的内部转动连接,且双向螺纹杆的另一端固定安装有转柄。
8、作为一种优选的实施方式,所述转柄的表面活动连接有螺纹滑块,所述螺纹滑块的顶端表面固定连接有限位夹板,所述底座的底部表面活动连接有定位杆。
9、与现有技术相比,本技术的优点和积极效果在于:
10、一、本技术通过设置的缓冲机构,通过安装在缓冲壳体内部的压缩柱,再经过缓冲垫的配合,将垂直探针测试时,由垂直向下对检测壳体所产生的压力,进行缓冲,同时,对柱形缓冲件造成压力,形状产生了改变,向外进行挤压,受到的挤压的塑胶缓冲块配合到推进杆,推动压缩板向内进行挤压,进而对缓冲弹簧产生压缩,进行缓冲,然后,通过半圆缓冲板、弹簧缓冲杆、橡胶缓冲板和塑胶缓冲件的共同配合,通过逐步缓冲,进而提高了缓冲效果。
11、二、本技术通过设置的限位机构,通过顺时针转动转柄,进而带动双向螺纹杆进行转动,使其表面的螺纹滑块能够在其表面进行双向滑动,并由螺纹滑块带动限位夹板,以便于将放置在芯片放置槽表面上待测试的芯片进行固定,以及利用定位杆,便于将底座定位在检测壳体的底部,从而提高了测试效率。
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1.一种具有缓冲功能的垂直探针卡,包括检测壳体(1),其特征在于:所述检测壳体(1)的上表面开设有引导孔(101),且检测壳体(1)的上表面固定连接有承载板(2),所述承载板(2)的上表面固定连接有芯片放置槽(3),所述芯片放置槽(3)的内部固定连接有垂直探针卡,所述检测壳体(1)的底部固定连接有缓冲机构(4),所述缓冲机构(4)的一端表面固定连接有固定机构(5)。
2.根据权利要求1所述的一种具有缓冲功能的垂直探针卡,其特征在于:所述缓冲机构(4)包括固定连接在检测壳体(1)底部的缓冲壳体(401),所述缓冲壳体(401)的内部活动连接有压缩柱(402),所述压缩柱(402)的底端固定连接有缓冲垫(403)。
3.根据权利要求2所述的一种具有缓冲功能的垂直探针卡,其特征在于:所述缓冲壳体(401)的底部表面固定连接有半圆缓冲板(404),所述半圆缓冲板(404)的底部固定连接有弹簧缓冲杆(405),所述弹簧缓冲杆(405)的上下表面均固定连接有橡胶缓冲板(406),所述橡胶缓冲板(406)的底端固定连接有塑胶缓冲件(407)。
4.根据权利要
5.根据权利要求4所述的一种具有缓冲功能的垂直探针卡,其特征在于:所述压缩板(413)的一侧表面固定连接有推进杆(414),所述推进杆(414)的一端固定连接有塑胶缓冲块(415),所述塑胶缓冲块(415)的一端固定连接有柱形缓冲件(416),所述柱形缓冲件(416)活动连接在缓冲壳体(401)的内部。
6.根据权利要求1所述的一种具有缓冲功能的垂直探针卡,其特征在于:所述固定机构(5)包括固定连接在检测壳体(1)底部的底座(501),所述底座(501)的内部设置有双向螺纹杆(502),所述双向螺纹杆(502)的一端与底座(501)的内部转动连接,且双向螺纹杆(502)的另一端固定安装有转柄(503)。
7.根据权利要求6所述的一种具有缓冲功能的垂直探针卡,其特征在于:所述转柄(503)的表面活动连接有螺纹滑块(504),所述螺纹滑块(504)的顶端表面固定连接有限位夹板(505),所述底座(501)的底部表面活动连接有定位杆(506)。
...【技术特征摘要】
1.一种具有缓冲功能的垂直探针卡,包括检测壳体(1),其特征在于:所述检测壳体(1)的上表面开设有引导孔(101),且检测壳体(1)的上表面固定连接有承载板(2),所述承载板(2)的上表面固定连接有芯片放置槽(3),所述芯片放置槽(3)的内部固定连接有垂直探针卡,所述检测壳体(1)的底部固定连接有缓冲机构(4),所述缓冲机构(4)的一端表面固定连接有固定机构(5)。
2.根据权利要求1所述的一种具有缓冲功能的垂直探针卡,其特征在于:所述缓冲机构(4)包括固定连接在检测壳体(1)底部的缓冲壳体(401),所述缓冲壳体(401)的内部活动连接有压缩柱(402),所述压缩柱(402)的底端固定连接有缓冲垫(403)。
3.根据权利要求2所述的一种具有缓冲功能的垂直探针卡,其特征在于:所述缓冲壳体(401)的底部表面固定连接有半圆缓冲板(404),所述半圆缓冲板(404)的底部固定连接有弹簧缓冲杆(405),所述弹簧缓冲杆(405)的上下表面均固定连接有橡胶缓冲板(406),所述橡胶缓冲板(406)的底端固定连接有塑胶缓冲件(407)。
4.根据权利要求2所述的一种具有缓冲功能的垂直探针卡,其特征在于:所述缓冲壳体(401)的一侧表面开设...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙波波,
申请(专利权)人:江苏鹏利芝达恩半导体有限公司,
类型:新型
国别省市:
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