【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光伏生产设备，具体涉及一种立式处理装置以及处理方法。
技术介绍
1、在各种太阳能电池中，硅太阳能电池因其可靠性高、寿命长、能承受各种环境变化等优点成为太阳能电池的主要品种。扩散制作p-n结是晶体硅太阳电池的核心，也是电池质量好坏的关键之一。光伏扩散设备是扩散工序中必不可少的装置。
2、现有技术中的立式扩散设备，包括炉体、石英管腔体、悬臂升降装置和石英舟，石英舟内设置硅片，悬臂升降装置上升时将石英舟通过石英管腔体底部开口送入石英管腔体内部，炉体对设于其内部的石英管腔体内部加热到高温，以对石英舟所承载硅片做扩散工艺，结束后，悬臂升降装置下降将石英舟从石英管腔体内部取出。
3、但是上述的立式扩散设备在进入或退出石英管腔体时，需要在石英管腔体底部为石英舟运动预留足够的空间，在厂房高度受限的前提下，需要减小石英舟的体积以保证石英舟能够顺利进入或退出石英管腔体，由于石英舟高度尺寸与石英舟所能承载的硅片数量成正相关，因此减小石英舟的体积会造成单次加工的硅片数量的减小。
技术实现思路
1、因此，本专利技术所要解决的技术问题在于现有技术中的立式扩散设备在进入或退出石英管腔体时，需要在石英管腔体底部为石英舟运动预留足够的空间，在厂房高度受限的前提下，需要减小石英舟的体积以保证石英舟能够顺利进入或退出石英管腔体，由于石英舟高度尺寸与石英舟所能承载的硅片数量成正相关，因此减小石英舟的体积会造成单次加工的硅片数量的减小。
2、为此，本专利技术提供一种立式处理
3、炉体，包括若干分炉体，若干所述分炉体相连接以构成加热腔；
4、驱动装置，与若干所述分炉体连接，以驱动若干所述分炉体靠近或远离；
5、上下料装置；
6、载具，与所述上下料装置配合，所述载具被配置为受所述上下料装置驱动，而经所述炉体侧面进入或离开所述加热腔内；
7、承载装置，设于所述炉体内部，以支撑设于所述炉体内的载具。
8、可选地，所述炉体包括第一分炉体和第二分炉体，所述第一分炉体和第二分炉体被配置为受所述驱动装置驱动而完全分离，以使所述第一分炉体和第二分炉体间形成有适于载具通过的间隔。
9、可选地，所述炉体包括第一分炉体和第二分炉体，所述第一分炉体和第二分炉体一侧铰接，所述第一分炉体和第二分炉体被配置为受所述驱动装置驱动而相对铰接处转动，以使所述第一分炉体和第二分炉体间形成有适于载具通过的间隔。
10、可选地，所述承载装置包括托盘悬臂，所述托盘悬臂与所述炉体连接，且所述托盘悬臂一端贯穿所述炉体设于所述加热腔内。
11、可选地，所述托盘悬臂设于所述加热腔内一端设有托盘件，所述托盘件与所述载具连接。
12、可选地，所述第一分炉体与所述托盘悬臂连接，所述第二分炉体被配置为在驱动装置作用下向第一分炉体方向运动，直至所述第一分炉体和第二分炉体相互抵接以形成加热腔。
13、可选地，所述第二分炉体与所述托盘悬臂连接，所述第一分炉体被配置为在驱动装置作用下向第二分炉体方向运动，直至所述第一分炉体和第二分炉体相互抵接以形成加热腔。
14、可选地，所述第一分炉体或所述第二分炉体内设有进气管、抽气管以及测温件，所述进气管一端设于所述第一分炉体或所述第二分炉体内，所述进气管另一端与外界气源设备连接；所述抽气管一端设于所述第一分炉体或所述第二分炉体内，所述抽气管另一端与外界气源设备连接。
15、一种处理方法，采用上述所述立式处理装置，该方法包括如下步骤：
16、第一分炉体和第二分炉体开启：通过驱动装置驱动第一分炉体和第二分炉体分离；
17、放置载具：通过上下料装置将载具通过第一分炉体和第二分炉体之间的间隔放入炉体内部的承载装置上，而后上下料装置退出炉体内部；
18、第一分炉体和第二分炉体闭合：通过驱动装置驱动第一分炉体和第二分炉体相互抵接以构成加热腔。
19、可选地，处理方法还包括如下步骤：
20、扩散处理：通过炉体对加热腔内部加热，进而加热设于加热腔内部的载具，以对所述载具内所承载硅片进行扩散处理。
21、可选地，所述扩散处理前，处理方法还包括如下步骤：
22、抽气：在进行所述扩散处理前，通过炉体内抽气管对加热腔内部抽真空，而后通过炉体对加热腔内部加热；
23、进气：通过炉体内进气管向加热后的加热腔内输入工艺气体。
24、本专利技术提供的一种立式处理装置，具有如下优点：
25、1.本专利技术提供一种立式处理装置，包括炉体、驱动装置、上下料装置、载具和承载装置，炉体包括若干分炉体，若干所述分炉体相连接以构成加热腔，驱动装置与所述分炉体连接，以驱动所述分炉体靠近或远离；上下料装置与所述炉体连接，载具与所述上下料装置连接，所述载具被配置为受所述上下料装置驱动，而经所述炉体侧面进入或离开所述加热腔内；承载装置设于所述炉体内部，以支撑设于所述炉体内的载具。
26、此结构的立式处理装置，设置外炉体包括若干分炉体，若干所述分炉体相连接以构成加热腔，且设置驱动装置与所述分炉体连接，以驱动所述分炉体远离，而后通过上下料装置将载具从相互分离的分炉体间间隔从所述炉体侧面放入炉体内部，而后再通过驱动装置驱动所述分炉体靠近闭合成加热腔，使得炉体的高度即接近于设备总高度，这样充分利用厂房高度空间，可以将炉体内加热腔高度尺寸做到最大，进而载具的高度尺寸也可做到最大，载具高度尺寸与载具所能承载的硅片数量成正相关，进而能够提高产能。
27、2.本专利技术提供一种立式处理装置，炉体沿着其内部竖直轴线分为第一分炉体和第二分炉体，第一分炉体和第二分炉体相互靠近的边缘上设置有密封圈，此处的密封圈为耐高温材料制成，以避免在第一分炉体和第二分炉体闭合时，第一分炉体和第二分炉体的连接处发生泄露，影响加热腔内部载具中硅片的加工。
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1.一种立式处理装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的立式处理装置，其特征在于，所述炉体包括第一分炉体(1)和第二分炉体(2)，所述第一分炉体(1)和第二分炉体(2)被配置为受所述驱动装置驱动而完全分离，以使所述第一分炉体(1)和第二分炉体(2)间形成有适于载具(3)通过的间隔。
3.根据权利要求1所述的立式处理装置，其特征在于，所述炉体包括第一分炉体(1)和第二分炉体(2)，所述第一分炉体(1)和第二分炉体(2)一侧铰接，所述第一分炉体(1)和第二分炉体(2)被配置为受所述驱动装置驱动而相对铰接处转动，以使所述第一分炉体(1)和第二分炉体(2)间形成有适于载具(3)通过的间隔。
4.根据权利要求2或3所述的立式处理装置，其特征在于，所述承载装置包括托盘悬臂(4)，所述托盘悬臂(4)与所述炉体连接，且所述托盘悬臂(4)一端贯穿所述炉体设于所述加热腔内。
5.根据权利要求4所述的立式处理装置，其特征在于，所述托盘悬臂(4)设于所述加热腔内一端设有托盘件(8)，所述托盘件(8)与所述载具(3)连接。
6.根据权利
7.根据权利要求5所述的立式处理装置，其特征在于，所述第二分炉体(2)与所述托盘悬臂(4)连接，所述第一分炉体(1)被配置为在驱动装置作用下向第二分炉体(2)方向运动，直至所述第一分炉体(1)和第二分炉体(2)相互抵接以形成加热腔。
8.根据权利要求5所述的立式处理装置，其特征在于，所述第一分炉体(1)或所述第二分炉体(2)内设有进气管(5)、抽气管(6)以及测温件(7)，所述进气管(5)一端设于所述第一分炉体(1)或所述第二分炉体(2)内，所述进气管(5)另一端与外界气源设备连接；所述抽气管(6)一端设于所述第一分炉体(1)或所述第二分炉体(2)内，所述抽气管(6)另一端与外界气源设备连接。
9.一种处理方法，采用权利要求1-8中任一项所述立式处理装置，其特征在于，该方法包括如下步骤：
10.根据权利要求9所述的处理方法，其特征在于，还包括如下步骤：
11.根据权利要求10所述的处理方法，其特征在于，还包括如下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种立式处理装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的立式处理装置，其特征在于，所述炉体包括第一分炉体(1)和第二分炉体(2)，所述第一分炉体(1)和第二分炉体(2)被配置为受所述驱动装置驱动而完全分离，以使所述第一分炉体(1)和第二分炉体(2)间形成有适于载具(3)通过的间隔。
3.根据权利要求1所述的立式处理装置，其特征在于，所述炉体包括第一分炉体(1)和第二分炉体(2)，所述第一分炉体(1)和第二分炉体(2)一侧铰接，所述第一分炉体(1)和第二分炉体(2)被配置为受所述驱动装置驱动而相对铰接处转动，以使所述第一分炉体(1)和第二分炉体(2)间形成有适于载具(3)通过的间隔。
4.根据权利要求2或3所述的立式处理装置，其特征在于，所述承载装置包括托盘悬臂(4)，所述托盘悬臂(4)与所述炉体连接，且所述托盘悬臂(4)一端贯穿所述炉体设于所述加热腔内。
5.根据权利要求4所述的立式处理装置，其特征在于，所述托盘悬臂(4)设于所述加热腔内一端设有托盘件(8)，所述托盘件(8)与所述载具(3)连接。
6.根据权利要求5所述的立式处理装置，其特征在于，所述第一分炉体(1)与...
【专利技术属性】
技术研发人员：黎微明，毛文瑞，黄宗健，窦凤祥，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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