【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及过滤器，具体涉及一种气体过滤器。
技术介绍
1、在过去的几十年里，膜过滤技术逐渐崭露头角。这种技术利用特殊的高分子膜材料，能够实现对微小颗粒和杂质的高效分离。然而，膜过滤技术在处理高流量和高压气体时，往往面临着膜的破损和性能下降的挑战。并且，传统的直线流过滤器结构在处理大流量气体时，压力损失较大。
2、在实际应用中，不同行业对高纯气体过滤器的要求也在不断推动技术的发展。在半导体制造行业，由于芯片制造工艺的不断精细化，对气体中的杂质颗粒尺寸和浓度要求达到了极高的标准。生物医药领域对气体的纯度和无菌性要求极高，因此不仅要求过滤器能够去除物理杂质，还需要具备除菌和抗病毒的功能。航空航天领域对过滤器的轻量化、小型化和耐极端环境性能提出了特殊要求，以在保证过滤效果的同时，减轻过滤器的重量，提高其在高温、高压和强辐射等恶劣环境下的稳定性。
3、综上所述，气体过滤器面临着诸多挑战，如进一步提高过滤精度、延长使用寿命、降低成本以及适应更加复杂和苛刻的应用环境等。
技术实现思路
1、本专利技术实施例提供一种气体过滤器，以解决现有的气体过滤器存在的过滤精度低、使用寿命短、成本高以及难以适应复杂和苛刻的应用环境等问题。
2、根据本专利技术实施例提供的气体过滤器，包括：
3、壳体，所述壳体包括上游壳体和下游壳体，所述上游壳体的一端设置有进气口，所述下游壳体的一端设置有出气口，所述上游壳体的另一端和下游壳体的另一端相互接合，形成沿所述壳体长度方向
4、滤芯，设置在所述中空腔室内，所述滤芯形成多个流道，所述流道沿所述壳体长度方向延伸，所述流道的一端堵塞形成盲孔，且朝向进气方向开口的流道为上游流道，朝向所述出气方向开口的流道为下游流道，所述上游流道的壁上设置有滤膜，待过滤的气体通过所述上游流道上的滤膜和壁实现过滤。
5、在一些实施方式中，所述滤芯为陶瓷滤芯，所述滤膜为t io2、zro2或al2o3纳米级膜。
6、在一些实施方式中，所述上游流道的个数大于所述下游流道的个数；和/或，
7、所述上游流道的截面面积小于所述下游流道的截面面积。
8、在一些实施方式中，所述上游流道个数与所述下游流道个数的比值为10:9-24:13；和/或，
9、所述上游流道截面与所述下游流道截面的面积比为1-1.5。
10、在一些实施方式中，所述壳体、所述上游流道、上游流道的截面的形状采用如下的任一种：圆形或多边形。
11、在一些实施方式中，所述上游壳体和所述下游壳体之间可拆卸连接。
12、在一些实施方式中，所述上游壳体螺纹连接或者卡接在所述下游壳体上。
13、在一些实施方式中，所述滤芯和所述上游壳体之间设置有o型圈和o型圈压环；和/或，
14、所述滤芯和所述下游壳体之间设置有o型垫片。
15、在一些实施方式中，所述o型圈压环一侧与所述滤芯和所述o型圈抵接，另一侧与所述上游壳体内的台阶抵接；
16、所述o型垫片一侧与所述滤芯抵接，另一侧与所述下游壳体内的台阶抵接。
17、在一些实施方式中，所述滤膜通过溶胶凝胶法合成；和/或，
18、所述滤膜的厚度为20-60微米，所述滤膜中滤孔的直径为0.6-1.5纳米。
19、与现有技术相比，本专利技术具有以下优点：
20、本专利技术实施例提供的气体过滤器，采用的多流道的壁向流滤芯坚固耐用，滤膜精度高，由于多流道内表面过滤，单位体积内的过滤面积高，操作弹性大，在线寿命长。
21、并且，滤芯采用全陶瓷结构，耐受腐蚀性气体的腐蚀及冲刷；陶瓷内的滤膜精度高，适用于半导体制造、生物医药、航空航天等众多领域；多流道内表面过滤，单位体积内的过滤面积是柱状外表面单流道滤芯的8-10倍，可以耐受气体流量和固含量的波动，能处理更大流量及更高固含量，而处理同样的气量及固含量，过滤器的成本是传统过滤器的1/3-1/4，且操作弹性大，在线寿命常，陶瓷滤芯外部清洗简单易操作，可多次清洗后循环再利用过滤器的在线寿命得到延长，耐腐蚀性好。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种气体过滤器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的气体过滤器，其特征在于，所述滤芯为陶瓷滤芯，所述滤膜为TiO2、ZrO2或Al 2O3纳米级膜。
3.根据权利要求1所述的气体过滤器，其特征在于，所述上游流道的个数大于所述下游流道的个数；和/或，
4.根据权利要求3所述的气体过滤器，其特征在于，所述上游流道个数与所述下游流道个数的比值为10:9-24:13；和/或，
5.根据权利要求1所述的气体过滤器，其特征在于，所述壳体、所述上游流道、上游流道的截面的形状采用如下的任一种：圆形或多边形。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的气体过滤器，其特征在于，所述上游壳体和所述下游壳体之间可拆卸连接。
7.根据权利要求6所述的气体过滤器，其特征在于，所述上游壳体螺纹连接或者卡接在所述下游壳体上。
8.根据权利要求6所述的气体过滤器，其特征在于，所述滤芯和所述上游壳体之间设置有O型圈和O型圈压环；和/或，
9.根据权利要求8所述的气体过滤器，其特征在于，所述O型圈压环一侧与所述滤芯和
10.根据权利要求1-5中任一项所述的气体过滤器，其特征在于，所述滤膜通过溶胶凝胶法合成；和/或，
...【技术特征摘要】
1.一种气体过滤器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的气体过滤器，其特征在于，所述滤芯为陶瓷滤芯，所述滤膜为tio2、zro2或al 2o3纳米级膜。
3.根据权利要求1所述的气体过滤器，其特征在于，所述上游流道的个数大于所述下游流道的个数；和/或，
4.根据权利要求3所述的气体过滤器，其特征在于，所述上游流道个数与所述下游流道个数的比值为10:9-24:13；和/或，
5.根据权利要求1所述的气体过滤器，其特征在于，所述壳体、所述上游流道、上游流道的截面的形状采用如下的任一种：圆形或多边形。
6.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：李锋，郭伟，洪群生，
申请(专利权)人：常州赛璞睿生科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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