【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体工艺，尤其涉及一种控片使用方法、应用系统、设备及计算机可读存储介质。
技术介绍
1、随着半导体技术节点的推进，fba规模不断过大，fba内机台数量不断增加，对机台的稳定性提出了更高的要求，为了保证监控数据的真实、有效、准确性的同时，为了防止晶圆交叉使用污染机台，同一个晶圆传送盒中的25pcs晶圆下到监控流生成批号(lot id)后，只用于监控同一个机台或同类型的监控项目。
2、随着下线的控片使用次数增加，将导致同一个晶圆传送盒中剩余的控片的数量小于监控单次最小用量，从而导致剩余的控片无法继续使用，造成控片资源的浪费，利用率低。
3、因此，有必要提供一种新型的控片使用方法、应用系统、设备及计算机可读存储介质以解决现有技术中存在的上述问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种控片使用方法、应用系统、设备及计算机可读存储介质，提高控片的利用率。
2、为实现上述目的，本专利技术的所述控片使用方法，包括：
3、对若干控片生成批号，所述批号包括母批号和子批号，且一个所述母批号对应若干所述子批号；
4、根据所述母批号和所述子批号分派所述控片；
5、获取所述子批号数量小于监控单次最小用量的控片作为再分派控片；
6、对所述再分派控片生成新批号，根据所述新批号分派所述再分派控片。
7、所述控片使用方法的有益效果在于：获取所述子批号数量小于监控单次最小用量的控片作为再分派控片，
8、可选地，所述对若干控片生成批号，包括：
9、根据所述控片所在的晶圆传送盒分配母批号；
10、根据监控控片需求数量对相同所述母批号的若干所述控片分配子批号。
11、可选地，所述新批号包括新母批号，所述对所述再分派控片生成新批号，包括：
12、根据所述再分派控片的编码生成新母批号。
13、可选地，所述新批号包括新子批号，所述对所述再分派控片生成新批号，还包括：
14、根据监控控片需求数量对相同所述新母批号的所述再分派控片分配新子批号。
15、可选地，所述新批号包括新子批号，所述对所述再分派控片生成新批号，包括：
16、根据所述再分派控片的编码和监控控片需求数量对所述再分派控片分配新子批号。
17、本专利技术还提供了一种所述控片使用方法的应用系统，包括批号生成单元、分派单元和获取单元，所述批号生成单元用于生成批号和新批号，所述批号包括母批号和子批号，且一个所述母批号对应若干所述子批号，所述分派单元用于分派控片和再分派控片，所述获取单元用于获取子批号数量小于监控单次最小用量的控片作为再分派控片。
18、所述应用系统的有益效果在于：所述获取单元获取子批号数量小于监控单次最小用量的控片作为再分派控片，所述分派单元分派所述在分派控片，将未成功分派的控片重新分派，提高了控片的利用率。
19、可选地，所述批号生成单元还用于根据所述控片所在的晶圆传送盒分配母批号，然后根据监控控片需求数量对相同所述母批号的若干所述控片分配子批号。
20、可选地，所述新批号包括新母批号和母子批号，所述批号生成单元还用于根据所述再分派控片的编码生成新母批号，然后根据监控控片需求数量对相同所述新母批号的所述再分派控片分配新子批号。
21、本专利技术还提供了一种应用装置，包括：
22、处理器；
23、用于存储处理器可执行指令的存储器；
24、其中，所述处理器被配置为执行所述存储器存储的指令时，实现所述控片使用方法。
25、本专利技术还提供了一种计算机可读存储介质，包括计算机指令，所述计算机指令被处理器执行时，实现所述控片使用方法。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种控片使用方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的控片使用方法，其特征在于，所述对若干控片生成批号，包括：
3.根据权利要求1所述的控片使用方法，其特征在于，所述新批号包括新母批号，所述对所述再分派控片生成新批号，包括：
4.根据权利要求3所述的控片使用方法，其特征在于，所述新批号包括新子批号，所述对所述再分派控片生成新批号，还包括：
5.根据权利要求1所述的控片使用方法，其特征在于，所述新批号包括新子批号，所述对所述再分派控片生成新批号，包括：
6.一种如权利要求1～5任意一项所述的控片使用方法的应用系统，其特征在于，包括批号生成单元、分派单元和获取单元，所述批号生成单元用于生成批号和新批号，所述批号包括母批号和子批号，且一个所述母批号对应若干所述子批号，所述分派单元用于分派控片和再分派控片，所述获取单元用于获取子批号数量小于监控单次最小用量的控片作为再分派控片。
7.根据权利要求6所述的应用系统，其特征在于，所述批号生成单元还用于根据所述控片所在的晶圆传送盒分配母批号，然后根据监控控片需求
8.根据权利要求6所述的应用系统，其特征在于，所述新批号包括新母批号和母子批号，所述批号生成单元还用于根据所述再分派控片的编码生成新母批号，然后根据监控控片需求数量对相同所述新母批号的所述再分派控片分配新子批号。
9.一种应用装置，其特征在于，包括：
10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，包括计算机指令，所述计算机指令被处理器执行时，实现权利要求1～5任意一项所述的控片使用方法。
...【技术特征摘要】
1.一种控片使用方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的控片使用方法，其特征在于，所述对若干控片生成批号，包括：
3.根据权利要求1所述的控片使用方法，其特征在于，所述新批号包括新母批号，所述对所述再分派控片生成新批号，包括：
4.根据权利要求3所述的控片使用方法，其特征在于，所述新批号包括新子批号，所述对所述再分派控片生成新批号，还包括：
5.根据权利要求1所述的控片使用方法，其特征在于，所述新批号包括新子批号，所述对所述再分派控片生成新批号，包括：
6.一种如权利要求1～5任意一项所述的控片使用方法的应用系统，其特征在于，包括批号生成单元、分派单元和获取单元，所述批号生成单元用于生成批号和新批号，所述批号包括母批号和子批号，且一个所述母批号对应若干所...
【专利技术属性】
技术研发人员：戴欧阳，
申请(专利权)人：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。