System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种非硅离型膜及其制备方法技术_技高网

一种非硅离型膜及其制备方法技术

技术编号:43074357 阅读:4 留言:0更新日期:2024-10-22 14:48
本发明专利技术公开了一种非硅离型膜及其制备方法,属于非硅离型膜技术领域,所述制备方法由以下步骤组成:制备涂层材料溶液,预处理,熔融挤出,定型;所述制备涂层材料溶液,由以下步骤组成:制备降粘剂,制备交联微球,混合;所述定型,在110‑120℃下进行预热后,在120‑130℃下对铸片进行纵向拉伸,得到基膜;将涂层材料溶液涂布于基膜的一个表面,控制涂布厚度为4‑5μm,得到涂布后的基膜;在110‑120℃下进行预热后,在120‑130℃下对涂布后的基膜进行横向拉伸,然后热定型;本发明专利技术的制备方法以水作为涂层材料的溶剂,制备的非硅离型膜的离型力适中,耐久性好,透明度高,表面不出现龟裂。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及非硅离型膜,具体涉及一种非硅离型膜及其制备方法


技术介绍

1、离型膜为具备特殊非粘性表面的薄膜材料,由基材和涂层构成,目前常用的基材材料为聚乙烯、聚酯等塑料薄膜,涂层赋予薄膜非粘或低粘属性,目前常用的涂层材料为硅油。但是以硅油作为涂层材料制备的离型膜存在环保性和高温稳定性差的缺点。

2、非硅离型膜是一种具有特殊功能的薄膜材料,与传统的硅基离型膜不同,非硅离型膜的涂层材料中不含硅,环保性好,而且非硅离型膜具有优异的透明度、化学稳定性、高温稳定性,还能够在高温和强酸碱环境下发挥优异的离型效果。非硅离型膜主要用于半导体、光电子、微电子等领域中微小结构和器件的制备中,在半导体制备中,非硅离型膜主要用于制备光刻掩模、光刻胶、电子束曝光掩模等,因此,非硅离型膜具有重要的应用价值。

3、制备非硅离型膜的方法主要有溶液浸渍法、气相沉积法、自组装法。其中,溶液浸渍法为通过溶液中的前体物质在基材表面沉积形成膜层;气相沉积法为利用气体中的前体分子在基材表面沉积形成薄膜;自组装法为利用分子间的相互作用在基材表面自发形成膜层。其中,溶液浸渍法为最简单且使用最多的方法。

4、溶液浸渍法的方法为涂层材料溶解在溶剂中形成涂层材料溶液,然后通过旋涂、喷涂或浸渍等工艺将涂层材料溶液均匀地涂布到基材表面,其中,常用的溶剂为水或醇类、酯类、酮类、醚类等有机溶剂。考虑到有机溶剂的毒性大,且易挥发,对环境造成污染,随着人们对环境保护与可持续发展意识的提高,越来越多的选择了将水作为涂层材料的溶剂。

5、但是在将水作为涂层材料的溶剂时,发现了以下问题:相比较于有机溶剂,以水作为溶剂制备的涂层材料溶液,粘度大,为了降低粘度,一般会采用降低涂层材料的固含量的方式,从而会导致制备的非硅离型膜的离型力过小,耐久性变差;相比较于有机溶剂,以水作为溶剂制备的涂层材料溶液,干燥速度慢,容易出现干燥不均匀的情况,从而会导致制备的非硅离型膜的透明度下降。

6、为了解决上述问题,目前最常用的方法为向涂层材料中加入丙烯酸酯树脂,丙烯酸酯树脂能够提高涂层材料溶液的固含量,并提高干燥温度和增大干燥风量,但是丙烯酸酯树脂的耐久性和附着力差,因此,虽然能够从一定程度上改善非硅离型膜所存在的问题,但是提高作用不明显,而提高干燥温度和增大干燥风量,会导致离型膜在干燥过程中表面出现龟裂。


技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足,本专利技术提供了一种非硅离型膜及其制备方法,以水作为涂层材料的溶剂,制备的非硅离型膜的离型力适中,耐久性好,透明度高,表面不出现龟裂。

2、为解决以上技术问题,本专利技术采取的技术方案如下:

3、一种非硅离型膜的制备方法,由以下步骤组成:制备涂层材料溶液,预处理,熔融挤出,定型;

4、所述制备涂层材料溶液,由以下步骤组成:制备降粘剂,制备交联微球,混合;

5、所述制备降粘剂,由以下步骤组成:制备纳米淀粉晶,包覆;

6、所述制备纳米淀粉晶,将玉米淀粉、去离子水混合后,加热至沸腾,保持20-25min,然后降温至10-12℃,向其中滴加无水乙醇,滴加结束后以100-200rpm的搅拌速度搅拌20-30min,静置40-50min,以9000-10000rpm的转速离心9-10min,取沉淀物,使用去离子水清洗沉淀物3-5次,在60-70℃下真空烘干,得到纳米淀粉晶;

7、所述制备纳米淀粉晶中,玉米淀粉、去离子水、无水乙醇的质量体积比为2000-2400g:20-24l:20-26l;

8、所述无水乙醇的滴加速度为90-100ml/min;

9、所述包覆,取纳米淀粉晶、单宁酸、第一份去离子水混合后,在室温下以400-500rpm的转速搅拌40-50min,滴加甲醛水溶液,滴加结束后继续搅拌40-50min,以9000-10000rpm的转速离心9-10min,取沉淀物,向沉淀物中加入l-赖氨酸、乙二胺、第二份去离子水,在70-75℃下以200-300rpm的转速搅拌4-5h,以9000-10000rpm的转速离心9-10min,取沉淀物,使用去离子水清洗沉淀物3-5次,在-40℃至-35℃下冷冻干燥25-30h,得到降粘剂;

10、所述包覆中,纳米淀粉晶、单宁酸、第一份去离子水、甲醛水溶液、l-赖氨酸、乙二胺、第二份去离子水的质量体积比为400-460g:600-700g:70-80l:100-120ml:50-60g:40-50g:60-70l;

11、所述甲醛水溶液的浓度为37wt%;

12、所述甲醛水溶液的滴加速度为20-30ml/min;

13、所述制备交联微球,将甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸十二酯、n-乙烯基吡咯烷酮、二季戊四醇六丙烯酸酯、聚乙烯吡咯烷酮、去离子水、乙二醇单甲醚混合后,在氮气的保护下,在室温下以200-300rpm的转速搅拌30-40min,加入偶氮二异丁腈,在70-75℃下以200-300rpm的转速搅拌16-18h,以4000-5000rpm的转速离心4-5min,取沉淀物,使用去离子水清洗沉淀物3-5次,在-40℃至-35℃下冷冻干燥30-35h,得到交联微球;

14、所述制备交联微球中,甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸十二酯、n-乙烯基吡咯烷酮、二季戊四醇六丙烯酸酯、聚乙烯吡咯烷酮、去离子水、乙二醇单甲醚、偶氮二异丁腈的质量体积比为1000-1200g:360-400g:600-800g:120-140g:120-140g:26-28l:4-6l:24-26g;

15、所述混合,将甲基丙烯酸磺酸钠、第一份去离子水混合后,在氮气的保护下,在室温下以5000-6000rpm的转速高剪切4-5min,加入甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸羟乙酯混合后,在氮气的保护下,在70-75℃下以5000-6000rpm的转速高剪切10-15min,加入三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯,继续在70-75℃下以5000-6000rpm的转速高剪切10-15min,加入过硫酸钾,继续在70-75℃下以5000-6000rpm的转速高剪切3-3.5h,加入第二份去离子水、降粘剂、交联微球、水溶性抗静电剂,继续在70-75℃下以5000-6000rpm的转速高剪切15min,得到涂层材料溶液;

16、所述混合中,甲基丙烯酸磺酸钠、第一份去离子水、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸羟乙酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、过硫酸钾、第二份去离子水、降粘剂、交联微球、水溶性抗静电剂的质量体积比为520-560g:36-38l:6000-6800g:3200-4000g:1120-1280g:680-800g:400-440g:200-240g:20-20.8l:960-1080g:1400-1600g:600-640g;

17、所述水溶性抗静电剂为默尼化工科技(上海)有限公司的mi00-10t水溶性抗静电本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种非硅离型膜的制备方法,其特征在于,由以下步骤组成:制备涂层材料溶液,预处理,熔融挤出,定型;

2.根据权利要求1所述的非硅离型膜的制备方法,其特征在于,所述制备纳米淀粉晶中,玉米淀粉、去离子水、无水乙醇的质量体积比为2000-2400g:20-24L:20-26L;

3.根据权利要求1所述的非硅离型膜的制备方法,其特征在于,所述包覆中,纳米淀粉晶、单宁酸、第一份去离子水、甲醛水溶液、L-赖氨酸、乙二胺、第二份去离子水的质量体积比为400-460g:600-700g:70-80L:100-120mL:50-60g:40-50g:60-70L;

4.根据权利要求1所述的非硅离型膜的制备方法,其特征在于,所述制备交联微球中,甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸十二酯、N-乙烯基吡咯烷酮、二季戊四醇六丙烯酸酯、聚乙烯吡咯烷酮、去离子水、乙二醇单甲醚、偶氮二异丁腈的质量体积比为1000-1200g:360-400g:600-800g:120-140g:120-140g:26-28L:4-6L:24-26g。

5.根据权利要求1所述的非硅离型膜的制备方法,其特征在于,所述混合中,甲基丙烯酸磺酸钠、第一份去离子水、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸羟乙酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、过硫酸钾、第二份去离子水、降粘剂、交联微球、水溶性抗静电剂的质量体积比为520-560g:36-38L:6000-6800g:3200-4000g:1120-1280g:680-800g:400-440g:200-240g:20-20.8L:960-1080g:1400-1600g:600-640g。

6.根据权利要求1所述的非硅离型膜的制备方法,其特征在于,所述预处理,使用130-135℃的热空气对聚酯切片预结晶,然后在155-160℃下干燥,在145-150℃下干燥,得到预处理后的聚酯切片。

7.根据权利要求1所述的非硅离型膜的制备方法,其特征在于,所述熔融挤出中,A层原料、B层原料、C层原料的质量比为12-15:65-70:12-15。

8.根据权利要求1所述的非硅离型膜的制备方法,其特征在于,所述定型中,纵向拉伸的倍率为3.5-4;横向拉伸的倍率为4-4.2;

9.一种由权利要求1-8任一项所述的制备方法制备的非硅离型膜。

...

【技术特征摘要】

1.一种非硅离型膜的制备方法,其特征在于,由以下步骤组成:制备涂层材料溶液,预处理,熔融挤出,定型;

2.根据权利要求1所述的非硅离型膜的制备方法,其特征在于,所述制备纳米淀粉晶中,玉米淀粉、去离子水、无水乙醇的质量体积比为2000-2400g:20-24l:20-26l;

3.根据权利要求1所述的非硅离型膜的制备方法,其特征在于,所述包覆中,纳米淀粉晶、单宁酸、第一份去离子水、甲醛水溶液、l-赖氨酸、乙二胺、第二份去离子水的质量体积比为400-460g:600-700g:70-80l:100-120ml:50-60g:40-50g:60-70l;

4.根据权利要求1所述的非硅离型膜的制备方法,其特征在于,所述制备交联微球中,甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸十二酯、n-乙烯基吡咯烷酮、二季戊四醇六丙烯酸酯、聚乙烯吡咯烷酮、去离子水、乙二醇单甲醚、偶氮二异丁腈的质量体积比为1000-1200g:360-400g:600-800g:120-140g:120-140g:26-28l:4-6l:24-26g。

5.根据权利要求1所述的非硅离型膜的制备方法,其特征在于,所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘志美孙伟孙玉华叶世强周慧芝
申请(专利权)人:富维薄膜山东有限公司
类型:发明
国别省市:

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