一种具有理线结构的直流磁控溅射电源制造技术

技术编号:43067973 阅读:9 留言:0更新日期:2024-10-22 14:44
本技术公开了一种具有理线结构的直流磁控溅射电源,涉及直流磁控溅射电源技术领域,为解决现有通常直流磁控溅射电源会安装在机柜里,但由于连接的线束较多,很容易缠绕堆积在机柜内部,较为不美观,也不方便进行整理,堆积的线束还容易打结缠绕在一起的问题,包括电源本体;还包括:固定块,其设置在电源本体的底部,且固定块设置有两个并对称安装在电源本体底部两侧的后方,所述固定块的内部一体成型设置有连接槽,且连接槽连通固定块的后端,所述电源本体的后方活动设置有理线块,且理线块的内部与理线块的上端为连通设置,所述理线块的底部两侧对称设置有滑动块,滑动块卡合在连接槽的内部,滑动块在固定块的内部进行滑动。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及直流磁控溅射电源,具体为一种具有理线结构的直流磁控溅射电源


技术介绍

1、直流磁控溅射电源是物理气相沉积的一种。金属、半导体、绝缘体等多种材料的制造通常采用一般的溅射法,其特点是有比较简单的设备,不难以控制,有较大的电镀面积,有较强的附着力等。直流磁控溅射电源实现了高速、低温、低损伤。由于高速溅射是在低气压下进行的,因此必须有效提高气体的离解率。磁控溅射通过向靶阴极表面导入磁场,利用磁场约束带电粒子来提高等离子体密度从而增加溅射率。

2、通常直流磁控溅射电源会安装在机柜里,但由于连接的线束较多,很容易缠绕堆积在机柜内部,较为不美观,也不方便进行整理,堆积的线束还容易打结缠绕在一起;所以我们提出了一种具有理线结构的直流磁控溅射电源,以便于解决上述中提出的问题。


技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种具有理线结构的直流磁控溅射电源,以解决上述
技术介绍
中提出通常直流磁控溅射电源会安装在机柜里,但由于连接的线束较多,很容易缠绕堆积在机柜内部,较为不美观,也不方便进行整理,堆积的线束还容易打结缠绕在一起的问题。

2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种具有理线结构的直流磁控溅射电源,包括电源本体;

3、还包括:

4、固定块,其设置在电源本体的底部,且固定块设置有两个并对称安装在电源本体底部两侧的后方,所述固定块的内部一体成型设置有连接槽,且连接槽连通固定块的后端,所述电源本体的后方活动设置有理线块,且理线块的内部与理线块的上端为连通设置,所述理线块的底部两侧对称设置有滑动块,滑动块卡合在连接槽的内部,滑动块在固定块的内部进行滑动,且理线块通过滑动块与固定块的连接滑动安装在电源本体的后端,所述理线块前后两端的表面均设置有分隔卡槽,分隔卡槽设置有若干并均匀排列在理线块前后两端的表面,且前后两端的分隔卡槽连通,所述电源本体的后端设置有若干型号不一的电源接口,所述电源本体的左右两侧设置有若干散热槽。

5、优选的,所述电源本体的底部设置有底座,底座设置有四个并分别固定在电源本体的底部四周,且底座由橡胶材质制作而成。

6、优选的,所述理线块的上端设置有盖板,所述盖板与理线块的一侧设置有活动轴,且盖板通过活动轴在理线块的上端进行开合活动,所述盖板的底部一圈设置有磁吸垫,且磁吸垫与理线块的上端进行磁吸连接。

7、优选的,所述分隔卡槽的内壁一圈设置有软垫,软垫由橡胶材质制作而成,且软垫通过粘连固定在分隔卡槽的内壁一圈。

8、优选的,所述分隔卡槽的内壁两侧对称设置有塑料隔块,每对塑料隔块设置有三个,且左右两个塑料隔块之间为活动贴合的状态。

9、优选的,所述电源本体的前端两侧对称设置有连接板,所述连接板的外侧对称设置有连接口,且每侧的连接板均设置有两个连接口,电源本体的前端设置有把手,且把手设置有两个并对称安装在电源本体的前端两侧。

10、优选的,所述固定块的底部两侧对称设置有螺纹孔,且螺纹孔与连接槽连通,所述固定块的底部设置有限位螺栓,且限位螺栓与螺纹孔进行螺纹连接。

11、与现有技术相比,本技术的有益效果是:

12、1.在电源本体的后端设置可滑动的理线块,理线块底部设有滑动块与固定块进行卡合,当需要将线束进行卡合时,先将理线块向后拉出,将接头与电源接口进行对接,打开盖板,将线束卡合在对应的分隔卡槽的内部,从而能够对理线块的位置进行调节,从而方便对线束进行收整,理线块的表面设置有若干均匀排列的分隔卡槽,能够对不同位置的线束进行收整处理,从而提高机柜内部的美观性,并且方便进行整理和对接。

13、2.通过在分隔卡槽的内壁两侧对称设置有塑料隔块,当线束卡合在分隔卡槽的内部时可用力将线束下压可使线束穿过两个塑料隔块的中间,可以对处在同一分隔卡槽内部的线束进行分隔,从而有效的对线束进行整理。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种具有理线结构的直流磁控溅射电源,包括电源本体(1);

2.根据权利要求1所述的一种具有理线结构的直流磁控溅射电源,其特征在于:所述电源本体(1)的底部设置有底座(2),底座(2)设置有四个并分别固定在电源本体(1)的底部四周,且底座(2)由橡胶材质制作而成。

3.根据权利要求1所述的一种具有理线结构的直流磁控溅射电源,其特征在于:所述理线块(11)的上端设置有盖板(13),所述盖板(13)与理线块(11)的一侧设置有活动轴(14),且盖板(13)通过活动轴(14)在理线块(11)的上端进行开合活动,所述盖板(13)的底部一圈设置有磁吸垫(19),且磁吸垫(19)与理线块(11)的上端进行磁吸连接。

4.根据权利要求1所述的一种具有理线结构的直流磁控溅射电源,其特征在于:所述分隔卡槽(15)的内壁一圈设置有软垫(16),软垫(16)由橡胶材质制作而成,且软垫(16)通过粘连固定在分隔卡槽(15)的内壁一圈。

5.根据权利要求1所述的一种具有理线结构的直流磁控溅射电源,其特征在于:所述分隔卡槽(15)的内壁两侧对称设置有塑料隔块(17),每对塑料隔块(17)设置有三个,且左右两个塑料隔块(17)之间为活动贴合的状态。

6.根据权利要求1所述的一种具有理线结构的直流磁控溅射电源,其特征在于:所述电源本体(1)的前端两侧对称设置有连接板(9),所述连接板(9)的外侧对称设置有连接口(10),且每侧的连接板(9)均设置有两个连接口(10),电源本体(1)的前端设置有把手(18),且把手(18)设置有两个并对称安装在电源本体(1)的前端两侧。

7.根据权利要求1所述的一种具有理线结构的直流磁控溅射电源,其特征在于:所述固定块(3)的底部两侧对称设置有螺纹孔(7),且螺纹孔(7)与连接槽(5)连通,所述固定块(3)的底部设置有限位螺栓(4),且限位螺栓(4)与螺纹孔(7)进行螺纹连接。

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【技术特征摘要】

1.一种具有理线结构的直流磁控溅射电源,包括电源本体(1);

2.根据权利要求1所述的一种具有理线结构的直流磁控溅射电源,其特征在于:所述电源本体(1)的底部设置有底座(2),底座(2)设置有四个并分别固定在电源本体(1)的底部四周,且底座(2)由橡胶材质制作而成。

3.根据权利要求1所述的一种具有理线结构的直流磁控溅射电源,其特征在于:所述理线块(11)的上端设置有盖板(13),所述盖板(13)与理线块(11)的一侧设置有活动轴(14),且盖板(13)通过活动轴(14)在理线块(11)的上端进行开合活动,所述盖板(13)的底部一圈设置有磁吸垫(19),且磁吸垫(19)与理线块(11)的上端进行磁吸连接。

4.根据权利要求1所述的一种具有理线结构的直流磁控溅射电源,其特征在于:所述分隔卡槽(15)的内壁一圈设置有软垫(16),软垫(16)由橡胶材质制作而成,且软垫(16)通过粘连固定在分隔卡槽...

【专利技术属性】
技术研发人员:缪伟清黄真真顾国龙王健沈洁
申请(专利权)人:江阴市天马电源制造有限公司
类型:新型
国别省市:

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