【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆倒片，尤其涉及一种全自动倒片设备。
技术介绍
1、在半导体制程中，晶圆的制造会设计到不同的工艺，在晶圆生产加工过程中，经常需要将晶圆在不同的晶圆盒之间进行转置，也就是将一个晶圆盒内卡匣上的晶圆搬运至另一个晶圆盒内的空的卡匣上。为了方便晶圆在卡匣之间的转置，需要设置晶圆倒片装置进行晶圆在卡匣之间的转置。以适应各种工艺的工况，现在的方式是人工倒片。人工倒片容易导致碰伤晶圆，污染晶圆，且切换卡匣的操作也是比较频繁，人员操作容易出现异常，导致斜插和叠片等异常。
2、现有技术如中国专利公开号为cn115985824a公开的一种晶圆倒片装置，包括承载平台、两个转换件及驱动机构。承载平台间隔设有第一放置区及第二放置区。两个转换件间隔设置于第一放置区与第二放置区之间，且第一放置区和第二放置区之间的连线与两个转换件之间的连线相交，两个转换件相互靠近的一侧均对应设有转换部，转换部从转换件靠近第一放置区的一侧延伸至转换件靠近第二放置区的一侧。驱动机构用于驱动晶圆从第一放置区通过转换部并移动至第二放置区。
3、上述专利的晶圆倒片装置缺少一种晶圆卡匣的识别辨认装置，导致大部分时间还是需要人工解决，并不能全自动完成倒片。
技术实现思路
1、本技术在于提出一种全自动倒片设备，能够全自动完成晶圆倒片，减少风险。
2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：
3、一种全自动倒片设备，包括机体，机体上设置有至少一条第一流水线，所述第一流水线沿着工序依次设置有用
4、本技术优选地技术方案在于，所述开盒机构包括开盒输送带以及用于开晶圆盒盖的旋转开盖组件，旋转开盖组件设置在所述开盒输送带的一侧上；所述旋转开盖组件包括旋转气缸以及吸盘臂，所述吸盘臂上设置有吸盘，所述旋转气缸用于控制所述吸盘臂在所述开盒输送带上方旋转。
5、本技术优选地技术方案在于，每个所述开盒区上设置有至少两种所述开盒机构，每种所述开盒机构的所述吸盘臂上的吸盘距离不同，使得所述开盒机构能够打开不同尺寸的晶圆盒。
6、本技术优选地技术方案在于，所述开盒机构还包括传感器、夹紧气缸以及抵紧气缸，所述夹紧气缸分别设置在所述开盒输送带的两侧上，所述抵紧气缸设置在所述开盒输送带的底部，所述传感器设置在所述开盒输送带的一端上。
7、本技术优选地技术方案在于，所述夹持机构设置有机器臂以及夹爪，所述夹爪设置在所述机器臂上。
8、本技术优选地技术方案在于，所述第一推料区以及所述第二推料区上分别设置有翻转组件以及靠近组件，所述靠近组件包括靠近气缸以及滑轨，所述翻转组件包括l型板以及翻转电机，所述翻转电机设置在所述l型板的一侧，所述推动组件设置在所述第一推料区的一侧上，所述l型板安装在所述滑轨上，且所述l型板所述分别连接有靠近气缸。
9、本技术优选地技术方案在于，所述推动组件包括推板以及推动气缸，所述推板与所述推动气缸的输出端连接，使得所述推板将所述第一推料区的卡匣推动至所述第二推料区上。
10、本技术优选地技术方案在于，所述推动组件上还设置有过压检测装置。
11、本技术优选地技术方案在于，还包括出料流水线，所述出料流水线包括出料输送带，所述出料流水线位于所述推料机构的一侧上；所述出料流水线、所述第一流水线以及所述第二流水线的所述待料区上均设置有读码机构。
12、本技术优选地技术方案在于，还包括第二流水线，所述第二流水线位于所述机体的底部，所述第二流水线设置有出料输送带，所述卸料区上设置有升降机构；所述升降机构包括升降台以及升降电机，所述升降台与所述升降电机连接，所述升降台下降时与所述出料输送带连通。
13、本技术优选地技术方案在于，所述第一流水线设置有若干条，位于所述机体桑，且每条所述第一流水线均配合有一条所述第二流水线。
14、本技术的有益效果为：
15、(1)能够通过推料机构、开盒机构以及第一流水线、第二流水线的配合，对待料区运输至推料机构上的两种晶圆盒进行全自动倒片。
16、(2)全程无人介入，从入料，扫码，开盖，资料匹配，导片，出料，完全的自动流程。
17、(3)晶圆卡匣在晶圆盒的方向，无须特定指定，此设备的夹爪可以自主通过传感器，自动切换机器人姿态放置到翻转工位。
18、(4)推料机构设置有翻转电机是使用旋转的方式进行倒片时两个卡匣开口的对接。克服了尺寸差异带来的卡片和斜插的异常。
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1.一种全自动倒片设备，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的全自动倒片设备，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的全自动倒片设备，其特征在于：
4.根据权利要求2所述的全自动倒片设备，其特征在于：
5.根据权利要求1所述的全自动倒片设备，其特征在于：
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9.根据权利要求8所述的全自动倒片设备，其特征在于：
10.根据权利要求9所述的全自动倒片设备，其特征在于：
【技术特征摘要】
1.一种全自动倒片设备，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的全自动倒片设备，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的全自动倒片设备，其特征在于：
4.根据权利要求2所述的全自动倒片设备，其特征在于：
5.根据权利要求1所述的全自动倒片设备，其特征在于：
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【专利技术属性】
技术研发人员：潘跃清，黄毅斌，唐达新，
申请(专利权)人：厦门蚨祺自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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