【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体产品制作，尤其涉及一种片盒配件拆卸装置和片盒配件拆卸方法。
技术介绍
1、目前的硅片出货片盒配件拆卸设备在拆卸片盒蘑菇头时，由于蘑菇头和片盒的连接结构卡紧力度大，需要设备拆卸夹爪纵向挤压较深距离，使用较大外力才能使蘑菇头脱离片盒本体，由此产生的外力会导致片盒本体在夹爪下压时产生一定形变，当机构完成拆卸蘑菇头后，施加在片盒本体的作用力瞬间消失，发生形变的位置瞬间复位，这种变形瞬间会产生巨大声响，且会使片盒在受力方向产生震动位移，这种瞬间泄力可能会对片盒本体造成潜在的损伤。
技术实现思路
1、为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种片盒配件拆卸装置和片盒配件拆卸方法，解决拆卸片盒上的蘑菇头时，施加于片盒上的作用力瞬间消失，对片盒造成损伤的问题。
2、为了达到上述目的，本专利技术实施例采用的技术方案是：一种片盒配件拆卸装置，用于拆卸安装于片盒的顶部的蘑菇头，包括：
3、蘑菇头拆卸结构，用于压接于所述蘑菇头，并至少对所述蘑菇头施加第一方向的力，所述第一方向垂直于所述片盒的顶部；
4、缓冲辅助结构，包括具有第一状态和第二状态的第一缓冲部，在所述第一状态下，所述第一缓冲部用于在所述蘑菇头拆卸结构对所述片盒施加所述第一方向上的力时，抵接于所述片盒的顶部，并对所述片盒施加所述第一方向上的力；在所述第二状态下，在所述蘑菇头拆卸结构取下所述蘑菇头时，以预设速度缓慢撤销对所述片盒施加的所述第一方向上的力。
5、可选的，所述蘑菇头具有用于
6、所述蘑菇头拆卸结构包括第一拆卸部和第二拆卸部；
7、所述第一拆卸部用于压接于所述蘑菇头的顶面，并对所述蘑菇头施加所述第一方向上的力，以使得所述连接柱脱离所述通孔；
8、所述第二拆卸部用于压接于所述蘑菇头的侧面，并对所述蘑菇头施加第二方向上的力，以使得所述蘑菇头的所述凸起从所述安装槽中脱离，所述第二方向与所述片盒的顶部相平行。
9、可选的，所述第一拆卸部包括顶针，在拆卸蘑菇头时，所述顶针的轴向方向垂直于所述片盒的顶部设置。
10、可选的，所述第二拆卸部包括推杆，用于在所述第二方向上，对所述蘑菇头施加压力。
11、可选的，所述第一拆卸部包括顶针；
12、所述第二拆卸部包括连接呈l形的推杆和第一连接杆，所述顶针的轴向方向上的一端连接于所述第一连接杆上，所述推杆的延伸方向与所述顶针的轴向方向相平行。
13、可选的，所述第二拆卸部还包括第二连接杆，所述第二连接杆与所述第一连接杆平行设置，且所述第二连接杆连接于所述推杆远离所述第一连接杆的一端，使得所述第一连接杆、所述推杆和所述第二连接杆连接呈z字形结构。
14、可选的，还包括第一移动控制结构，所述第一移动控制结构包括：
15、第一移动控制单元，用于控制所述片盒或所述第一拆卸部移动到第一位置，使得所述第一拆卸部的施力位置与所述连接柱的位置重合；
16、第二移动控制单元，用于控制所述第一拆卸部朝向所述片盒顶部的方向移动，以对所述蘑菇头施加垂直于所述片盒顶部的方向的力；
17、第三移动控制单元，用于在所述第一拆卸部对所述片盒施力后，控制所述第二拆卸部对所述蘑菇头施加平行于所述片盒的顶部的力，以取下所述蘑菇头。
18、可选的，所述缓冲辅助结构包括第一缓冲部和控制所述第一缓冲部在第一工作状态和第二工作状态之间转换的第二移动控制结构；
19、在所述第一工作状态下，所述第二移动控制结构控制所述第一缓冲部对所述片盒顶部施加与所述第一拆卸部对所述蘑菇头施加的力方向相同的力；
20、在所述第二工作状态下，所述第一拆卸部撤销对所述蘑菇头施加的力，所述第二移动控制结构控制所述第一缓冲部以预设速度缓慢远离所述片盒。
21、可选的，所述第一缓冲部包括连杆和设置于所述连杆的一端的弹性部件。
22、可选的，所述缓冲辅助结构包括至少两个所述第一缓冲部，在两个所述第一缓冲部抵接于所述片盒的顶部时，两个所述第一缓冲部相对于所述连接柱对称设置。
23、可选的，所述缓冲辅助结构还包括至少两个第二缓冲部，两个所述第二缓冲部被配置为分别抵接于所述片盒的在所述第二方向上的相对的两侧。
24、本专利技术实施例还提供一种片盒配件拆卸方法，应用于上述的片盒配件拆卸装置，用于拆卸片盒上的蘑菇头，所述蘑菇头包括与所述片盒的顶部连接的连接面，以及与所述连接面相对设置的顶面，包括以下步骤：
25、控制蘑菇头拆卸结构压接于所述蘑菇头的顶面，并对所述蘑菇头施加第一方向的力，所述第一方向垂直于片盒顶部；
26、控制缓冲辅助结构抵接于片盒顶部，并对片盒顶部施加所述第一方向上的力，所述第一方向垂直于所述片盒的顶部；
27、控制所述蘑菇头拆卸结构压接于所述蘑菇头的侧面，并对所述蘑菇头施加第二方向上的力，所述第二方向与所述片盒的顶部相平行；
28、控制所述蘑菇头拆卸结构取下所述蘑菇头，并撤销对所述蘑菇头施加的力，并控制所述缓冲辅助结构保持对所述片盒施加的力不变；
29、控制所述缓冲辅助结构以预设速度缓慢远离所述片盒，以缓慢撤销对所述片盒施加的力。
30、可选的，还包括以下步骤：
31、控制所述缓冲辅助结构抵接于所述片盒的在所述第二方向上的相对的两侧，并分别对所述片盒的相对的两侧施加在所述第二方向上的力。
32、本专利技术的有益效果是：通过缓冲辅助结构的设置，与蘑菇头拆卸结构相配合，实现片盒上蘑菇头的拆卸，在所述蘑菇头拆卸结构对蘑菇头施加垂直于片盒的顶部的第一方向上的力，使得所述片盒产生形变时，所述缓冲辅助结构对所述片盒的顶部施加相同方向的外力，并且在所述蘑菇头拆卸结构拆卸所述蘑菇头后，瞬间撤销对所述片盒的顶部施加的力时，所述缓冲辅助结构以预设速度缓慢远离所述片盒，以缓慢撤销对片盒施加的外力，从而缓解由于所述蘑菇头拆卸后，所述蘑菇头拆卸结构突然撤销外力，对所述片盒造成的损伤。
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1.一种片盒配件拆卸装置，用于拆卸安装于片盒的顶部的蘑菇头，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的片盒配件拆卸装置，其特征在于，所述蘑菇头具有用于与片盒的顶部连接的连接面，以及与所述连接面相对设置的顶面，所述蘑菇头的连接面上设置有与所述片盒的顶部的连接柱配合的通孔，所述蘑菇头的侧面设置有与所述片盒的顶部的安装槽相配合的凸起；
3.根据权利要求2所述的片盒配件拆卸装置，其特征在于，所述第一拆卸部包括顶针，在拆卸蘑菇头时，所述顶针的轴向方向垂直于所述片盒的顶部设置。
4.根据权利要求2所述的片盒配件拆卸装置，其特征在于，所述第二拆卸部包括推杆，用于在所述第二方向上，对所述蘑菇头施加压力。
5.根据权利要求2所述的片盒配件拆卸装置，其特征在于，所述第一拆卸部包括顶针；
6.根据权利要求5所述的片盒配件拆卸装置，其特征在于，所述第二拆卸部还包括第二连接杆，所述第二连接杆与所述第一连接杆平行设置，且所述第二连接杆连接于所述推杆远离所述第一连接杆的一端，使得所述第一连接杆、所述推杆和所述第二连接杆连接呈Z字形结构。
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