【技术实现步骤摘要】
本技术涉及注入机，尤其涉及一种注入机气柜气路结构。
技术介绍
1、离子注入技术是近年来在国际上发展起来的一种材料表面改性高新技术，其基本原理是：用能量为几十到几百kev量级的离子束入射到材料中去，离子束与材料中的原子或分子将发生一系列物理的和化学的相互作用，入射离子逐渐损失能量，最后停留在材料中，并引起材料表面成分、结构和性能发生变化，从而优化材料表面性能，或获得某些新的优异性能。
2、注入机在使用过程中，源端会产生打火现象，从而影响吸极电流瞬间增大，导致设备吸极电压过载保护断电，现有结构中会因为源端打火发生吸极电压断电，此时，气柜内气体流量计会因断电开至最大，气体流量计为质量流量控制器(mass flow controller缩写为mfc)，参照附图1所示，传统的气路结构可参见中国专利公开号“cn1300371c”公开的一种金属离子注入机，其旨在提供一种离子束流强、束流引出电压低、注入面积大、注入时间短、工件加工成本低的金属离子注入机。
3、然而由于在mfc后端没有阀门，导致源端工艺气体会大量进入腔体，最终影响设备冷泵吸气能力下降或者导致冷泵再生，进一步导致真空倒抽至disk腔，形成在制产品沾污，真空腔体沾污后，需要对所有部件进行保养，预计需要4个工作日(验证时间除外)，进而影响设备产能。
技术实现思路
1、本技术的目的是为了解决现有技术中存在上述缺点，而提出的一种注入机气柜气路结构。
2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
<...【技术保护点】
1.一种注入机气柜气路结构，包括气源(1)及与所述气源(1)相连通的管道(2)，所述管道(2)的另一端与真空室(3)连通，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种注入机气柜气路结构，其特征在于：在所述管道(2)上还设置有减压阀(7)及第二阀体(8)，其中，所述减压阀(7)及第二阀体(8)设置于所述气体流量计(4)沿气体输出方向的前端。
3.根据权利要求2所述的一种注入机气柜气路结构，其特征在于：所述第一阀体(5)为气动阀，所述第二阀体(8)为电池阀。
4.根据权利要求3所述的一种注入机气柜气路结构，其特征在于：所述气动阀由注入机的电源配合一个电池阀进行控制。
5.根据权利要求1所述的一种注入机气柜气路结构，其特征在于：在所述管道(2)上还设置有压力开关，所述电源组件(6)的启动接线端与所述压力开关的两接线端通过导线电性连接。
6.根据权利要求1所述的一种注入机气柜气路结构，其特征在于：所述电源组件(6)为UPS电源。
【技术特征摘要】
1.一种注入机气柜气路结构，包括气源(1)及与所述气源(1)相连通的管道(2)，所述管道(2)的另一端与真空室(3)连通，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种注入机气柜气路结构，其特征在于：在所述管道(2)上还设置有减压阀(7)及第二阀体(8)，其中，所述减压阀(7)及第二阀体(8)设置于所述气体流量计(4)沿气体输出方向的前端。
3.根据权利要求2所述的一种注入机气柜气路结构，其特征在于：所述第一阀体(5)为气...
【专利技术属性】
技术研发人员：韩敏杰，李天鹏，黄强，尤力，汪嘉，陈坤伍，邹亦鸣，
申请(专利权)人：江苏昕感科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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