【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆片加工，具体涉及到一种用于晶圆片的转移搬送装置。
技术介绍
1、晶圆片的加工中通常需要对晶圆片的表面进行抛光，而湿法抛光所需要使用的抛光液通常为二氧化硅抛光液，在抛光完成后需要对晶圆片进行转移至清洗装置内进行清洗，但是由于二氧化硅抛光液长时间静置暴露在空气中，当其中的水分蒸发完只剩余固体的二氧化硅，表现会有结晶析出，此为固态二氧化硅颗粒物，因此在将晶圆片从抛光装置转移至清洗装置的过程中，晶圆片表面残留的抛光液容易蒸发结晶，从而凝结在晶圆片的表面，在清洗时难以完全清洗，从而造成晶圆片的表面污染。
技术实现思路
1、为了解决上述现有技术中的不足之处，本技术提出一种用于晶圆片的转移搬送装置。
2、为了实现上述技术效果，本技术采用如下方案：
3、一种用于晶圆片的转移搬送装置，包括输送轨道、移动座、升降机构、回转机构、水平伸缩机构、搬运叉以及喷淋头；
4、所述移动座安装在输送轨道上沿着工艺路线移动；
5、所述升降机构安装在移动座上于竖直方向进行升降；
6、所述水平伸缩机构通过回转机构安装在升降机构的上端进行转动；
7、所述搬运叉通过安装头安装在水平伸缩机构的移动部位上，所述搬运叉包括两条平行设置的托板，所述托板的长度方向平行于水平伸缩机构的伸缩方向，所述托板的一端与安装头固定连接；
8、所述喷淋头的数量至少为一个，所述喷淋头安装在安装头上，所述喷淋头的出口朝向搬运叉的方向倾斜朝上设置，所述喷淋头
9、优选的技术方案，所述升降机构包括位于下方的基座以及位于上方的安装架，所述基座固定安装在移动座上，所述基座内具有机构腔，所述安装架与基座之间设有竖直的滑套以及滑杆，所述滑套上竖直贯穿设有与滑杆相匹配的滑孔，所述滑杆的上端与安装架固定连接，所述滑套的下端与基座固定连接，所述滑杆插入由上至下插入滑孔内滑动，所述基座的上端具有连通滑孔与机构腔的通孔，所述滑孔内竖直设有驱动丝杆，所述滑杆的下端朝上延伸设有与驱动丝杆相匹配的丝孔，所述驱动丝杆的上端插入丝孔内转动，所述驱动丝杆的下端通过通孔延伸进机构腔内并转动安装在机构腔的底部，所述驱动丝杆上安装有水平的涡轮，所述涡轮位于机构腔内，所述机构腔内安装有转动的蜗杆，所述蜗杆水平设置并且与涡轮相啮合，所述蜗杆的一端固定连接有传动杆，所述传动杆转动伸出基座连接有第一旋转电机。
10、优选的技术方案，所述基座与安装架之间还设有至少三组的导向机构，至少三组的导向机构围绕滑套圆形阵列分布，所述导向机构包括竖直安装在基座上的导向套以及竖直安装在安装架上的导向杆，所述导向杆匹配滑动插入导向套内。
11、优选的技术方案，所述回转机构包括转动盘，所述转动盘的下表面中心固定设有一转动柱，所述转动柱的下端转动安装在安装架上，所述转动柱的侧壁上固定设有一圈齿环，所述齿环啮合连接有一齿轮，所述齿轮连接在第二旋转电机上转动。
12、优选的技术方案，所述水平伸缩机构包括固定安装在转动盘上的滑轨，所述滑轨上滑动安装有移动的滑块，所述安装头固定安装在滑块上，所述滑轨上安装有驱动滑块移动的气缸。
13、与现有技术相比，有益效果为：
14、本技术结构简单，使用方便，通过升降机构、回转机构以及水平伸缩机构将搬运叉移动至抛光结束后的晶圆片下方然后抬起晶圆片，在通过移动座在输送轨道上移动而将晶圆片送至清洗装置处，在搬运叉抬起晶圆片后，安装头上的喷淋头朝上斜上方喷出水柱，水柱到达最高点后呈分散状落下淋在晶圆片的表面，从而保持了晶圆片在搬运过程中的湿润，避免抛光液蒸发干燥，从而避免了晶体的析出，容易将晶圆片清洗干净。
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1.一种用于晶圆片的转移搬送装置，其特征在于，包括输送轨道(1)、移动座(2)、升降机构、回转机构、水平伸缩机构、搬运叉以及喷淋头(25)；
2.如权利要求1所述的一种用于晶圆片的转移搬送装置，其特征在于，所述升降机构包括位于下方的基座(3)以及位于上方的安装架(5)，所述基座(3)固定安装在移动座(2)上，所述基座(3)内具有机构腔(4)，所述安装架(5)与基座(3)之间设有竖直的滑套(6)以及滑杆(8)，所述滑套(6)上竖直贯穿设有与滑杆(8)相匹配的滑孔(7)，所述滑杆(8)的上端与安装架(5)固定连接，所述滑套(6)的下端与基座(3)固定连接，所述滑杆(8)插入由上至下插入滑孔(7)内滑动，所述基座(3)的上端具有连通滑孔(7)与机构腔(4)的通孔，所述滑孔(7)内竖直设有驱动丝杆(10)，所述滑杆(8)的下端朝上延伸设有与驱动丝杆(10)相匹配的丝孔(9)，所述驱动丝杆(10)的上端插入丝孔(9)内转动，所述驱动丝杆(10)的下端通过通孔延伸进机构腔(4)内并转动安装在机构腔(4)的底部，所述驱动丝杆(10)上安装有水平的涡轮，所述涡轮位于机构腔(4)内，所
3.如权利要求2所述的一种用于晶圆片的转移搬送装置，其特征在于，所述基座(3)与安装架(5)之间还设有至少三组的导向机构，至少三组的导向机构围绕滑套(6)圆形阵列分布，所述导向机构包括竖直安装在基座(3)上的导向套(13)以及竖直安装在安装架(5)上的导向杆(14)，所述导向杆(14)匹配滑动插入导向套(13)内。
4.如权利要求2所述的一种用于晶圆片的转移搬送装置，其特征在于，所述回转机构包括转动盘(19)，所述转动盘(19)的下表面中心固定设有一转动柱(16)，所述转动柱(16)的下端转动安装在安装架(5)上，所述转动柱(16)的侧壁上固定设有一圈齿环(17)，所述齿环(17)啮合连接有一齿轮(18)，所述齿轮(18)连接在第二旋转电机(15)上转动。
5.如权利要求4所述的一种用于晶圆片的转移搬送装置，其特征在于，所述水平伸缩机构包括固定安装在转动盘(19)上的滑轨(20)，所述滑轨(20)上滑动安装有移动的滑块(22)，所述安装头(23)固定安装在滑块(22)上，所述滑轨(20)上安装有驱动滑块(22)移动的气缸(21)。
...【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆片的转移搬送装置，其特征在于，包括输送轨道(1)、移动座(2)、升降机构、回转机构、水平伸缩机构、搬运叉以及喷淋头(25)；
2.如权利要求1所述的一种用于晶圆片的转移搬送装置，其特征在于，所述升降机构包括位于下方的基座(3)以及位于上方的安装架(5)，所述基座(3)固定安装在移动座(2)上，所述基座(3)内具有机构腔(4)，所述安装架(5)与基座(3)之间设有竖直的滑套(6)以及滑杆(8)，所述滑套(6)上竖直贯穿设有与滑杆(8)相匹配的滑孔(7)，所述滑杆(8)的上端与安装架(5)固定连接，所述滑套(6)的下端与基座(3)固定连接，所述滑杆(8)插入由上至下插入滑孔(7)内滑动，所述基座(3)的上端具有连通滑孔(7)与机构腔(4)的通孔，所述滑孔(7)内竖直设有驱动丝杆(10)，所述滑杆(8)的下端朝上延伸设有与驱动丝杆(10)相匹配的丝孔(9)，所述驱动丝杆(10)的上端插入丝孔(9)内转动，所述驱动丝杆(10)的下端通过通孔延伸进机构腔(4)内并转动安装在机构腔(4)的底部，所述驱动丝杆(10)上安装有水平的涡轮，所述涡轮位于机构腔(4)内，所述机构腔(4)内安装有转动的蜗杆(11)，所述蜗杆(11)水平设置并且与涡轮相啮合，...
【专利技术属性】
技术研发人员：李如清，
申请(专利权)人：浙江吉进科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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