【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及膜厚检测，具体为一种x射线荧光光谱仪。
技术介绍
1、x射线荧光光谱仪是用于元素分析和材料成分测定的科学仪器，用于在线膜厚检测时的工作原理是：当x射线照射到薄膜样品时，会激发样品中的原子产生特征x射线荧光，薄膜的厚度会影响荧光的强度和能量分布，通过测量荧光的强度和特征，结合已知的薄膜材料的物理参数和校准数据，可以计算出薄膜的厚度，在线膜厚检测是指在生产过程中，对产品表面的膜层厚度进行实时、连续的测量和监控。
2、现有技术中，如中国专利号为：cn113552158a中，公开了一种x射线荧光光谱仪，包括机架及驱动架，机架上设有开口及盖合在开口上的样品盖。x射线荧光光谱仪还包括转臂及驱动片，转臂设有相对的第一端及第二端，第一端与样品盖连接，驱动片设置在驱动架上并设有导槽。驱动架沿机架朝第一方向滑动时，第二端进入导槽内并跟随驱动架移动，第一端被第二端带动而转动，并带动样品盖一起转动打开开口。本申请x射线荧光光谱仪通过设置转臂及驱动架，在驱动架移动的过程中可同时实现样品盖的开启和关闭，可简化结构并降低成本。
3、目前，在使用x射线荧光光谱仪在线检测膜厚时，首先就是要将待检测的样品膜取出，然后将薄膜大致放置在检测区的中心位置，根据检测区的标记或指示，精确调整薄膜的位置，使其完全覆盖预定的检测区域，且边缘对齐，在现有的技术中，放置好之后便可以盖上封闭盖进行检测膜厚了，但是，薄膜的质量很轻，即使已经平整地摆放好，在盖上封闭盖的一刻以及工作人员的走动等都会容易使薄膜的位置发生改变，无法使薄膜紧紧吸附在检测的平
4、所以我们提出了一种x射线荧光光谱仪，以便于解决上述中提出的问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种x射线荧光光谱仪，以解决上述
技术介绍
提出的现在技术中在进行在线膜厚检测时未能使薄膜吸附在检测平台上，从而会使检测结果出现误差的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种x射线荧光光谱仪，包括主机组件，所述主机组件包括有主机外壳，所述主机外壳的底部固定连接有支撑底板，所述主机外壳的顶部固定连接有固定顶板，所述固定顶板的内壁固定连接有气定组件，所述气定组件的顶部固定连接有压膜组件，所述气定组件包括有检测板，所述检测板的顶部中间处设置测试窗口，所述检测板的内部开设有通气腔，所述通气腔的内部顶面开设有多个斜吸气口和正吸气口，且斜吸气口内部的气流方向是倾斜的，所述通气腔的内部底面开设有连通口，且连通口的底部固定连通有连通管，所述连通管的外表面设置调压阀门，所述支撑底板的顶部设置真空泵，所述真空泵的进气端与连通管的一端固定连通；所述压膜组件包括有四个固定筒，且每个固定筒分别安装在对应位置的正吸气口上方，每个所述固定筒的内壁均滑动连接有活塞，每个所述活塞的顶部均固定连接有多个抽拉杆，多个所述抽拉杆平均分为四组，每组所述抽拉杆的一端之间均固定连接有加强板。
3、优选的，多个所述加强板每两个为一组，每组所述加强板的相对之间均固定连接有连接杆，每个所述连接杆的底部均固定连接有多个用于将检测膜厚的薄膜进行按压定位的按压爪，每个所述固定筒的顶部均固定连接有限位盖，每组所述抽拉杆的一端分别滑动贯穿每个限位盖至外部。
4、优选的，所述固定顶板的顶部固定连接有防护框，所述防护框设置在检测板的外部。
5、优选的，所述主机外壳的前表面设置用于显示检测结果的显示屏，所述主机外壳的前表面靠近显示屏处设置功能键。
6、优选的，所述主机外壳的两侧外表面均开设有多个散热孔，所述主机外壳的后表面固定嵌设有安装板，所述安装板的外表面中间处开设有安装孔，所述安装孔的内部设置排风扇，且排风扇用于将主机外壳内部产生的热量快速排出。
7、优选的，所述固定顶板的底部与支撑底板的顶部之间靠近四个拐角处均固定连接有支撑柱，且支撑柱用于提高装置整体的稳定，所述支撑底板的底部靠近四个拐角处均固定连接有防滑底垫。
8、优选的，所述固定顶板的底部固定连接有安装组件，所述安装组件包括有固定弹性板，且固定弹性板固定安装在固定顶板的底部靠近测试窗口处，所述固定弹性板的外表面设置x射线源发生器，所述固定弹性板的相对一侧均固定连接有固定扣，每个所述固定扣的内壁之间均固定连接有转轴，每个所述转轴的外表面均转动连接有连接环，两个所述连接环的相对之间设置电动推杆。
9、优选的，所述主机外壳的后表面顶部边缘处通过铰链转动连接有盖体组件，所述盖体组件包括有避光盖，所述避光盖的前表面固定连接有把手槽，所述避光盖的内部固定连接有固定架。
10、优选的，所述固定架的两侧内壁与固定顶板的顶部靠近两侧处均设置开合组件，两个所述开合组件均包括有电动伸缩杆，两个所述电动伸缩杆的两端均固定连接有连接块，每个所述连接块的一侧均开设有活动槽，每个所述活动槽的内壁均活动连接有活动球。
11、优选的，每个所述活动球的外表面均固定连接有加强块，其中两个所述加强块分别固定安装在固定架的相对侧内壁上，另外两个所述加强块分别固定安装在固定顶板的顶部靠近两侧边缘处。
12、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
13、1、在使用时，通过启动真空泵，使其产生吸力，此时调节调压阀门能够改变吸力的强弱，避免吸力过大对薄膜产品造成损坏，那么经过连通管将通气腔内部的气体都抽离，因此每个正吸气口和每个斜吸气口都具有吸力，由于薄膜产品平铺在检测板上，检测板表面的吸力会将吸盘一样将薄膜产品吸附住，其中正吸气口对薄膜产品产生的吸力是垂直向下的，而斜吸气口对薄膜产品产生的吸力是斜向外的，具有辅助舒展的功能，与此同时，固定筒内部的气压也在减小，活塞就会带动抽拉杆向着检测板的方向移动，从而使得连接杆带动按压爪同时往检测板的方向移动，进而将吸附在检测板表面的薄膜产品侧边按压住，加强了定位效果，有效地防止薄膜产品在进行膜厚检测时位置偏移。
14、2、在使用时，通过功能键能够操控检测步骤，在显示屏上能够观察到检测结果，而通过多个散热孔能够使主机外壳内部实现通风，内部温度过高时，通过启动排风扇，能够将主机外壳内部产生的热量散发出去，对主机外壳内部的设备和导线等具有保护作用，而固定弹性板能够改变夹角大小，从而能够实现x射线源发生器的检测角度，实现步骤是通过启动两个电动推杆，使其伸缩，当电动推杆伸长时，固定弹性板相对的两面就会远离展开，其内部的夹角就会变大，反之就会变小，此时，由于连接环是套设在转轴的外部活动的，因此在电动推杆伸缩的过程中不会出现运动干涉的情况。
15、3、在使用时，通过同时启动两个电动伸缩杆即可完成避光盖的关闭，由于活动球在活动槽的内部可以灵活转动且不会脱离出来，那么电动伸缩杆在收缩时，其两端便能够灵活转动，使得电动伸缩杆能够被收在避光盖内部，通过将固定架安装在避光盖的内部，从而便于安装加强块和把手槽，在需要开盖时，可以借助把手槽辅助开盖，其中避光盖使用的是不透光的材料制成本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种X射线荧光光谱仪，包括主机组件（1），所述主机组件（1）包括有主机外壳（101），所述主机外壳（101）的底部固定连接有支撑底板（106），所述主机外壳（101）的顶部固定连接有固定顶板（105），所述固定顶板（105）的内壁固定连接有气定组件（5），所述气定组件（5）的顶部固定连接有压膜组件（4），其特征在于：
2.根据权利要求1所述的X射线荧光光谱仪，其特征在于：多个所述加强板（405）每两个为一组，每组所述加强板（405）的相对之间均固定连接有连接杆（406），每个所述连接杆（406）的底部均固定连接有多个用于将检测膜厚的薄膜进行按压定位的按压爪（407），每个所述固定筒（401）的顶部均固定连接有限位盖（402），每组所述抽拉杆（404）的一端分别滑动贯穿每个限位盖（402）至外部。
3.根据权利要求2所述的X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述固定顶板（105）的顶部固定连接有防护框（111），所述防护框（111）设置在检测板（503）的外部。
4.根据权利要求3所述的X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述主机外壳（101）的前表面设
5.根据权利要求4所述的X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述主机外壳（101）的两侧外表面均开设有多个散热孔（102），所述主机外壳（101）的后表面固定嵌设有安装板（108），所述安装板（108）的外表面中间处开设有安装孔（109），所述安装孔（109）的内部设置排风扇（110），且排风扇（110）用于将主机外壳（101）内部产生的热量快速排出。
6.根据权利要求5所述的X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述固定顶板（105）的底部与支撑底板（106）的顶部之间靠近四个拐角处均固定连接有支撑柱（112），且支撑柱（112）用于提高装置整体的稳定，所述支撑底板（106）的底部靠近四个拐角处均固定连接有防滑底垫（107）。
7.根据权利要求6所述的X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述固定顶板（105）的底部固定连接有安装组件（6），所述安装组件（6）包括有固定弹性板（601），且固定弹性板（601）固定安装在固定顶板（105）的底部靠近测试窗口（505）处，所述固定弹性板（601）的外表面设置X射线源发生器（7），所述固定弹性板（601）的相对一侧均固定连接有固定扣（604），每个所述固定扣（604）的内壁之间均固定连接有转轴（605），每个所述转轴（605）的外表面均转动连接有连接环（603），两个所述连接环（603）的相对之间设置电动推杆（602）。
8.根据权利要求7所述的X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述主机外壳（101）的后表面顶部边缘处通过铰链转动连接有盖体组件（2），所述盖体组件（2）包括有避光盖（201），所述避光盖（201）的前表面固定连接有把手槽（202），所述避光盖（201）的内部固定连接有固定架（203）。
9.根据权利要求8所述的X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述固定架（203）的两侧内壁与固定顶板（105）的顶部靠近两侧处均设置开合组件（3），两个所述开合组件（3）均包括有电动伸缩杆（301），两个所述电动伸缩杆（301）的两端均固定连接有连接块（302），每个所述连接块（302）的一侧均开设有活动槽（303），每个所述活动槽（303）的内壁均活动连接有活动球（304）。
10.根据权利要求9所述的X射线荧光光谱仪，其特征在于：每个所述活动球（304）的外表面均固定连接有加强块（305），其中两个所述加强块（305）分别固定安装在固定架（203）的相对侧内壁上，另外两个所述加强块（305）分别固定安装在固定顶板（105）的顶部靠近两侧边缘处。
...【技术特征摘要】
1.一种x射线荧光光谱仪，包括主机组件（1），所述主机组件（1）包括有主机外壳（101），所述主机外壳（101）的底部固定连接有支撑底板（106），所述主机外壳（101）的顶部固定连接有固定顶板（105），所述固定顶板（105）的内壁固定连接有气定组件（5），所述气定组件（5）的顶部固定连接有压膜组件（4），其特征在于：
2.根据权利要求1所述的x射线荧光光谱仪，其特征在于：多个所述加强板（405）每两个为一组，每组所述加强板（405）的相对之间均固定连接有连接杆（406），每个所述连接杆（406）的底部均固定连接有多个用于将检测膜厚的薄膜进行按压定位的按压爪（407），每个所述固定筒（401）的顶部均固定连接有限位盖（402），每组所述抽拉杆（404）的一端分别滑动贯穿每个限位盖（402）至外部。
3.根据权利要求2所述的x射线荧光光谱仪，其特征在于：所述固定顶板（105）的顶部固定连接有防护框（111），所述防护框（111）设置在检测板（503）的外部。
4.根据权利要求3所述的x射线荧光光谱仪，其特征在于：所述主机外壳（101）的前表面设置用于显示检测结果的显示屏（103），所述主机外壳（101）的前表面靠近显示屏（103）处设置功能键（104）。
5.根据权利要求4所述的x射线荧光光谱仪，其特征在于：所述主机外壳（101）的两侧外表面均开设有多个散热孔（102），所述主机外壳（101）的后表面固定嵌设有安装板（108），所述安装板（108）的外表面中间处开设有安装孔（109），所述安装孔（109）的内部设置排风扇（110），且排风扇（110）用于将主机外壳（101）内部产生的热量快速排出。
6.根据权利要求5所述的x射线荧光光谱仪，其特征在于：所述固定顶板（105）的底部与支撑底板（106）的顶部之间靠近四个拐角处均固定连接有支撑柱（112），...
【专利技术属性】
技术研发人员：宁德，徐泽林，黄姿琦，黄贵骁，龚海敏，
申请(专利权)人：派镀科技深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：
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