【技术实现步骤摘要】
本技术涉及防遮板领域，具体是一种溅射设备晶振防遮板的清洁设备。
技术介绍
1、小型离子溅射仪主要用于电镜样品制备、电极材料研究等领域，其主要由机械泵、连接管、溅射靶头、溅射设备主体以及防遮板组成，防遮板采用玻璃材质。
2、现有技术中的溅射设备晶振防遮板大多都是呈圆柱形设计，在防遮板放置在溅射设备主体上后，再将溅射靶头扣在防遮板即可完成组装，防遮板在长时间的工作下，其内壁靠近溅射靶头的部分会变黄，需要定期进行清理，而现有的对防遮板的清洁大多都是通过操作人员手动进行清理的。
3、现有技术中的溅射设备中的防遮板呈圆柱形设计，在清理时大多都是通过操作人员手动对防遮板进行清理，由于防遮板本身具有一定的重量，因此手动清洁时会较为的不便；因此，针对上述问题提出一种溅射设备晶振防遮板的清洁设备。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种溅射设备晶振防遮板的清洁设备，以解决上述
技术介绍
中提出的现有技术中的溅射设备中的防遮板呈圆柱形设计，在清理时大多都是通过操作人员手动对防遮板进行清理，由于防遮板本身具有一定的重量，因此手动清洁时会较为的不便的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种溅射设备晶振防遮板的清洁设备，包括底板和套壳；其特征在于：所述底板上设置有清洁机构，所述清洁机构包括两组底座，所述底座转动连接在底板上，两组所述底座分别与从动齿轮和传动齿轮固定连接，所述从动齿轮和传动齿轮啮合，所述传动齿轮的顶端固定连接有驱动电机，一组所述底座的顶端固定
3、优选的，所述套壳的底端上固定连接有连接板，所述连接板的内壁上固定连接有四组卡块，所述卡块插设在卡槽的内部，所述卡槽开设在底板的前后两侧上。
4、优选的，所述套壳的顶端上开设有滑槽，所述滑槽上滑动连接有四组万向轮，所述万向轮固定连接在转动板的底端。
5、优选的，所述固定环的内壁上固定连接有橡胶圈，所述橡胶圈和防遮板主体的接触。
6、优选的，所述固定杆的顶端螺纹连接有固定块，所述固定块的顶端上固定连接有拉环。
7、优选的，所述支撑座的底端上固定连接有垫片，所述垫片为橡胶材质。
8、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
9、1.本技术通过清洁机构的结构设计，实现了便于对防遮板主体进行清理的功能，解决了现有技术中的溅射设备中的防遮板呈圆柱形设计，在清理时的大多都是通过操作人员手动对防遮板进行清理，由于防遮板本身具有一定的重量，因此手动清洁时会较为的不便的问题；
10、2.本技术通过卡块和卡槽的结构设计，实现了便于对套壳预固定在底板上的功能，在安装时只需将连接板上的卡块对准并插设进底板上的卡槽，即可完成对套壳的预固定，且卡块和卡槽呈梯形的结构设计，可以使套壳不易在底板上发生晃动，以便于套壳的稳定固定。
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1.一种溅射设备晶振防遮板的清洁设备，包括底板(1)和套壳(24)；其特征在于：所述底板(1)上设置有清洁机构，所述清洁机构包括两组底座(20)，所述底座(20)转动连接在底板(1)上，两组所述底座(20)分别与从动齿轮(21)和传动齿轮(22)固定连接，所述从动齿轮(21)和传动齿轮(22)啮合，所述传动齿轮(22)的顶端固定连接有驱动电机(23)，一组所述底座(20)的顶端固定连接有转动板(25)，所述转动板(25)的顶端上固定连接有四组固定杆(28)，所述固定杆(28)的靠近底端的位置上固定连接有支撑环(40)，所述支撑环(40)和毛刷筒(29)的底端接触，所述固定杆(28)上转动连接有毛刷筒(29)，所述套壳(24)上固定连接有四组支撑块(27)，所述支撑块(27)上固定连接有固定环(26)，所述固定环(26)的顶端插设有防遮板主体(41)，所述套壳(24)固定连接在底板(1)上，所述底板(1)的底端上固定连接有四组支撑座(33)。
2.根据权利要求1所述的一种溅射设备晶振防遮板的清洁设备，其特征在于：所述套壳(24)的底端上固定连接有连接板(30)，所述连接
3.根据权利要求2所述的一种溅射设备晶振防遮板的清洁设备，其特征在于：所述卡块(31)插设在卡槽(32)的内部，所述卡槽(32)开设在底板(1)的前后两侧上。
4.根据权利要求3所述的一种溅射设备晶振防遮板的清洁设备，其特征在于：所述套壳(24)的顶端上开设有滑槽(35)，所述滑槽(35)上滑动连接有四组万向轮(36)，所述万向轮(36)固定连接在转动板(25)的底端。
5.根据权利要求4所述的一种溅射设备晶振防遮板的清洁设备，其特征在于：所述固定环(26)的内壁上固定连接有橡胶圈(37)，所述橡胶圈(37)和防遮板主体(41)的接触。
6.根据权利要求5所述的一种溅射设备晶振防遮板的清洁设备，其特征在于：所述固定杆(28)的顶端螺纹连接有固定块(38)，所述固定块(38)的顶端上固定连接有拉环(39)。
7.根据权利要求6所述的一种溅射设备晶振防遮板的清洁设备，其特征在于：所述支撑座(33)的底端上固定连接有垫片(34)，所述垫片(34)为橡胶材质。
...【技术特征摘要】
1.一种溅射设备晶振防遮板的清洁设备，包括底板(1)和套壳(24)；其特征在于：所述底板(1)上设置有清洁机构，所述清洁机构包括两组底座(20)，所述底座(20)转动连接在底板(1)上，两组所述底座(20)分别与从动齿轮(21)和传动齿轮(22)固定连接，所述从动齿轮(21)和传动齿轮(22)啮合，所述传动齿轮(22)的顶端固定连接有驱动电机(23)，一组所述底座(20)的顶端固定连接有转动板(25)，所述转动板(25)的顶端上固定连接有四组固定杆(28)，所述固定杆(28)的靠近底端的位置上固定连接有支撑环(40)，所述支撑环(40)和毛刷筒(29)的底端接触，所述固定杆(28)上转动连接有毛刷筒(29)，所述套壳(24)上固定连接有四组支撑块(27)，所述支撑块(27)上固定连接有固定环(26)，所述固定环(26)的顶端插设有防遮板主体(41)，所述套壳(24)固定连接在底板(1)上，所述底板(1)的底端上固定连接有四组支撑座(33)。
2.根据权利要求1所述的一种溅射设备晶振防遮板的清洁设备，其特征在于：所述套壳(24)的底端上固定连接有连接板(30)...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄昭仁，褚陈伟，焦娟娟，
申请(专利权)人：宁波齐芯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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