【技术实现步骤摘要】
本申请属于半导体生产设备，尤其是涉及一种光伏硅片干燥设备。
技术介绍
1、光伏硅片在生产过程中，需要根据工艺多次进行清洁，每次清洁后也需要进行烘干。花篮用于装载光伏硅片，常用于大批量处理光伏硅，因此，需要将光伏硅片装置到花篮中进行清洗和干燥。如中国专利技术专利文献cn116259564a一种带有干燥设备的光伏硅片的清洁系统，该文献中，利用龙门架上的机械手进行花篮的搬运，由于机械手位于顶部，运动的机械机构容易产生碎屑而污染光伏硅片，而且干燥风容易从机械手设置位置处逃散导致干燥效果较差。同时该设备中也无法对光伏硅片进行封闭式吹风干燥。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题是：为解决现有技术中容易对光伏硅片造成污染的干燥效果差的不足，从而提供一种提高光伏硅片洁净度和干燥效果的光伏硅片干燥设备。
2、本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
3、一种光伏硅片干燥设备，包括：
4、工作台，所述工作台上依次为上料工位、干燥工位和下料工位；所述工作台上开设有贯通上料工位、干燥工位和下料工位位置的运输槽，上料工位、干燥工位和下料工位处的工作台上均设置有挂篮固定座，所述挂篮固定座用于供挂篮放置；
5、运输装置，能够将挂篮在上料工位、干燥工位和下料工位之间运输；
6、吹风装置，设置在所述干燥工位处，所述吹风装置用于向所述干燥工位处提供干燥风；
7、所述运输装置包括：运输机构、设置在工作台下方的滑轨、用于驱动运输机构在滑
8、所述封堵机构包括：位于上料工位和干燥工位的底部框架内部的带轮组件，能够在带轮组件上运动的遮挡带，所述遮挡带根据位于带轮组件的上方和下方分别为上遮挡部和下遮挡部，所述上遮挡部能够与运输机构共同运动并始终位于运输槽的下方。
9、优选地，本专利技术的光伏硅片干燥设备，所述运输机构，包括，设置在滑轨上的滑台，设置在滑台上的升降驱动件，设置在升降驱动件上的水平安装板，设置在水平安装板上的并从运输槽中穿过的竖直安装板，设置在竖直安装板上并位于工作台上方的运输台，所述竖直安装板上设置有能够自由滑动的并位于工作台下方的滑动件，所述上遮挡部与滑动件两端连接。
10、优选地，本专利技术的光伏硅片干燥设备，所述水平安装板一侧的上方设置竖直安装板、下方供下遮挡部通过，另一侧的下方通过滑杆与滑台滑动连接。
11、优选地，本专利技术的光伏硅片干燥设备，所述带轮组件包括安装座，设置在安装座上的沿高度方向布置的第一带轮和第二带轮，设置第一带轮与第二带轮能够使上遮挡部与下遮挡部之间的形成一定距离，使得必要的机械部件能够被放置到上遮挡部与下遮挡部之间。
12、优选地，本专利技术的光伏硅片干燥设备，所述上遮挡部和/或下遮挡部底部还设置有支撑板，以支撑所述上遮挡部和/或下遮挡部。
13、优选地，本专利技术的光伏硅片干燥设备，所述运输台两侧分别设置有固定条，所述固定条上设置有定位槽。
14、优选地，本专利技术的光伏硅片干燥设备，所述挂篮固定座顶部为波浪形。
15、优选地，本专利技术的光伏硅片干燥设备，所述干燥工位上的所述挂篮固定座上开设有通孔，以形成气体流通的通道。
16、优选地，本专利技术的光伏硅片干燥设备，所述干燥工位上具有外罩，外罩上沿运输装置运输方向的两端设置有升降门，当挂篮在运输装置运输而通过外罩时，升降门打开，在干燥过程中，升降门关闭。
17、优选地，本专利技术的光伏硅片干燥设备，所述升降门上还开设有供运输台通过的过孔，过孔处设置有挡帘。
18、本专利技术的有益效果是：
19、本专利技术的光伏硅片干燥设备，工作台上被分为上料工位、干燥工位和下料工位，运输装置将挂篮在上料工位、干燥工位和下料工位之间运输。运输装置设置在工作台底部，与工作台上方相隔离，避免了运输装置对顶部的污染（运输装置运动时不可避免地产生一些碎屑），但是，这需要设置运输槽供支撑机构穿过而支撑挂篮运动，因此，需要设置封堵机构的遮挡带来对运输槽的下方进行封堵，降低干燥气体从运输槽处流出，降低热风损失量，提高干燥效果。
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1.一种光伏硅片干燥设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的光伏硅片干燥设备，其特征在于，所述运输机构（51），包括，设置在滑轨（52）上的滑台（510），设置在滑台（510）上的升降驱动件（512），设置在升降驱动件（512）上的水平安装板（513），设置在水平安装板（513）上的并从运输槽（11）中穿过的竖直安装板（514），所述运输台（511）设置在竖直安装板（514）上，所述竖直安装板（514）上设置有能够自由滑动的并位于工作台（10）下方的滑动件（553），所述上遮挡部（551）与滑动件（553）两端连接。
3.根据权利要求2所述的光伏硅片干燥设备，其特征在于，所述水平安装板（513）一侧的上方设置竖直安装板（514）、下方供下遮挡部（552）通过，另一侧的下方通过滑杆（516）与滑台（510）滑动连接。
4.根据权利要求2所述的光伏硅片干燥设备，其特征在于，所述带轮组件（54）包括安装座（541），设置在安装座（541）上的沿高度方向布置的第一带轮（542）和第二带轮（543）。
5.根据权利要求2所述的光伏硅
6.根据权利要求1所述的光伏硅片干燥设备，其特征在于，所述运输台（511）两侧分别设置有固定条（5111），所述固定条（5111）上设置有定位槽（5112）。
7.根据权利要求1所述的光伏硅片干燥设备，其特征在于，所述挂篮固定座（6）顶部为波浪形。
8.根据权利要求1所述的光伏硅片干燥设备，其特征在于，所述干燥工位（2）上的所述挂篮固定座（6）上开设有通孔（61）。
9.根据权利要求1所述的光伏硅片干燥设备，其特征在于，所述干燥工位（2）上具有上外罩（40），上外罩（40）上沿运输装置（5）运输方向的两端设置有升降门（41）。
10.根据权利要求9所述的光伏硅片干燥设备，其特征在于，所述升降门（41）上还开设有供运输台（511）通过的过孔（42），过孔（42）处设置有挡帘。
...【技术特征摘要】
1.一种光伏硅片干燥设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的光伏硅片干燥设备，其特征在于，所述运输机构（51），包括，设置在滑轨（52）上的滑台（510），设置在滑台（510）上的升降驱动件（512），设置在升降驱动件（512）上的水平安装板（513），设置在水平安装板（513）上的并从运输槽（11）中穿过的竖直安装板（514），所述运输台（511）设置在竖直安装板（514）上，所述竖直安装板（514）上设置有能够自由滑动的并位于工作台（10）下方的滑动件（553），所述上遮挡部（551）与滑动件（553）两端连接。
3.根据权利要求2所述的光伏硅片干燥设备，其特征在于，所述水平安装板（513）一侧的上方设置竖直安装板（514）、下方供下遮挡部（552）通过，另一侧的下方通过滑杆（516）与滑台（510）滑动连接。
4.根据权利要求2所述的光伏硅片干燥设备，其特征在于，所述带轮组件（54）包括安装座（541），设置在安装座（541）上的沿高度方向布置的第一带轮（542）和第二带轮（543...
【专利技术属性】
技术研发人员：李刚，田晓东，卢宝堂，
申请(专利权)人：江苏亚电科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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