【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及精密元器件制造，尤其涉及一种磁悬浮重力平衡器。
技术介绍
1、在精密制造中，精密定位与隔振是整个系统的核心技术问题之一。例如在极紫外光刻机中，影响生产良率及制造线宽的关键部件之一，便是高精度工件台，其核心功能是承载晶圆或掩膜，并实现其六自由度上的精密定位与运动。 同时在晶圆刻蚀过程中，会受到一些外界环境干扰的影响，例如大地低频振动、掩模台较高运动加速度、以及自身大惯量部件运动所引起的振动等。此外，工件台在各自由度上的运动又相互耦合，如何在此复杂的运行中隔绝外界振动干扰，同时实现纳米级重复定位精度，给工件台的设计提出了较高要求。
2、因此，如何设计出精密的支撑机构，从而能有效消除装配定位误差与隔离地面振动干扰，并达到平台超高定位精度具有较大挑战。可以说，精密定位与隔振是实现上述精密仪器装配、测量及超精密工艺的关键支撑技术。
3、现有市面上目前对于精密工件台实现精密定位补偿的方式一般包括：机械结构式例如精密丝杆副及滚动导轨、柔性铰链式；气浮式例如空气弹簧、气浮导轨；压电陶瓷驱动与音圈电机混合式等。对于精密定位而言，一些传统机械结构或运动副确能实现较高精度，例如柔性铰链微动机构的位移分辨率可达到 1nm。但是，由于其采用刚性连接导致系统刚度较高，其隔振性能表现一般，在存在外界扰动时其定位精度将受到较大影响。
4、磁悬浮式工件台由于其无能量消耗、无接触摩擦、无需润滑、可靠性高等优点而备受关注。相较于传统机械结构式的工件台，磁悬浮式工件台可实现低悬浮刚度的负载重力补偿或抵消，使平衡重力后的
5、现有的磁悬浮式工件台出力波动大，且静态力难以调节。
技术实现思路
1、本专利技术实施例所要解决的技术问题在于，提供一种磁悬浮重力平衡器，以降低出力波动，并实现调节。
2、为了解决上述技术问题，本专利技术实施例提出了一种磁悬浮重力平衡器，包括定子组件、动子组件、调节组件，定子组件包括定子本体，动子组件包括动子本体，动子本体设于定子本体上，动子本体中空，定子本体内由上到下依次设有第一定子磁环、线圈和第二定子磁环，动子本体外周上由上到下依次设有第一动子磁环、第二动子磁环和第三动子磁环，调节组件包括调节柱，调节柱上端位于动子本体内，调节柱上端外周上设有调节磁环；第一定子磁环、第二定子磁环、第二动子磁环的充磁方向为径向，第一动子磁环、第三动子磁环和调节磁环的充磁方向为轴向。
3、进一步地，第一定子磁环和第二动子磁环的磁场方向相同，第一定子磁环和第二定子磁环的磁场方向相反；第三动子磁环和第一动子磁环的磁场方向相反，第三动子磁环和调节磁环的磁场方向相同。
4、进一步地，定子本体上设有进水口和出水口，定子本体内部对应线圈处设有水道，水道首尾两端分别与进水口和出水口连通。
5、进一步地，所述水道为螺旋状或圆筒形。
6、进一步地，调节组件还包括用于锁紧调节柱的锁紧螺母，调节柱和锁紧螺母之间螺纹连接。
7、进一步地，第一定子磁环和线圈之间、线圈和第二定子磁环之间、第一动子磁环和第二动子磁环之间、第二动子磁环和第三动子磁环之间均设有隔片。
8、进一步地，第一定子磁环、线圈和第二定子磁环的内壁齐平，第一动子磁环、第二动子磁环和第三动子磁环的外周齐平。
9、进一步地，第二动子磁环和线圈之间、调节磁环和动子本体内壁之间留有间隙。
10、进一步地，调节柱和定子本体底部之间螺纹连接。
11、本专利技术的有益效果为：本专利技术的静态力波动小，小于2%的波动；本专利技术的静态力±10%可调，且可调范围内的静态力波动同样小于2%；本专利技术具备动态力补偿的功能；本专利技术的温升低。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种磁悬浮重力平衡器，包括定子组件、动子组件、调节组件，定子组件包括定子本体，动子组件包括动子本体，动子本体设于定子本体上，动子本体中空，其特征在于，定子本体内由上到下依次设有第一定子磁环、线圈和第二定子磁环，动子本体外周上由上到下依次设有第一动子磁环、第二动子磁环和第三动子磁环，调节组件包括调节柱，调节柱上端位于动子本体内，调节柱上端外周上设有调节磁环；第一定子磁环、第二定子磁环、第二动子磁环的充磁方向为径向，第一动子磁环、第三动子磁环和调节磁环的充磁方向为轴向。
2.如权利要求1所述的磁悬浮重力平衡器，其特征在于，第一定子磁环和第二动子磁环的磁场方向相同，第一定子磁环和第二定子磁环的磁场方向相反；第三动子磁环和第一动子磁环的磁场方向相反，第三动子磁环和调节磁环的磁场方向相同。
3.如权利要求1所述的磁悬浮重力平衡器，其特征在于，定子本体上设有进水口和出水口，定子本体内部对应线圈处设有水道，水道首尾两端分别与进水口和出水口连通。
4.如权利要求3所述的磁悬浮重力平衡器，其特征在于，所述水道为螺旋状或圆筒形。
5.如权利要求1所
6.如权利要求1所述的磁悬浮重力平衡器，其特征在于，第一定子磁环和线圈之间、线圈和第二定子磁环之间、第一动子磁环和第二动子磁环之间、第二动子磁环和第三动子磁环之间均设有隔片。
7.如权利要求1所述的磁悬浮重力平衡器，其特征在于，第一定子磁环、线圈和第二定子磁环的内壁齐平，第一动子磁环、第二动子磁环和第三动子磁环的外周齐平。
8.如权利要求7所述的磁悬浮重力平衡器，其特征在于，第二动子磁环和线圈之间、调节磁环和动子本体内壁之间留有间隙。
9.如权利要求1所述的磁悬浮重力平衡器，其特征在于，调节柱和定子本体底部之间螺纹连接。
...【技术特征摘要】
1.一种磁悬浮重力平衡器，包括定子组件、动子组件、调节组件，定子组件包括定子本体，动子组件包括动子本体，动子本体设于定子本体上，动子本体中空，其特征在于，定子本体内由上到下依次设有第一定子磁环、线圈和第二定子磁环，动子本体外周上由上到下依次设有第一动子磁环、第二动子磁环和第三动子磁环，调节组件包括调节柱，调节柱上端位于动子本体内，调节柱上端外周上设有调节磁环；第一定子磁环、第二定子磁环、第二动子磁环的充磁方向为径向，第一动子磁环、第三动子磁环和调节磁环的充磁方向为轴向。
2.如权利要求1所述的磁悬浮重力平衡器，其特征在于，第一定子磁环和第二动子磁环的磁场方向相同，第一定子磁环和第二定子磁环的磁场方向相反；第三动子磁环和第一动子磁环的磁场方向相反，第三动子磁环和调节磁环的磁场方向相同。
3.如权利要求1所述的磁悬浮重力平衡器，其特征在于，定子本体上设有进水口和出水口，定子本体内部对应线圈处设有水道，水道首...
【专利技术属性】
技术研发人员：龚勋，谢镐泽，刘东成，
申请(专利权)人：德瑞精工深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。