【技术实现步骤摘要】
本专利技术的实施例涉及一种半导体制造领域的物流输送方法及设备，特别涉及一种活动轨的升降控制方法、装置及天车轨道系统。
技术介绍
1、oht天车搬运系统是芯片制造过程中晶圆自动输送系统，可以高效、自动的运送晶圆，是芯片制造的重要设备。oht小车需要定期保养、故障维修等，就要将天车下放到维修站进行维修，维修完成的小车要送往天轨轨道运行，这个将小车下放至地面和送往天车轨道的装置即为oht小车提升装置。由于在下方或提升小车的过程中，提升装置并不是直接作用于小车，而是作用于承载有小车的活动轨上，通过驱动活动轨的上升或下降，即可完成对小车的下方或提升。
2、然而，专利技术人发现，提升装置在驱动活动轨上升或下降的过程中，活动轨上一般都承载有运输晶圆盒的小车，从而就会增加活动轨的自重，并且由于活动轨会在上升或下降的速度影响下，导致其运动不稳，活动轨在上升或下降的活动中经常会发生摆动、晃动、震荡等问题，很难做到活动轨的平稳升降，而这会对活动轨的升降造成不必要的安全隐患。
技术实现思路
1、为了解决上述问题或至少部分地解决上述技术问题，本专利技术的部分实施方式设计了一种活动轨的升降控制方法、装置及天车轨道系统，有效防止活动轨在上升或下降时，出现不必要的摆动、晃动、震荡的问题，从而提高了活动轨在上升或下降时的稳定性。
2、为了实现上述目的，本专利技术的部分实施例提供了一种活动轨的升降控制方法，所述升降控制方法包括如下步骤：
3、当驱动装置驱动活动轨沿垂直于天车轨道的固
4、根据获得的所述活动轨的姿态，对所述驱动装置进行控制。
5、另外，本专利技术的部分实施例还提供了一种活动轨的升降控制装置，所述升降控制装置包括：
6、第一检测模块，用于驱动装置在驱动活动轨沿垂直于天车轨道的固定轨的方向进行上升或下降运动时，检测所述活动轨的姿态；
7、主控模块，与所述第一检测模块和所述驱动装置通讯连接，用于获取所述第一检测模块测得的所述活动轨的姿态，并根据获得的所述活动轨的姿态对所述驱动装置进行控制。
8、另外，本专利技术的部分实施例提供了一种天车轨道系统，所述天车轨道系统包括：
9、天车轨道；所述天车轨道包含：固定轨、与所述固定轨对接的活动轨；
10、驱动装置，承托并支撑所述活动轨，用于驱动所述活动轨沿垂直于所述固定轨的方向进行上升或下降运动；
11、如上所述的升降控制装置。
12、本专利技术的实施例相对于现有技术而言，当驱动装置在驱动活动轨沿垂直于天车轨道的方向进行上升或下降运动时，可通过对活动轨姿态的实时获取，以达到对驱动装置的控制，使得活动轨在上升或下降时，可有效防止活动轨出现摆动、晃动、震荡等问题，从而提高了活动轨在上升或下降时的稳定性和安全性。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种活动轨的升降控制方法，其特征在于，所述升降控制方法包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的活动轨的升降控制方法，其特征在于，实时获取所述活动轨在运动时的姿态包括：实时检测所述活动轨的水平度；在根据获得的所述活动轨的姿态，对所述驱动装置进行控制的步骤中，具体包括：
3.根据权利要求2所述的活动轨的升降控制方法，其特征在于，在向所述驱动装置发送减速指令之后，所述升降控制方法还包括如下步骤：
4.根据权利要求2所述的活动轨的升降控制方法，其特征在于，在判定所述活动轨产生摇摆之后，并在向所述驱动装置发送减速指令之前，所述升降控制方法还包括如下步骤：
5.根据权利要求3或4所述的活动轨的升降控制方法，其特征在于，检测所述活动轨的水平度包括：检测所述活动轨的X轴与水平面的第一夹角、检测所述活动轨的Y轴与水平面的第二夹角；
6.根据权利要求1所述的活动轨的升降控制方法，其特征在于，实时获取所述活动轨在运动时的姿态还包括：实时检测所述活动轨的Z轴方向的振动频率，在根据获得的所述活动轨的姿态，对所述驱动装置进行控制的步骤中具体还包
7.根据权利要求6所述的活动轨的升降控制方法，其特征在于，在向所述驱动装置发送减速指令之后，所述升降控制方法还包括如下步骤：
8.根据权利要求7所述的活动轨的升降控制方法，其特征在于，在判定所述活动轨产生震荡之后，并在向所述驱动装置发送减速指令之前，所述升降控制方法还包括如下步骤：
9.根据权利要求1所述的活动轨的升降控制方法，其特征在于，获取所述活动轨在运动时的姿态包括：实时检测所述活动轨的水平度、实时检测所述活动轨的Z轴方向的振动频率；在根据获得的所述活动轨的姿态，对所述驱动装置进行控制的步骤中具体包括：
10.根据权利要求9所述的活动轨的升降控制方法，其特征在于，在向所述驱动装置发送减速指令之后，所述升降控制方法还包括如下步骤：
11.根据权利要求9所述的活动轨的升降控制方法，其特征在于，在判定所述活动轨产生摇摆之后，或在判定所述活动轨产生震荡之后，并在向所述驱动装置发送减速指令之前，所述升降控制方法还包括如下步骤：
12.根据权利要求4和8和11中任意一项所述的活动轨的升降控制方法，其特征在于，在根据测得的距离，判断是否继续驱动所述活动轨运动的步骤中，具体包括：
13.根据权利要求1所述的活动轨的升降控制方法，其特征在于，在检测各所述传动带分别被唯一对应的所述张紧轮组件张紧时的张紧状态之后，并在分别判断各所述传动带是否出现异常工况之前，所述升降控制方法还包括如下步骤：
14.根据权利要求13所述的活动轨的升降控制方法，其特征在于，在根据测得的各所述传动带的张紧状态，判断所述活动轨是否与所述固定轨完成对接的步骤中，具体包括：
15.根据权利要求1所述的活动轨的升降控制方法，其特征在于，当驱动装置驱动活动轨沿垂直于天车轨道的固定轨的方向进行上升或下降运动时，所述升降控制方法还包括如下步骤：
16.一种活动轨的升降控制装置，其特征在于，所述升降控制装置包括：
17.根据权利要求16所述的活动轨的升降控制装置，其特征在于，所述第一检测模块包括：
18.根据权利要求17所述的活动轨的升降控制装置，其特征在于，所述第一检测模块还包括：
19.根据权利要求17或18所述的活动轨的升降控制装置，其特征在于，所述升降控制装置还包括：
20.根据权利要求17所述的活动轨的升降控制装置，其特征在于，所述升降控制装置还包括：
21.根据权利要求18所述的活动轨的升降控制装置，其特征在于，所述升降控制装置还包括：
22.根据权利要求16所述的活动轨的升降控制装置，其特征在于，各所述张紧轮组件包括：
23.根据权利要求22所述的活动轨的升降控制装置，其特征在于，所述张紧轮组件还包括：
24.根据权利要求22所述的活动轨的升降控制装置，其特征在于，所述张紧轮组件还包括：
25.根据权利要求16所述的活动轨的升降控制装置，其特征在于，所述升降控制装置还包括：
26.一种天车轨道系统，其特征在于，所述天车轨道系统包括：
...【技术特征摘要】
1.一种活动轨的升降控制方法，其特征在于，所述升降控制方法包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的活动轨的升降控制方法，其特征在于，实时获取所述活动轨在运动时的姿态包括：实时检测所述活动轨的水平度；在根据获得的所述活动轨的姿态，对所述驱动装置进行控制的步骤中，具体包括：
3.根据权利要求2所述的活动轨的升降控制方法，其特征在于，在向所述驱动装置发送减速指令之后，所述升降控制方法还包括如下步骤：
4.根据权利要求2所述的活动轨的升降控制方法，其特征在于，在判定所述活动轨产生摇摆之后，并在向所述驱动装置发送减速指令之前，所述升降控制方法还包括如下步骤：
5.根据权利要求3或4所述的活动轨的升降控制方法，其特征在于，检测所述活动轨的水平度包括：检测所述活动轨的x轴与水平面的第一夹角、检测所述活动轨的y轴与水平面的第二夹角；
6.根据权利要求1所述的活动轨的升降控制方法，其特征在于，实时获取所述活动轨在运动时的姿态还包括：实时检测所述活动轨的z轴方向的振动频率，在根据获得的所述活动轨的姿态，对所述驱动装置进行控制的步骤中具体还包括：
7.根据权利要求6所述的活动轨的升降控制方法，其特征在于，在向所述驱动装置发送减速指令之后，所述升降控制方法还包括如下步骤：
8.根据权利要求7所述的活动轨的升降控制方法，其特征在于，在判定所述活动轨产生震荡之后，并在向所述驱动装置发送减速指令之前，所述升降控制方法还包括如下步骤：
9.根据权利要求1所述的活动轨的升降控制方法，其特征在于，获取所述活动轨在运动时的姿态包括：实时检测所述活动轨的水平度、实时检测所述活动轨的z轴方向的振动频率；在根据获得的所述活动轨的姿态，对所述驱动装置进行控制的步骤中具体包括：
10.根据权利要求9所述的活动轨的升降控制方法，其特征在于，在向所述驱动装置发送减速指令之后，所述升降控制方法还包括如下步骤：
11.根据权利要求9所述的活动轨的升降控制方法，其特征在于，在判定所述活动轨产生摇摆之后，或在判定所述活动轨产生震荡之后，并在向所述驱...
【专利技术属性】
技术研发人员：滕焕云，陆超峰，刘越，赵萌，
申请(专利权)人：尊芯智能科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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