【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于硅片清洗废水处理的，具体涉及一种利用生化系统降低氢氟酸系统排水中总氮的方法。
技术介绍
1、在清洗半导体硅片时，通常使用硝酸与氢氟酸配成的混酸溶液进行清洗，硅片清洗后的混酸废水在处理过程中通常加入氯化钙，利用氯化钙将氢氟酸中的氟离子转化成氟化钙沉淀除去，但是混酸废水中还含有大量的硝酸，导致排放时总氮大于200 mg/l以上，使得出水存在总氮超标巨大风险。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术提供一种利用生化系统降低氢氟酸系统排水中总氮的方法。
2、本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
3、一种利用生化系统降低氢氟酸系统排水中总氮的方法，包括以下步骤：
4、s1：将含氟废水进行水解酸化，以将含氟废水中的有机物断链，降低cod，得到第一处理废水；
5、s2：将第一处理废水进行接触氧化，控制溶解氧含量，得到第二处理废水，将有机氮转化为硝酸盐氮或亚硝酸盐氮，硝酸盐氮或亚硝酸盐氮将转化为氮气排出水体；
6、s3：将第二处理废水进行沉淀，泥水分离后，废水外排，回流污泥回用至s1步骤；废水总氮量为40mg/l以下。
7、优选地，所述s1、s2中为含有硝化细菌和反硝化细菌的微生物。
8、优选地，所述s2中溶解氧含量为1mg/l-5mg/l。
9、优选地，还包括预处理步骤：
10、第一步：向混酸废水中加入氯化钙，得到预处理废水；
11、第二步：将预处理废水调
12、优选地，所述第二步中，所述ph为7-8。
13、与现有技术相比，本专利技术的有益效果在于：
14、本专利技术提供的一种利用生化系统降低氢氟酸系统排水中总氮的方法，将含氟废水进行水解酸化，以将含氟废水中的有机物断链，降低cod，得到第一处理废水；将第一处理废水进行接触氧化，控制溶解氧含量，得到第二处理废水，将第二处理废水进行沉淀，泥水分离后，废水外排，回流污泥回用至s1步骤；通过水解酸化及接触氧化步骤使得好氧过成中将有机氮转化为硝酸盐氮或亚硝酸盐氮，在缺氧或厌氧状况下硝酸盐氮或亚硝酸盐氮将转化为氮气排出水体，从而实现脱氮，以使废水总氮量为40mg/l以下，使得废水排放达标。
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1.一种利用生化系统降低氢氟酸系统排水中总氮的方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的利用生化系统降低氢氟酸系统排水中总氮的方法，其特征在于，所述S1、S2中为含有硝化细菌和反硝化细菌的微生物。
3.如权利要求1所述的利用生化系统降低氢氟酸系统排水中总氮的方法，其特征在于，所述S2中溶解氧含量为1mg/L-5mg/L。
4.如权利要求1所述的利用生化系统降低氢氟酸系统排水中总氮的方法，其特征在于，还包括预处理步骤：
5.如权利要求4所述的利用生化系统降低氢氟酸系统排水中总氮的方法，其特征在于，所述第二步中，所述pH为7-8。
【技术特征摘要】
1.一种利用生化系统降低氢氟酸系统排水中总氮的方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的利用生化系统降低氢氟酸系统排水中总氮的方法，其特征在于，所述s1、s2中为含有硝化细菌和反硝化细菌的微生物。
3.如权利要求1所述的利用生化系统降低氢氟酸系统排水中总氮的方...
【专利技术属性】
技术研发人员：李红喜，王黎光，马玉怀，芮阳，曹启刚，倪浩然，白园，赵娜，
申请(专利权)人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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