【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于外延炉尾气处理，尤其涉及外延炉尾气净化组件及净化方法。
技术介绍
1、外延炉尾气净化设备是半导体制造过程中用于处理和净化有害尾气的关键技术。这些尾气通常含有多种有毒物质，如sihc3、hcl、ph3等，它们必须经过严格的处理才能达到排放标准，以避免对环境和人体健康造成危害。
2、公开号为cn115193187a的专利公开了一种具有自清理功能的半导体尾气喷淋洗涤设备，旨在提供一种能够在不影响设备正常工作的情况下，有效的降低半导体尾气喷淋洗涤设备拆卸清理的频率，已解决现有技术中半导体尾气喷淋洗涤设备需要频繁，而存在的操作不便及安全隐患的问题的半导体尾气喷淋洗涤设备。它包括进气头，进气头包括进气本体、设置在进气本体内的柱状内腔及进气管，所述柱状内腔的第一端封闭，柱状内腔的第二端开口，所述进气管的一端与柱状内腔连通，进气管与柱状内腔连通的一端位于柱状内腔的第一端与第二端之间；自清理装置，自清理装置包括位于柱状内腔内的刮尘件及用于驱动刮尘件沿柱状内腔的轴向移动的移动执行机构。
3、但在实际生产中发现，上述技术方案还存在问题：上述方案中的透气过孔在长期的使用过程中或在清理管壁时容易发生堵塞，从而导致外延炉尾气不能正常通过自清理装置，由于尾气的持续输入，导致该自清理装置上方的压力过大，从而造成管道的破裂，进而导致尾气外泄，造成空气污染。此外由于喷淋水压稳定不变，对管道内部清洗效果一般。
4、因此，专利技术外延炉尾气净化组件及净化方法来解决上述问题很有必要。
技术实现
1、本专利技术的目的是针对上述存在的技术问题，提供外延炉尾气净化组件及净化方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、本专利技术提供外延炉尾气净化组件，包括二次洗涤室，所述二次洗涤室分别连通有初次洗涤室和填料室；储液箱，其固定设置于初次洗涤室的底部，用于供液；循环泵，其连通于储液箱的顶部，能够抽取储液箱内液体；液体管，其连通于循环泵的顶部，所述液体管分别与初次洗涤室、二次洗涤室和填料室连通；所述外延炉尾气净化组件包括：液体喷射部，其设置于二次洗涤室的顶部，其能够对尾气洗涤；进气部，其设置于液体喷射部的顶部，其能够输送尾气；清理部，其设置于进气部的内部，能够与液体喷射部配合以调整液体喷射压力的大小，所述清理部沿着所述进气部至所述液体喷射部内。
3、优选的，所述液体喷射部包括：喷射本体，其设置于二次洗涤室的顶部；环形腔，其开设于喷射本体内，且所述环形腔与液体管之间连通有供液管，能够通过液体管和供液管往环形腔内提供液体；喷射腔，其设置于喷射本体内；斜向喷口，其数量为多个并设置于环形腔与喷射腔之间，使环形腔与喷射腔连通；内衬喉管，其固定设置于喷射本体内。
4、优选的，所述内衬喉管包括：上内衬喉管，其固定设置于喷射本体内；下内衬喉管，其设置于上内衬喉管的底部并与上内衬喉管连通，其底端设为锥形，其采用弹性材料制成。
5、优选的，所述进气部包括：进气管体，其固定设置与喷射本体的顶端，且与喷射本体连通；进气头，其设置于进气管体的外壁，且与进气管体连通。
6、优选的，所述清理部包括：电动伸缩件，其滑动设置于进气管内，其固定端与进气管的顶部相连接，且能够沿着进气管内壁轴向运动；刮尘件，其固定设置于电动伸缩件的伸出端，且能够随着电动伸缩件的伸出端运动。
7、优选的，所述刮尘件包括：环形刮板，其设置于电动伸缩件的伸出端，其设置为空心结构，所述环形刮板能够沿着进气管体、上内衬喉管和下内衬喉管内滑动；锥形刮板，其设置于环形刮板的底部，其设置为空心结构并与环形刮板内部连通，且所述锥形刮板的直径小于环形刮板的直径，能够随着环形刮板运动；环形架，其设置于环形刮板的顶部，所述环形架的直径与环形刮板的直径相等。
8、优选的，所述刮尘件还包括：进气孔，其数量为多个并开设于环形刮板的顶部，所述刮尘件在进气管体轴向运动时，尾气能够通过进气孔正常流通。
9、优选的，还包括：气压传感器，其设置于进气头的外壁，能够检测进气管体内气压变化。
10、优选的，还包括：管路，其固定设置于喷射本体的底部并与喷射腔连通，且管路的底部与初次洗涤室连通。
11、本专利技术还公开了外延炉尾气净化组件的净化方法，包括以下步骤：
12、步骤一、进气，外延炉尾气进入到进气部内，并从进气部进入到液体喷射部内进行洗涤，洗涤后的尾气通过管路进入到初次洗涤室内；
13、步骤二、一次尾气净化，当尾气进入到初次洗涤室后，所述初次洗涤室清除尾气中的粗颗粒杂质以及部分废气，并进入到二次洗涤室内；
14、步骤三、二次尾气净化，尾气进入到二次洗涤室后并对该对尾气中的杂质和酸性尾气中和吸收，然后进入到填料室内；
15、步骤四、三次尾气净化，尾气进入到填料室后，经过填料室的对尾气精细处理，然后净化过的尾气通过其顶部设置的排气口排出。
16、本专利技术的有益效果是：
17、1.本专利技术通过气压传感器、电动伸缩件和锥形刮板等部件的配合，当进气管体内压力增大时，电动伸缩件推动刮尘件运动至第一位置，下内衬喉管的底端发生第一形变量的形变，发生第一形变量后的下内衬喉管外径增大，下内衬喉管与喷射腔之间的间隙减小，从喷射腔底部流出的液体压力增大，此时流出的液体冲刷下方管路内壁上的附着物，使附着物快速被清理出，进一步提高了对附着物的清理的效果。
18、2.本专利技术通过电动伸缩件、环形架和下内衬喉管等部件的配合，当刮尘件运动至第二位置时，下内衬喉管的底端发生第二形变量的形变，发生第二形变量后的下内衬喉管外径相比第一次形变量增大，下内衬喉管与喷射腔之间的间隙再次减小，此时喷射腔与下内衬喉管下方流出的液体压力再次增大，增大后的液体在对管道内壁进行清理的同时，此时进气孔也运动到了下内衬喉管的下方，增压后的液体也能对进气孔进行清理，避免进气孔在长期使用中造成堵塞，保证刮尘件清理过程中外延炉尾气能够在进气管体内正常流通，进一步提升了在不停机状态下对进气管体和内衬喉管的内壁清理效果。
19、3.本专利技术通过内衬喉管，一方面防止喷射腔内的液体逆流，另一方面该内衬喉管中的下内衬喉管在受到刮尘件件挤压后发生由内向外的扩展变形，扩展后的下内衬喉管外径与喷射腔侧壁之间所形成的间隙减小，增大喷射腔底部液体喷出的压力并对管路内壁和进气孔清理，使尾气正常通过，内衬喉管在与刮尘件的配合下，进一步提升了在不停机的状态下，能够自清理附着物，同时也保证了尾气的正常流通。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.外延炉尾气净化组件，包括二次洗涤室（1），所述二次洗涤室（1）分别连通有初次洗涤室（2）和填料室（4）；
2.根据权利要求1所述的外延炉尾气净化组件，其特征在于，所述液体喷射部（6）包括：
3.根据权利要求2所述的外延炉尾气净化组件，其特征在于，所述内衬喉管（605）包括：
4.根据权利要求2所述的外延炉尾气净化组件，其特征在于，所述进气部（7）包括：
5.根据权利要求4所述的外延炉尾气净化组件，其特征在于，所述清理部（8）包括：
6.根据权利要求5所述的外延炉尾气净化组件，其特征在于，所述刮尘件（802）包括：
7.根据权利要求6所述的外延炉尾气净化组件，其特征在于，所述刮尘件（802）还包括：进气孔（8023），其数量为多个并开设于环形刮板（8020）的顶部，所述刮尘件（802）在进气管体（701）轴向运动时，尾气能够通过进气孔（8023）正常流通。
8.根据权利要求4所述的外延炉尾气净化组件，其特征在于，还包括：
9.根据权利要求2所述的外延炉尾气净化组件，其特征在于，还包括
10.外延炉尾气净化组件的净化方法，应用于权利要求9所述的外延炉尾气净化组件，其特征在于，包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
1.外延炉尾气净化组件，包括二次洗涤室（1），所述二次洗涤室（1）分别连通有初次洗涤室（2）和填料室（4）；
2.根据权利要求1所述的外延炉尾气净化组件，其特征在于，所述液体喷射部（6）包括：
3.根据权利要求2所述的外延炉尾气净化组件，其特征在于，所述内衬喉管（605）包括：
4.根据权利要求2所述的外延炉尾气净化组件，其特征在于，所述进气部（7）包括：
5.根据权利要求4所述的外延炉尾气净化组件，其特征在于，所述清理部（8）包括：
6.根据权利要求5所述的外延炉尾气净化组件，其特征在于，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐新华，
申请(专利权)人：浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。