【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆片加工，具体涉及到一种四轴联动的晶圆收纳机器人。
技术介绍
1、晶圆片在加工过程中通常需要放入到晶圆盒内收纳进行存放以及转移，其中一种水平晶圆盒侧面开口并且上下分层，通过机械臂操控拾取叉将晶圆片抬起水平放入到晶圆盒内，但是现有技术中的拾取叉表面光滑，为了防止晶圆片滑落只能缓慢移动，从而会降低效率，此外，拾取叉只能水平移动晶圆片，不能改变方向。
技术实现思路
1、为了解决上述现有技术中的不足之处，本技术提出一种四轴联动的晶圆收纳机器人。
2、为了实现上述技术效果，本技术采用如下方案：
3、一种四轴联动的晶圆收纳机器人，包括基座、安装架、多轴联动臂、旋转臂以及拾取叉；
4、所述安装架固定安装于基座上；
5、所述多轴联动臂在水平方向上可以进行多方向转动伸缩，所述多轴联动臂的一端通过升降机构安装在安装架上竖直移动；
6、所述旋转臂水平设置，所述旋转臂的一端转动安装在多轴联动臂的另一端，所述旋转臂水平设置并且绕其自身的中心轴转动，所述旋转臂通过第一电机驱动转动；
7、所述拾取叉水平设置，所述拾取叉固定安装于旋转臂的另一端，所述拾取叉的表面具有真空吸附孔，所述拾取叉通过软管连接真空发生器，所述软管与真空吸附孔连通。
8、优选的技术方案，所述拾取叉的表面设有一层软垫层。
9、优选的技术方案，所述多轴联动臂包括依次连接的固定臂、第一转动臂以及第二转动臂，所述固定臂的一端通过升降机构安装于安
10、优选的技术方案，所述固定臂通过竖直设置的第一转轴与第一转动臂连接，所述第一转轴与固定臂固定连接，所述第一转动臂与第一转轴转动连接，所述第一转轴上固定设有第一齿轮，所述第二电机竖直安装于第一转动臂上，所述第二电机的输出轴上固定设有与第一齿轮啮合连接的第二齿轮；所述第一转动臂通过竖直设置的第二转轴与第二转动臂连接，所述第二转轴与第一转动臂固定连接，所述第二转动臂与第二转轴转动连接，所述第二转轴上固定设有第三齿轮，所述第三电机竖直安装于第二转动臂上，所述第三电机的输出轴上固定设有与第三齿轮啮合连接的第四齿轮。
11、优选的技术方案，所述升降机构包括竖直安装在安装架上的丝杠，所述丝杠上螺纹连接有升降块，所述多轴联动臂固定连接升降块，所述丝杠的下端固定设有第五齿轮，所述安装架上安装有伸缩轴朝下设置的第四电机，所述第四电机的输出轴上设有与第五齿轮啮合的第六齿轮，所述安装架上还设有用于升降块的竖直导向结构。
12、优选的技术方案，所述竖直导向结构包括竖直安装在安装架上的导轨，所述升降块匹配安装在导轨上滑动。
13、与现有技术相比，有益效果为：
14、本技术结构简单，使用方便，在拾取叉的表面设置于真空发生器连接的真空吸附孔，当拾取叉抬起晶圆片时通过真空吸附固定住晶圆片，从而可以加快移动速度，提高工作效率，并且可以转动，使晶圆片侧立，可以将晶圆片放置在立式晶圆盒内。
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1.一种四轴联动的晶圆收纳机器人，其特征在于，包括基座(1)、安装架(2)、多轴联动臂、旋转臂(13)以及拾取叉(14)；
2.如权利要求1所述的一种四轴联动的晶圆收纳机器人，其特征在于，所述拾取叉(14)的表面设有一层软垫层。
3.如权利要求1所述的一种四轴联动的晶圆收纳机器人，其特征在于，所述多轴联动臂包括依次连接的固定臂(10)、第一转动臂(11)以及第二转动臂(12)，所述固定臂(10)的一端通过升降机构安装于安装架(2)上，所述第一转动臂(11)的一端转动安装在固定臂(10)的另一端并通过第二电机(16)驱动进行水平转动，所述第二转动臂(12)的一端转动安装在第一转动臂(11)的另一端并通过第三电机(17)驱动进行水平转动，所述旋转臂(13)转动安装于第二转动臂(12)的另一端。
4.如权利要求3所述的一种四轴联动的晶圆收纳机器人，其特征在于，所述固定臂(10)通过竖直设置的第一转轴与第一转动臂(11)连接，所述第一转轴与固定臂(10)固定连接，所述第一转动臂(11)与第一转轴转动连接，所述第一转轴上固定设有第一齿轮(18)，所述第二
5.如权利要求1所述的一种四轴联动的晶圆收纳机器人，其特征在于，所述升降机构包括竖直安装在安装架(2)上的丝杠(3)，所述丝杠(3)上螺纹连接有升降块(8)，所述多轴联动臂固定连接升降块(8)，所述丝杠(3)的下端固定设有第五齿轮(6)，所述安装架(2)上安装有伸缩轴朝下设置的第四电机(5)，所述第四电机(5)的输出轴上设有与第五齿轮(6)啮合的第六齿轮(7)，所述安装架(2)上还设有用于升降块(8)的竖直导向结构。
6.如权利要求5所述的一种四轴联动的晶圆收纳机器人，其特征在于，所述竖直导向结构包括竖直安装在安装架(2)上的导轨(9)，所述升降块(8)匹配安装在导轨(9)上滑动。
...【技术特征摘要】
1.一种四轴联动的晶圆收纳机器人，其特征在于，包括基座(1)、安装架(2)、多轴联动臂、旋转臂(13)以及拾取叉(14)；
2.如权利要求1所述的一种四轴联动的晶圆收纳机器人，其特征在于，所述拾取叉(14)的表面设有一层软垫层。
3.如权利要求1所述的一种四轴联动的晶圆收纳机器人，其特征在于，所述多轴联动臂包括依次连接的固定臂(10)、第一转动臂(11)以及第二转动臂(12)，所述固定臂(10)的一端通过升降机构安装于安装架(2)上，所述第一转动臂(11)的一端转动安装在固定臂(10)的另一端并通过第二电机(16)驱动进行水平转动，所述第二转动臂(12)的一端转动安装在第一转动臂(11)的另一端并通过第三电机(17)驱动进行水平转动，所述旋转臂(13)转动安装于第二转动臂(12)的另一端。
4.如权利要求3所述的一种四轴联动的晶圆收纳机器人，其特征在于，所述固定臂(10)通过竖直设置的第一转轴与第一转动臂(11)连接，所述第一转轴与固定臂(10)固定连接，所述第一转动臂(11)与第一转轴转动连接，所述第一转轴上固定设有第一齿轮(18)，所述第二电机(16)竖直安装于第一转动臂(11)...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈超，
申请(专利权)人：浙江吉进科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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