【技术实现步骤摘要】
本技术属于物理及半导体测试,涉及一种磁光克尔检测设备,具体地,涉及一种高低温磁光克尔检测设备。
技术介绍
1、磁光克尔效应是指反射光会因反光介质的磁化而发生改变,因此可以通过探测被测物表面的反射光来获取被测物的磁性。在此基础上,磁光克尔检测设备通过向被测物发射偏振光,对被测物的反射光的偏振态进行测量,从而测量被测物表面的磁性。
2、cn108594142a公开了一种磁化矢量测量方法,光源、非球面镜i、非球面镜ii、视场光阑、偏振器、非球面镜iii、半透明反射镜、物镜依次组成照明光路,物镜、半透明反射镜、补偿器、检偏器、非球面镜iv依次组成成像光路,能够在宽场磁光克尔显微镜中实现了克尔对比度的分离和增强,能够得到样品的表面磁化的三维矢量图。但是,该方案的被测物裸露在外,无法对被测物在不同温度下的磁性特征进行测量和分析。因此,亟需提供一种能够对被测物的温度进行调整的磁光克尔测试设备。
3、需要注意的是,在
技术介绍
部分中公开的上述信息仅仅用于增强对本技术背景的理解,因此可能包含不构成本领域普通技术人员公知的现有技术的信息。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的问题,本技术提供了一种高低温磁光克尔检测设备,包括光学组件、样品承载组件、磁场发生组件、腔体,所述样品承载组件被构造成能够承托被测物的形式,所述样品承载组件设置于所述腔体内,所述磁场发生组件被构造成能够在被测物附近产生大体平行于被测物表面的磁场的形式,所述腔体设置有透光镜,所述光学组件包括光源、起偏器、检偏器
2、可选地,所述光学组件还包括分光镜,所述光源发出的光经过所述起偏器、分光镜、透光镜照射至被测物;被测物反射的光经过所述透光镜、分光镜、检偏器并进入所述光接收装置。
3、进一步地,所述光学组件还包括物镜,所述分光镜与所述被测物之间的光路中设置有所述物镜。
4、可选地,所述被测物的入射光与反射光之间成预设夹角。
5、可选地,所述磁场发生装置包括励磁线圈,两个所述励磁线圈设置于所述样品承载组件的两侧,两个所述励磁线圈同轴设置,所述励磁线圈与所述腔体固定连接。
6、可选地,所述检测设备还包括磁扼,所述磁场发生装置包括电磁线圈、极头,所述极头与所述磁扼导磁连接,所述电磁线圈设置于所述极头与所述磁扼之间的磁路中,所述极头的端部靠近所述样品承载组件的承载有被测物的位置。
7、可选地,所述冷源组件、热源组件可以采用半导体制冷片。
8、可选地,所述样品承载组件包括均热板、位移台,所述热源组件、冷源组件的其中至少之一与所述均热板导热连接;所述均热板被所述位移台承载并能够在所述位移台的作用下移动;被测物被承载于所述均热板。
9、进一步地,所述热源组件、冷源组件的其中至少之一设置于所述位移台与均热板之间。
10、可选地,所述腔体与所述冷源组件间隔设置,所述腔体与所述冷源组件之间通过波纹管连接,所述腔体、冷源组件、波纹管形成密闭腔体。
11、本技术至少具有以下有益效果:本技术所提供的高低温磁光克尔检测设备,通过冷源组件、热源组件对被测物的温度进行控制,并通过光路组件检测被测物的克尔偏转角,从而对不同温度下的被测物的磁性进行检测,例如,对高温状态下、低温状态下的被测物进行磁性检测;腔体具有较大的容纳空间,可以对多种尺寸的被测物进行检测;通过采用腔体的形式,使被测物所处环境与外部环境隔离,从而减少外部环境与被测物之间的温度影响,便于对被测物的温度进行控制。
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1.一种高低温磁光克尔检测设备,其特征在于:包括光学组件、样品承载组件、磁场发生组件、腔体,所述样品承载组件被构造成能够承托被测物的形式,所述样品承载组件设置于所述腔体内,所述磁场发生组件被构造成能够在被测物附近产生大体平行于被测物表面的磁场的形式,所述腔体设置有透光镜,所述光学组件包括光源、起偏器、检偏器、光接收装置,所述光源发出的光至少经所述起偏器、透光镜照射至被测物,被测物反射的光至少经过所述透光镜、检偏器进入所述光接收装置,所述光接收装置被构造成能够根据接收到的光输出相应信号的形式;所述样品承载组件上导热连接有冷源组件、热源组件的其中至少之一。
2.如权利要求1所述的一种高低温磁光克尔检测设备,其特征在于:所述光学组件还包括分光镜,所述光源发出的光经过所述起偏器、分光镜、透光镜照射至被测物;被测物反射的光经过所述透光镜、分光镜、检偏器并进入所述光接收装置。
3.如权利要求2所述的一种高低温磁光克尔检测设备,其特征在于:所述光学组件还包括物镜,所述分光镜与所述被测物之间的光路中设置有所述物镜。
4.如权利要求1所述的一种高低温磁光克尔检测
5.如权利要求1所述的一种高低温磁光克尔检测设备,其特征在于:所述磁场发生组件包括励磁线圈,两个所述励磁线圈设置于所述样品承载组件的两侧,两个所述励磁线圈同轴设置,所述励磁线圈与所述腔体固定连接。
6.如权利要求1所述的一种高低温磁光克尔检测设备,其特征在于:所述检测设备还包括磁扼,所述磁场发生组件包括电磁线圈、极头,所述极头与所述磁扼导磁连接,所述电磁线圈设置于所述极头与所述磁扼之间的磁路中,所述极头的端部靠近所述样品承载组件的承载有被测物的位置。
7.如权利要求1所述的一种高低温磁光克尔检测设备,其特征在于:所述冷源组件、热源组件可以采用半导体制冷片。
8.如权利要求1所述的一种高低温磁光克尔检测设备,其特征在于:所述样品承载组件包括均热板、位移台,所述热源组件、冷源组件的其中至少之一与所述均热板导热连接;所述均热板被所述位移台承载并能够在所述位移台的作用下移动;被测物被承载于所述均热板。
9.如权利要求8所述的一种高低温磁光克尔检测设备,其特征在于:所述热源组件、冷源组件的其中至少之一设置于所述位移台与均热板之间。
10.如权利要求1所述的一种高低温磁光克尔检测设备,其特征在于:所述腔体与所述冷源组件间隔设置,所述腔体与所述冷源组件之间通过波纹管连接,所述腔体、冷源组件、波纹管形成密闭腔体。
...【技术特征摘要】
1.一种高低温磁光克尔检测设备,其特征在于:包括光学组件、样品承载组件、磁场发生组件、腔体,所述样品承载组件被构造成能够承托被测物的形式,所述样品承载组件设置于所述腔体内,所述磁场发生组件被构造成能够在被测物附近产生大体平行于被测物表面的磁场的形式,所述腔体设置有透光镜,所述光学组件包括光源、起偏器、检偏器、光接收装置,所述光源发出的光至少经所述起偏器、透光镜照射至被测物,被测物反射的光至少经过所述透光镜、检偏器进入所述光接收装置,所述光接收装置被构造成能够根据接收到的光输出相应信号的形式;所述样品承载组件上导热连接有冷源组件、热源组件的其中至少之一。
2.如权利要求1所述的一种高低温磁光克尔检测设备,其特征在于:所述光学组件还包括分光镜,所述光源发出的光经过所述起偏器、分光镜、透光镜照射至被测物;被测物反射的光经过所述透光镜、分光镜、检偏器并进入所述光接收装置。
3.如权利要求2所述的一种高低温磁光克尔检测设备,其特征在于:所述光学组件还包括物镜,所述分光镜与所述被测物之间的光路中设置有所述物镜。
4.如权利要求1所述的一种高低温磁光克尔检测设备,其特征在于:所述被测物的入射光与反射光之间成预设夹角。
5.如权利要求1所述的一种高低温磁光克尔检测设备,其特...
【专利技术属性】
技术研发人员:曹志强,蔡旭东,张学莹,
申请(专利权)人:致真精密仪器杭州有限公司,
类型:新型
国别省市:
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