【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜机，尤其涉及一种表面磁控溅射真空镀膜机。
技术介绍
1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发、磁控溅射、mbe分子束外延和pld激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，需要镀膜的被成为基片，镀的材料被成为靶材，基片与靶材同在真空腔中，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜，对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。
2、传统的磁控溅射真空镀膜机其自动化程度较低，一般为固定式夹具，上下料不便，下料时机械处于闲置状态，影响工件加工效率。
3、因此，有必要提供一种新的表面磁控溅射真空镀膜机解决上述技术问题。
技术实现思路
1、为解决传统的磁控溅射真空镀膜机上下料不便，影响工件加工效率的技术问题，本技术提供一种表面磁控溅射真空镀膜机。
2、本技术提供的表面磁控溅射真空镀膜机包括：底部安装有底座的真空镀膜机本体；配重块，所述配重块放置在所述真空镀膜机本体内；固定杆，所述固定杆固定安装在所述配重块的顶部，所述固定杆上设有多个排风口；多个支撑杆，多个所述支撑杆均固定安装在所述固定杆上；多个挂钩，多个所述挂钩分别安装在多个所述支撑杆上；调节组件，所述调节组件设置在所述真空镀膜机本体内，所述调节组件用于调节工件的磁控
3、优选的，所述调节组件包括转轴、保护壳、支撑筒、电机和锥齿轮，所述转轴转动安装在所述真空镀膜机本体上，所述保护壳固定安装在所述转轴的顶部，所述支撑筒固定安装在所述保护壳的顶部，所述电机固定安装在所述真空镀膜机本体的底部，两个所述锥齿轮分别固定安装在所述电机的输出轴和所述转轴上，两个所述锥齿轮相啮合。
4、优选的，所述保护壳内固定安装有气缸，所述气缸的输出杆上固定安装有限位块，所述限位块可延伸至所述支撑筒的顶部，所述配重块的底部设有限位口，多个所述限位块均延伸至所述限位口内。
5、优选的，所述真空镀膜机本体的一侧固定安装有风机和滤箱，所述风机的进风端与所述滤箱固定连接，所述风机的排风端固定安装有延伸至所述真空镀膜机本体内的排风管，所述排风管的排风端位于所述固定杆的正上方，所述排风管上设有阀门。
6、优选的，所述底座的顶部固定安装有两个电动导轨，两个所述电动导轨的移动件上均固定安装有同一个挡板，所述真空镀膜机本体上固定安装有可与所述挡板相接触的密封环，所述挡板上设有观察窗。
7、优选的，所述真空镀膜机本体内固定安装有限位环，所述支撑筒的底部镶嵌有多个滚珠，多个所述滚珠均可与所述限位环的顶部相接触。
8、优选的，所述真空镀膜机本体上固定安装有液压杆，所述液压杆的输出杆上转动安装有卡板，所述卡板可与所述挡板相接触。
9、与相关技术相比较，本技术提供的表面磁控溅射真空镀膜机具有如下有益效果：
10、本技术提供一种表面磁控溅射真空镀膜机：
11、1、通过配重块可以增加固定杆在真空镀膜机本体内的稳定性，通过挂钩配合支撑杆可以对不同大小的工件进行限位，便于后续的真空镀膜处理，同时配重块与真空镀膜机本体无固定连接关系，也便于工件的统一上下料，通过两个锥齿轮相配合，电机驱动转轴转动可以调节工件的角度，从而使工件镀膜的更为均匀，通过调节气缸的输出杆伸出长度使限位块延伸至限位口内可以增加配重块在真空镀膜机本体内的稳定性，防止配重块移位影响工件的稳定性；
12、2、通过风机派和排风管可以将新鲜空气排向固定杆，从而可以对固定杆进行降温，便于工作人员手持固定杆批量取出镀膜后的工件，通过滤箱可以对进入风机内的空气进行过滤，防止异物进入真空镀膜机本体内，通过电动导轨可以调节挡板的位置，使真空镀膜机本体处于封闭状态，便于后续真空镀膜机本体内能够保持真空状态，通过密封环可以防止漏气；
13、3、通过限位环可以对支撑筒进行支撑，增加支撑筒转动的稳定性，通过滚珠可以增加支撑筒转动的顺畅度，通过转动卡板使其抵触挡板，再使液压杆的输出杆回缩可以增加挡板抵触真空镀膜机本体的稳定性。
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1.一种表面磁控溅射真空镀膜机，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的表面磁控溅射真空镀膜机，其特征在于，所述调节组件包括转轴、保护壳、支撑筒、电机和锥齿轮，所述转轴转动安装在所述真空镀膜机本体上，所述保护壳固定安装在所述转轴的顶部，所述支撑筒固定安装在所述保护壳的顶部，所述电机固定安装在所述真空镀膜机本体的底部，两个所述锥齿轮分别固定安装在所述电机的输出轴和所述转轴上，两个所述锥齿轮相啮合。
3.根据权利要求2所述的表面磁控溅射真空镀膜机，其特征在于，所述保护壳内固定安装有气缸，所述气缸的输出杆上固定安装有限位块，所述限位块可延伸至所述支撑筒的顶部，所述配重块的底部设有限位口，多个所述限位块均延伸至所述限位口内。
4.根据权利要求1所述的表面磁控溅射真空镀膜机，其特征在于，所述真空镀膜机本体的一侧固定安装有风机和滤箱，所述风机的进风端与所述滤箱固定连接，所述风机的排风端固定安装有延伸至所述真空镀膜机本体内的排风管，所述排风管的排风端位于所述固定杆的正上方，所述排风管上设有阀门。
5.根据权利要求1所述的表面磁控溅射真空镀膜机
6.根据权利要求2所述的表面磁控溅射真空镀膜机，其特征在于，所述真空镀膜机本体内固定安装有限位环，所述支撑筒的底部镶嵌有多个滚珠，多个所述滚珠均可与所述限位环的顶部相接触。
7.根据权利要求5所述的表面磁控溅射真空镀膜机，其特征在于，所述真空镀膜机本体上固定安装有液压杆，所述液压杆的输出杆上转动安装有卡板，所述卡板可与所述挡板相接触。
...【技术特征摘要】
1.一种表面磁控溅射真空镀膜机，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的表面磁控溅射真空镀膜机，其特征在于，所述调节组件包括转轴、保护壳、支撑筒、电机和锥齿轮，所述转轴转动安装在所述真空镀膜机本体上，所述保护壳固定安装在所述转轴的顶部，所述支撑筒固定安装在所述保护壳的顶部，所述电机固定安装在所述真空镀膜机本体的底部，两个所述锥齿轮分别固定安装在所述电机的输出轴和所述转轴上，两个所述锥齿轮相啮合。
3.根据权利要求2所述的表面磁控溅射真空镀膜机，其特征在于，所述保护壳内固定安装有气缸，所述气缸的输出杆上固定安装有限位块，所述限位块可延伸至所述支撑筒的顶部，所述配重块的底部设有限位口，多个所述限位块均延伸至所述限位口内。
4.根据权利要求1所述的表面磁控溅射真空镀膜机，其特征在于，所述真空镀膜机本体的一侧固定安装有风机和滤箱...
【专利技术属性】
技术研发人员：宗武龙，胡枭，巴威，
申请(专利权)人：湖北仁齐科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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