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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及集成电路检测,尤其涉及一种气密封器件内部气体采集通用装置及方法。
技术介绍
1、气密封器件内部水汽、有害气氛导致器件失效是影响国内电子元器件使用可靠性的主要因素之一。为此,准确测定密封器件内部气体含量尤为重要,如何准确采集内部气体是测定密封器件内部气体含量的重要技术保证。
2、传统的气密封器件内部气氛含量采集方法为:将o型密封圈和被测件置于夹具的凹槽中,再通过测试设备的穿刺孔将气密封器件待测件与凹槽之间的间隙抽真空,最后将穿刺针刺破封装盖板,采样获取腔体内部气体。
3、然而传统方法需要根据被测件的封装形式定制专用夹具,增加了成本,影响了检测的时效性;另外,专用夹具需要一个放置器件的空腔,器件外壳与夹具均为金属或陶瓷类硬质材料,器件本身很难与夹具凹槽壁完全贴合,从而一定量的封装气体残留于空腔中,势必会影响气体检测的精度,特别是对于0.01cc小体积封装形式的气密封器件,难以准确测定其内部封装气体;另外,传统的夹具测试法只能对被测件中心穿刺,对于结构复杂的气密封器件,如果中心位置设置有内部元器件,势必中心穿刺方法会对被测件和穿刺针造成损伤,影响气体采集精度。
技术实现思路
1、本专利技术的一个目的是解决至少上述问题,并提供至少后面将说明的优点。
2、为实现上述目的和一些其他的目的,本专利技术采用如下技术方案:
3、一种气密封器件内部气体采集通用装置及方法,包括底座,所述底座下表面的四角均安装有减震脚垫;
4、还包
5、穿刺组件,其安装在所述底座一端的上方;
6、下密封组件,其安装在所述穿刺组件的上方;
7、被测件,其设置在所述下密封组件的上方。
8、单臂支架,其安装在所述底座另一端的上方,所述单臂支架上安装有螺纹杆,且螺纹杆与单臂支架螺纹连接,所述螺纹杆的上端安装有把手,所述把手的外壁上设置有防滑纹;
9、上密封组件,其安装在所述螺纹杆的下端
10、优选的是,下密封组件包括紧固件和接口件,所述紧固件的内部设置有螺纹孔,所述接口件下端的外壁上设置有外螺纹,所述接口件通过外螺纹与紧固件内的螺纹孔螺纹连接,所述紧固件的螺纹孔内设置有密封垫片,所述接口件和紧固件之间设置有密闭通道,所述被测件正面通过金属焊料与接口件焊接面实现熔融密封连接。
11、优选的是,穿刺组件包括法兰底座、穿刺座和法兰盖板,所述穿刺座设置在法兰底座的上端,所述法兰盖板安装在法兰底座的上方,所述穿刺座的上端安装有穿刺针,且经过所述接口件和紧固件形成的密闭通道刺入被测件中。
12、优选的是,法兰底座的四周均设置有法兰孔,且法兰孔设置有四个,所述法兰盖板的四周通过内六角螺丝与法兰底座上的法兰孔连接。
13、优选的是,被测件正面的中间位置和四周均设置有阻焊层膜,中间和四周所述阻焊层膜之间设置有焊接区。
14、优选的是,密封垫片直径与接口件的外螺纹直径相同。
15、优选的是,上密封组件包括加热块和垫块,所述垫块与被测件背面相适应,所述加热块的上的与螺纹杆的连接处安装有轴承,所述加热块上端的两侧均安装有导杆,且导杆的上端贯穿并延伸至单臂支架的上端。
16、优选的是,加热块的内部安装有电加热管,电加热管设置有两个,且电加热管与加热块之间设置有导热硅脂。
17、优选的是,垫块侧面设置有与被测件封装引线相适应的凹面或孔洞。
18、优选的是,一种气密封器件内部气体采集通用装置的使用方法,包括以下步骤:
19、步骤一:通过x射线检测系统对被测件内部结构进行识别,准确选择穿刺点;
20、步骤二:通过紫外线固化树脂方法在穿刺点周围设置阻焊层膜,并通过金属焊料将接口件与被测件正面密封连接,形成穿刺平面;
21、步骤三:将接口件的外螺纹通过密封垫片与紧固件的螺纹孔连接;
22、步骤四:将穿刺针装入穿刺座中,并通过内六角螺丝将法兰盖板、法兰底座和底座拧紧固定;
23、步骤五:旋转螺纹杆将垫块和被测件紧密压实;
24、步骤六:由测试设备将接口件、紧固件和穿刺座的密闭通道抽真空;
25、步骤七:由穿刺针刺破穿刺平面,进而采集被测件内部气体。
26、本专利技术至少包括以下有益效果:
27、本专利技术的装置结构简单灵活性强,摆脱了传统定制测试夹具的制约,另外采用熔融密封连接方式,使得接口件、紧固件和穿刺孔形成密封的气体采集通道,高效得实现了抽真空和气体采集,特别对于内部结构复杂的被测件可以灵活选择穿刺点,避免被测件内部器件和穿刺针的损伤,具有一定通用性。
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1.一种气密封器件内部气体采集通用装置,包括底座,所述底座下表面的四角均安装有减震脚垫;
2.如权利要求1所述的气密封器件内部气体采集通用装置,其特征在于,所述下密封组件包括紧固件和接口件,所述紧固件的内部设置有螺纹孔,所述接口件下端的外壁上设置有外螺纹,所述接口件通过外螺纹与紧固件内的螺纹孔螺纹连接,所述紧固件的螺纹孔内设置有密封垫片,所述接口件和紧固件之间设置有密闭通道,所述被测件正面通过金属焊料与接口件焊接面实现熔融密封连接。
3.如权利要求2所述的气密封器件内部气体采集通用装置,其特征在于,所述穿刺组件包括法兰底座、穿刺座和法兰盖板,所述穿刺座设置在法兰底座的上端,所述法兰盖板安装在法兰底座的上方,所述穿刺座的上端安装有穿刺针,且经过所述接口件和紧固件形成的密闭通道刺入被测件中。
4.如权利要求3所述的气密封器件内部气体采集通用装置,其特征在于,所述法兰底座的四周均设置有法兰孔,且法兰孔设置有四个,所述法兰盖板的四周通过内六角螺丝与法兰底座上的法兰孔连接。
5.如权利要求4所述的气密封器件内部气体采集通用装置,其特征在于,所
6.如权利要求5所述的气密封器件内部气体采集通用装置,其特征在于,所述密封垫片直径与接口件的外螺纹直径相同。
7.如权利要求6所述的气密封器件内部气体采集通用装置,其特征在于,所述上密封组件包括加热块和垫块,所述垫块与被测件背面相适应,所述加热块的上的与螺纹杆的连接处安装有轴承,所述加热块上端的两侧均安装有导杆,且导杆的上端贯穿并延伸至单臂支架的上端。
8.如权利要求7所述的气密封器件内部气体采集通用装置,其特征在于,所述加热块的内部安装有电加热管,电加热管设置有两个,且电加热管与加热块之间设置有导热硅脂。
9.如权利要求8所述的气密封器件内部气体采集通用装置,其特征在于,所述垫块侧面设置有与被测件封装引线相适应的凹面或孔洞。
10.一种气密封器件内部气体采集通用装置的使用方法,基于权利要求9所述的气密封器件内部气体采集通用装置实现,其特征在于,包括以下步骤:
...【技术特征摘要】
1.一种气密封器件内部气体采集通用装置,包括底座,所述底座下表面的四角均安装有减震脚垫;
2.如权利要求1所述的气密封器件内部气体采集通用装置,其特征在于,所述下密封组件包括紧固件和接口件,所述紧固件的内部设置有螺纹孔,所述接口件下端的外壁上设置有外螺纹,所述接口件通过外螺纹与紧固件内的螺纹孔螺纹连接,所述紧固件的螺纹孔内设置有密封垫片,所述接口件和紧固件之间设置有密闭通道,所述被测件正面通过金属焊料与接口件焊接面实现熔融密封连接。
3.如权利要求2所述的气密封器件内部气体采集通用装置,其特征在于,所述穿刺组件包括法兰底座、穿刺座和法兰盖板,所述穿刺座设置在法兰底座的上端,所述法兰盖板安装在法兰底座的上方,所述穿刺座的上端安装有穿刺针,且经过所述接口件和紧固件形成的密闭通道刺入被测件中。
4.如权利要求3所述的气密封器件内部气体采集通用装置,其特征在于,所述法兰底座的四周均设置有法兰孔,且法兰孔设置有四个,所述法兰盖板的四周通过内六角螺丝与法兰底座上的法兰孔连接。
5.如权利要求4所述的气密封器...
【专利技术属性】
技术研发人员:籍祥,周智伟,
申请(专利权)人:天航长鹰江苏科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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