一种适用于FAB的洁净空调系统技术方案

本技术提供一种适用于FAB的洁净空调系统，包括：空调机房，所述空调机房的内侧面设置有MAU直流式空调系统；回风夹道，所述回风夹道设置于所述空调机房的一侧，所述回风夹道的内侧面设置有下技术夹层。本技术提供的一种适用于FAB的洁净空调系统，此空调系统可提供较高的温湿度精度等级，取代了传统的空调DCC设备，减小了回风夹道面积的设置，以辐射换热为主的方式消除室内显热，内嵌管式围护结构以其结构的特殊性，增加了回风夹道的蓄冷能力，整个系统更加节能，温度采集器及压力传感器等部件的设置优化了空调的控制方式，使设计工况与实际运行工况完美匹配，此空调系统一定程度上解决了半导体工厂空调能耗巨大的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及空调系统，尤其涉及一种适用于fab的洁净空调系统。

技术介绍

1、fab对室内环境要求极高，包括温湿度、空气中颗粒数等，暖通系统在半导体厂房中尤其重要，其与工艺设备机台连动，洁净室温湿度达不到设计值时，机台将停机，将影响晶圆的生产。

2、目前，fab中洁净空调的主流做法为：采用mau+ffu+dcc的空调系统，此系统洁净生产区温湿度可独立控制，mau为直流式空调系统，为洁净室提供一定温湿度和洁净度的空气，保证室内正压，ffu对洁净室空气进一步净化，保证室内洁净度，dcc消除室内显热，负责精确调节洁净室室内温度，半导体厂房由于其行业的特殊性，冷指标较其他建筑厂房略高，通常，fab洁净空调冷指标约500w/m2，根据主工艺区建筑面积可估算出fab内总冷负荷，根据通过dcc的风速及两侧的温差，可算出对应单位面积dcc所负担的冷量，dcc一般设置在下技术夹层的truss层中，安装在回风夹道中，依靠dcc较大的换热面积以达到降低其气流温度的目的。

3、但是dcc所需的面积影响了回风夹道的设置，土建成本较高，另外，dcc设备一般较大，设备成本较高且依靠对流换热的换热方式并不节能，空调系统的能耗约占整个半导体厂能耗的30％-35％。

4、因此，有必要提供一种适用于fab的洁净空调系统解决上述技术问题。

技术实现思路

1、本技术提供一种适用于fab的洁净空调系统，解决了回风夹道面积较大，土建成本高和节能效果低的问题。

2、为解决上述技术问题，本技术提供的一种适用于fab的洁净空调系统，包括：

3、空调机房，所述空调机房的内侧面设置有mau直流式空调系统；

4、回风夹道，所述回风夹道设置于所述空调机房的一侧，所述回风夹道的内侧面设置有下技术夹层，所述下技术夹层的顶部设置有高架地板，所述高架地板的顶部设置有主工艺区，所述主工艺区的顶部设置有ffu高效过滤器；

5、上技术夹层，所述上技术夹层设置于所述下技术夹层的顶部；

6、内嵌式围护，所述内嵌式围护设置于所述下技术夹层的一侧，所述内嵌式包括第一水泥砂浆找平层、第一普通砖层、钢筋混凝土、第二普通砖层、第二水泥砂浆找平层、小孔洞和压力传感器，所述第一普通砖层设置于所述钢筋混凝土的左侧，所述第二普通砖层设置于所述钢筋混凝土的右侧，所述第一水泥砂浆找平层设置于所述普通砖层的左侧，所述第二水泥砂浆找平层设置于所述第二普通砖层的右侧，所述第一水泥砂浆找平层和所述第二水泥砂浆找平层的一侧均固定安装有压力传感器，所述小孔洞分别开设于所述第一水泥砂浆找平层、所述第一普通砖层、所述钢筋混凝土、所述第二普通砖层、所述第二水泥砂浆找平层、所述小孔洞和所述压力传感器的内部；

7、多个冷水管道，多个所述冷水管道均设置于所述钢筋混凝土的内部。

8、优选的，所述第一水泥砂浆找平层和所述第二水泥砂浆找平层的厚度均为二十毫米。

9、优选的，所述第一普通砖层和所述第二普通砖层的厚度均为四十毫米，所述钢筋混凝土的厚度为二百毫米。

10、优选的，多个所述冷水管道之间的间距为二百毫米。

11、优选的，所述空调机房的另一侧设置有固定框，所述固定框的内侧面固定安装有金属网。

12、优选的，所述固定框的顶部和底部均固定安装有侧板，所述侧板两端的内部均设置有安装螺栓。

13、优选的，所述安装螺栓的一端螺纹连接于所述空调机房一侧的内部。

14、与相关技术相比较，本技术提供的一种适用于fab的洁净空调系统具有如下有益效果：

15、本技术提供一种适用于fab的洁净空调系统，此空调系统可提供较高的温湿度精度等级，取代了传统的空调dcc设备，减小了回风夹道面积的设置，以辐射换热为主的方式消除室内显热，内嵌管式围护结构以其结构的特殊性，增加了回风夹道的蓄冷能力，整个系统更加节能，温度采集器及压力传感器等部件的设置优化了空调的控制方式，使设计工况与实际运行工况完美匹配，此空调系统一定程度上解决了半导体工厂空调能耗巨大的问题。

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【技术保护点】

1.一种适用于FAB的洁净空调系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种适用于FAB的洁净空调系统，其特征在于，所述第一水泥砂浆找平层和所述第二水泥砂浆找平层的厚度均为二十毫米。

3.根据权利要求1所述的一种适用于FAB的洁净空调系统，其特征在于，所述第一普通砖层和所述第二普通砖层的厚度均为四十毫米，所述钢筋混凝土的厚度为二百毫米。

4.根据权利要求1所述的一种适用于FAB的洁净空调系统，其特征在于，多个所述冷水管道之间的间距为二百毫米。

5.根据权利要求1所述的一种适用于FAB的洁净空调系统，其特征在于，所述空调机房的另一侧设置有固定框，所述固定框的内侧面固定安装有金属网。

6.根据权利要求5所述的一种适用于FAB的洁净空调系统，其特征在于，所述固定框的顶部和底部均固定安装有侧板，所述侧板两端的内部均设置有安装螺栓。

7.根据权利要求6所述的一种适用于FAB的洁净空调系统，其特征在于，所述安装螺栓的一端螺纹连接于所述空调机房一侧的内部。

【技术特征摘要】

1.一种适用于fab的洁净空调系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种适用于fab的洁净空调系统，其特征在于，所述第一水泥砂浆找平层和所述第二水泥砂浆找平层的厚度均为二十毫米。

3.根据权利要求1所述的一种适用于fab的洁净空调系统，其特征在于，所述第一普通砖层和所述第二普通砖层的厚度均为四十毫米，所述钢筋混凝土的厚度为二百毫米。

4.根据权利要求1所述的一种适用于fab的洁净空调系统，其特征在于，多个所述冷水管道...

【专利技术属性】
技术研发人员：王婕婕，刘文辉，徐文丰，高红晓，
申请(专利权)人：陕西电子芯业时代科技有限公司，
类型：新型
国别省市：