【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及光波导元件、使用光波导元件的光调制设备及光发送装置，特别涉及具有形成有光波导的基板、形成于该基板上的电极以及经由粘接剂固定于该基板上的固定部件的光波导元件。
技术介绍
1、在光测量
、光通信
中，多采用使用了铌酸锂（ln）等具有电光效应的基板的光调制器等光波导元件。这样的光波导元件大多具有用于在光波导基板上进行光调制的信号电极、各波导中的偏置调整用的电极，以微波的传播速度、阻抗等电气特性成为最佳的方式调整形状、电极间的间隙等。
2、这样的结构的光波导元件为了与光纤/透镜等安装用部件接合，而在电光基板的端面具备与该基板重叠配置的保持部件、用于对光波导的输出光及放射光进行监视的受光元件等经由粘接剂固定于电光基板上的固定部件。
3、在以往的课题之一中，存在如下情况：如图1或图2所示，在将固定部件（保持部件5、受光元件4）固定于电光基板1上时，粘接剂ad流入电极3之间，使电极间的介电常数变化，电气特性劣化，或者耐电压下降。在图1和图2中，在ln晶片基板上组装多个光波导元件，将各种固定部件粘接在基板上之后，在点划线a1、a2、b1~b3的位置切断，由此形成单独的光波导元件（芯片）。附图标记2表示光波导。
4、针对该课题，在专利文献1中，在光波导以及信号电极的输入部与保持部件的接合部位之间设置虚设电极，通过将虚设电极作为堤而防止粘接剂向信号电极流入。然而，在该方法中，虚设电极跨越光波导之上，产生该部分的光吸收损失，另外，在芯片切断时，切割锯的刀片切断虚设电极的金属形成部位，因此存
5、另外，在光波导元件中经由粘接剂而固定的输出光监视用的受光元件中，公开了如专利文献2那样在受光元件设置部位设置防止不需要的粘接剂流入而受光精度劣化的凸部。另外，还公开了在基板上形成槽而避免粘接剂扩展的结构。
6、在专利文献3中，出于保护受光元件不受不需要的声表面波的影响的目的，配置有以包围受光元件的方式由金等形成的保护图案。通过该保护图案，监视光的一部分也被吸收，受光元件难以得到充分的光强度。
7、另外，近年来，光波导元件要求小型化、宽频带化、低驱动电压化等。为了小型化，需要采用图1的芯片那样的折回波导2等而实现波导结构的微细化。伴随于此，调制所使用的各信号电极、输出光监视用受光元件等也不得不采取微细地密集的结构，以便能够配置在有限的元件面积内。由此，信号电极的输入输出部与各种固定部件的位置不得不接近，相比以往，粘接剂容易从电极间、保持部件5流入到受光元件4的设置部。
8、例如，从电极输入输出部、受光元件到保持部件粘接位置为止的距离与光的输入输出为单向的现有结构的调制器（图2的芯片）相比，在折返波导结构的光调制器中接近至1/5~1/7左右。在单向的现有产品的情况下，电极输入部与保持部件的距离约为6mm，受光元件与保持部件的距离约为0.4mm。在其采用折回波导的情况下，电极输入部与保持部件的距离约为1mm，受光元件与保持部件的距离约为0.2mm。
9、另外，越成为高频段，则流入信号电极的粘接剂对电气特性的不良影响越显著，因此在覆盖超过100 ghz那样的高频段的下一代的光波导元件中，由粘接剂的流入引起的电气特性恶化成为更严重的课题。
10、现有技术文献
11、专利文献
12、专利文献1：日本特开2005-43402号公报
13、专利文献2：日本专利第6414295号公报
14、专利文献3：日本特开2017-173353号公报
技术实现思路
1、专利技术所要解决的课题
2、本专利技术要解决的课题是解决上述那样的问题，提供一种光波导元件，其构成为在将固定部件粘接于基板上时避免粘接剂流入电极间等，并且也能抑制光波导的传播损失等。另外，提供使用该光波导元件的光调制器件和光发送装置。
3、用于解决课题的手段
4、为了解决上述课题，本专利技术的光波导元件、使用光波导元件的光调制设备及光发送装置具有以下的技术特征。
5、（1）一种光波导元件，具有：基板，形成有光波导；电极，形成在该基板上；及固定部件，经由粘接剂固定在该基板上，其特征在于，在该固定部件与该电极之间和该固定部件与其他固定部件之间中的至少一方配置有向该基板上方突出的结构体，该结构体以将该基板的上表面分为两个区域的方式连续地配置，并且，在该结构体的中途或该结构体与该基板的端部之间设置将所述两个区域连接的狭缝。
6、（2）在上述（1）所述的光波导元件中，其特征在于，设置于所述结构体的中途的狭缝的开口宽度设定为3μm以上且10μm以下的范围。
7、（3）在上述（1）所述的光波导元件中，其特征在于，设置于所述结构体与基板的端部之间的狭缝的开口宽度为10μm以下。
8、（4）在上述（1）所述的光波导元件中，其特征在于，该狭缝的将所述两个区域连接的长度为10μm以上。
9、（5）在上述（1）所述的光波导元件中，其特征在于，该结构体的与延伸的方向垂直的截面形状中，该结构体的高度与该结构体的底边的长度之比小于3。
10、（6）在上述（1）至（5）中任一项所述的光波导元件中，其特征在于，构成该结构体的材料是与该电极相同的材料或临界表面张力小于100dyn/cm的材料。
11、（7）在上述（1）至（6）中任一项所述的光波导元件中，其特征在于，在该基板上从该固定部件到该结构体为止的区域的面积与该结构体的高度之积为该基板和该固定部件接合的接合部分的面积与该粘接剂的接合部分的厚度之积的三分之一以上。
12、（8）一种光调制器件，其特征在于，上述（1）至（7）中任一项所述的光波导元件收纳于壳体内，该光调制器件具备相对于该光波导输入或输出光波的光纤。
13、（9）在上述（8）所述的光调制器件中，其特征在于，该光波导元件具备用于对在该光波导中传播的光波进行调制的调制电极，在该壳体的内部具有对向该光波导元件的调制电极输入的调制信号进行放大的电子电路。
14、（10）一种光发送装置，其特征在于，具有上述（8）或（9）所述的光调制器件及输出使该光调制器件进行调制动作的调制信号的电子电路。
15、专利技术效果
16、本专利技术提供一种光波导元件，具有：基板，形成有光波导；电极，形成在该基板上；及固定部件，经由粘接剂固定在该基板上，其中，在该固定部件与该电极之间和该固定部件与其他固定部件之间中的至少一方配置有向该基板上方突出的结构体，该结构体以将该基板的上表面分为两个区域的方式连续地配置，并且，在该结构体的中途或该结构体与该基板的端部之间设置将所述两个区域连接的狭缝，因此能够抑制在固定部件中使用的粘接剂流入至电极、其他固定部件。
17、进而，通过将狭缝设置在形成有光波导的结构体的中途，能够抑制光波导的传播损失，通过将狭缝设置在结构体与基板的端部之间，在切断本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种光波导元件，具有：基板，形成有光波导；电极，形成在该基板上；及固定部件，经由粘接剂固定在该基板上，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的光波导元件，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的光波导元件，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的光波导元件，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的光波导元件，其特征在于，
6.根据权利要求1至5中任一项所述的光波导元件，其特征在于，
7.根据权利要求1至6中任一项所述的光波导元件，其特征在于，
8.一种光调制器件，其特征在于，
9.根据权利要求8所述的光调制器件，其特征在于，
10.一种光发送装置，其特征在于，
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种光波导元件，具有：基板，形成有光波导；电极，形成在该基板上；及固定部件，经由粘接剂固定在该基板上，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的光波导元件，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的光波导元件，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的光波导元件，其特征在于，
5.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员：钉本有纪，村田祐美，
申请(专利权)人：住友大阪水泥股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。