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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空镀膜,尤其涉及一种用于af膜的蒸发镀膜装置。
技术介绍
1、真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材,使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成镀膜的一种方法。
2、防污膜(af膜)作为一种目前常用的镀膜材料,被广泛应用于触摸屏和镜头等光电元件中,防污膜需要采用价格昂贵的af原液药材进行蒸发镀膜,一般在af药材蒸镀完毕后,需要人工向蒸发源内添加,这种方式不仅费时费力,影响生产效率,并且加药精度难以把控;此外,af原液药材黏度较大,易在加药口残留,这样不仅造成原材料的浪费,还不利于药材的定量添加。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题是克服现有技术的不足,提供一种提高生产效率、加药定量精准、降低成本的用于af膜的蒸发镀膜装置。
2、为解决上述技术问题,本专利技术采用以下技术方案:
3、一种用于af膜的蒸发镀膜装置,包括安装架,所述安装架一侧安装有多组间隔布置的af液蒸发机构,所述安装架另一侧安装有与af液蒸发机构数量匹配的挤液机构,安装架在该侧还安装有储液装置,所述储液装置的出液端与各挤液机构的进液端连接,各挤液机构的出液端与对应的af液蒸发机构连接。
4、作为上述技术方案的进一步改进:
5、所述af液蒸发机构上设置有与挤液机构出液端连接的滴液组件,所述滴液组件包括石墨管和绝缘环,所述挤液机构的出液端连接在石墨管内,所述绝缘环包绕在石墨管外周。
6、所述安装架包括架体和
7、所述安装腔内设置有用于安装各af液蒸发机构并连接电极箱与各af液蒸发机构的导电组件。
8、所述导电组件包括两导电棒和两导电板,两所述导电棒上于高度方向间隔布置有与af液蒸发机构数量匹配的导电安装座,各所述af液蒸发机构安装在对应两导电安装座上,两所述导电板分别连接在两导电棒与电极箱之间。
9、所述电极箱上设置有与两导电棒对应的电极棒,两所述导电板中一导电板连接在一导电棒下端与对应电极棒之间,另一导电板连接在另一导电棒上端与对应电极棒之间。
10、所述af液蒸发机构包括蒸发舟,所述蒸发舟两侧成型有连接板,所述连接板与导电安装座固定连接。
11、所述滴液组件包括石墨管和绝缘环,所述挤液机构的出液端连接在石墨管内,所述绝缘环包绕在石墨管外周。
12、所述挤液机构包括安装座、注射泵和两电磁阀,所述安装座固装在安装腔背侧,所述注射泵和两电磁阀固装在安装座上,两所述电磁阀中一电磁阀的进液端与储液装置的出液端连接、其出液端与注射泵的进液端连接,另一电磁阀的进液端与注射泵的出液端连接、其出液端与石墨管连接。
13、所述储液装置包括承载架和药液瓶,所述承载架固装在安装腔背侧,所述药液瓶设置在承载架内并分别与相应的电磁阀的进液端连接。
14、所述安装腔内设置有挡板。
15、所述安装腔内的腔壁上布设有多个用于安装挡板的安装台,所述挡板可拆卸地连接在安装台上。
16、与现有技术相比,本专利技术的优点在于:
17、本专利技术的用于af膜的蒸发镀膜装置,通过设置多组af液蒸发机构及对应的挤液机构进行间歇式蒸镀生产,相比人工进行药材添加而言,加药定量精准、省时省力、实现了连续生产、提高了生产效率,并且通过挤液机构进行挤液添加,减少af液在出液端的残留,降低af液损耗、降低成本,并且加药过程中不会破坏真空腔室的真空环境,避免af液与空气接触后堵塞挤液机构的出液端。
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1.一种用于AF膜的蒸发镀膜装置,其特征在于:包括安装架(1),所述安装架(1)一侧安装有多组间隔布置的AF液蒸发机构(2),所述安装架(1)另一侧安装有与AF液蒸发机构(2)数量匹配的挤液机构(3),安装架(1)在该侧还安装有储液装置(4),所述储液装置(4)的出液端与各挤液机构(3)的进液端连接,各挤液机构(3)的出液端与对应的AF液蒸发机构(2)连接。
2.根据权利要求1所述的用于AF膜的蒸发镀膜装置,其特征在于:所述AF液蒸发机构(2)上设置有与挤液机构(3)出液端连接的滴液组件(212),所述滴液组件(212)包括石墨管(2121)和绝缘环(2122),所述挤液机构(3)的出液端连接在石墨管(2121)内,所述绝缘环(2122)包绕在石墨管(2121)外周。
3.根据权利要求2所述的用于AF膜的蒸发镀膜装置,其特征在于:所述安装架(1)包括架体(11)和安装腔(12),所述架体(11)底部设置有电极箱(5),各所述AF液蒸发机构(2)布置在安装腔(12)内并与电极箱(5)电连接。
4.根据权利要求3所述的用于AF膜的蒸发镀膜装置,其特
5.根据权利要求4所述的用于AF膜的蒸发镀膜装置,其特征在于:所述导电组件(6)包括两导电棒(61)和两导电板(62),两所述导电棒(61)上于高度方向间隔布置有与AF液蒸发机构(2)数量匹配的导电安装座(611),各所述AF液蒸发机构(2)安装在对应两导电安装座(611)上,两所述导电板(62)分别连接在两导电棒(61)与电极箱(5)之间。
6.根据权利要求5所述的用于AF膜的蒸发镀膜装置,其特征在于:所述电极箱(5)上设置有与两导电棒(61)对应的电极棒(51),两所述导电板(62)中一导电板(62)连接在一导电棒(61)下端与对应电极棒(51)之间,另一导电板(62)连接在另一导电棒(61)上端与对应电极棒(51)之间。
7.根据权利要求6所述的用于AF膜的蒸发镀膜装置,其特征在于:所述AF液蒸发机构(2)包括蒸发舟(21),所述蒸发舟(21)两侧成型有连接板(211),所述连接板(211)与导电安装座(611)固定连接。
8.根据权利要求7所述的用于AF膜的蒸发镀膜装置,其特征在于:所述挤液机构(3)包括安装座(31)、注射泵(32)和两电磁阀(33),所述安装座(31)固装在安装腔(12)背侧,所述注射泵(32)和两电磁阀(33)固装在安装座(31)上,两所述电磁阀(33)中一电磁阀(33)的进液端与储液装置(4)的出液端连接、其出液端与注射泵(32)的进液端连接,另一电磁阀(33)的进液端与注射泵(32)的出液端连接、其出液端与石墨管(2121)连接。
9.根据权利要求8所述的用于AF膜的蒸发镀膜装置,其特征在于:所述储液装置(4)包括承载架(41)和药液瓶(42),所述承载架(41)固装在安装腔(12)背侧,所述药液瓶(42)设置在承载架(41)内并分别与相应的电磁阀(33)的进液端连接。
10.根据权利要求3至9中任一项所述的用于AF膜的蒸发镀膜装置,其特征在于:所述安装腔(12)内设置有挡板(121)。
11.根据权利要求10所述的用于AF膜的蒸发镀膜装置,其特征在于:所述安装腔(12)内的腔壁上布设有多个用于安装挡板(121)的安装台(122),所述挡板(121)可拆卸地连接在安装台(122)上。
...【技术特征摘要】
1.一种用于af膜的蒸发镀膜装置,其特征在于:包括安装架(1),所述安装架(1)一侧安装有多组间隔布置的af液蒸发机构(2),所述安装架(1)另一侧安装有与af液蒸发机构(2)数量匹配的挤液机构(3),安装架(1)在该侧还安装有储液装置(4),所述储液装置(4)的出液端与各挤液机构(3)的进液端连接,各挤液机构(3)的出液端与对应的af液蒸发机构(2)连接。
2.根据权利要求1所述的用于af膜的蒸发镀膜装置,其特征在于:所述af液蒸发机构(2)上设置有与挤液机构(3)出液端连接的滴液组件(212),所述滴液组件(212)包括石墨管(2121)和绝缘环(2122),所述挤液机构(3)的出液端连接在石墨管(2121)内,所述绝缘环(2122)包绕在石墨管(2121)外周。
3.根据权利要求2所述的用于af膜的蒸发镀膜装置,其特征在于:所述安装架(1)包括架体(11)和安装腔(12),所述架体(11)底部设置有电极箱(5),各所述af液蒸发机构(2)布置在安装腔(12)内并与电极箱(5)电连接。
4.根据权利要求3所述的用于af膜的蒸发镀膜装置,其特征在于:所述安装腔(12)内设置有用于安装各af液蒸发机构(2)并连接电极箱(5)与各af液蒸发机构(2)的导电组件(6)。
5.根据权利要求4所述的用于af膜的蒸发镀膜装置,其特征在于:所述导电组件(6)包括两导电棒(61)和两导电板(62),两所述导电棒(61)上于高度方向间隔布置有与af液蒸发机构(2)数量匹配的导电安装座(611),各所述af液蒸发机构(2)安装在对应两导电安装座(611)上,两所述导电板(62)分别连接在两导电棒(61)与电极箱(5)之间。
6.根据权利要求5所述的用于af膜的...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄乐,祝海生,唐莲,唐洪波,刘柏桢,左莉,
申请(专利权)人:湘潭宏大真空技术股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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