半导体籽晶清洗机自烘干组件制造技术

技术编号:42998357 阅读:15 留言:0更新日期:2024-10-15 13:26
本技术涉及半导体籽晶加工技术领域,公开了半导体籽晶清洗机自烘干组件,包括柜体,柜体内设有清洗机构,清洗机构包括呈对称状分布的多组卡座,相对卡座之间设有料框,料框上部及下部均设有多组冲洗管,且每个冲洗管上均设有若干冲洗头,冲洗管一端设有冲洗管带轮,柜体顶部设有电机,电机输出端设有主带轮,主带轮相邻一侧设置有副带轮,主带轮、副带轮以及冲洗管带轮之间均通过皮带相连,冲洗管通过旋转接头连接有供水管。电机驱动主带轮转动,协同副带轮与冲洗管带轮,经由皮带传动,实现多个冲洗管的同步转动。冲洗管上搭载的诸多冲洗头,可对上下部料框内的半导体籽晶进行全面清洗,从而提升清洗效果及效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体籽晶加工,具体为半导体籽晶清洗机自烘干组件


技术介绍

1、半导体籽晶,又称半导体晶体种子,是半导体材料生长过程中至关重要的一环,半导体籽晶的质量直接影响到最终半导体材料的性能。在我国,半导体产业近年来得到了迅猛发展,籽晶技术也取得了显著成果。

2、在半导体籽晶的加工过程中,表面清洗烘干环节显得尤为重要。当前市场上的清洗烘干方法多为分开式操作,这种方式存在效率不高、清洗及烘干效果不佳等问题。

3、因此,基于上述技术问题,本领域的技术人员有必要研发半导体籽晶清洗机自烘干组件。


技术实现思路

1、本技术目的是提供半导体籽晶清洗机自烘干组件,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:

3、半导体籽晶清洗机自烘干组件技术方案,包括柜体,所述柜体内设有清洗机构,所述清洗机构包括呈对称状分布的多组卡座,相对卡座之间设有料框,所述料框上部及下部均设有多组冲洗管,且每个所述冲洗管上均设有若干冲洗头,所述冲洗管一端设有冲洗管带轮,所述柜体顶部设有电机,所述电机输出端设有主带轮,所述主带轮相邻一侧设置有副带轮,所述主带轮、副带轮以及冲洗管带轮之间均通过皮带相连,所述冲洗管通过旋转接头连接有供水管。

4、作为一种优选的技术方案,所述冲洗管外套设有轴承,且轴承与柜体相连。

5、作为一种优选的技术方案,所述柜体正面设有柜门,且柜门相邻一侧设置有控制面板,所述柜体底部设有滚轮。

<p>6、作为一种优选的技术方案,所述柜体内设有烘干组件,所述烘干组件包括烘干风机,所述烘干风机输出端设有风罩,所述风罩底部设有风管,所述风管尾端连通设有热源盒,所述热源盒内设有发热翅片,所述热源盒上背面设有若干风孔,所述热源盒正面设有盖板。

7、作为一种优选的技术方案,所述控制面板与发热翅片、烘干风机以及电机电性连接。

8、与现有技术相比,本技术的有益效果是:

9、通过设置的冲洗组件,电机驱动主带轮转动,协同副带轮与冲洗管带轮,经由皮带传动,实现多个冲洗管的同步转动。冲洗管上搭载的诸多冲洗头,可对上下部料框内的半导体籽晶进行全面清洗,从而提升清洗效果及效率。

10、通过设置的烘干组件,在清洗结束后,通过料框对半导体籽晶进行沥水处理。接着启动烘干风机,将热风输送至热源盒内。热源盒内的发热翅片随之启动发热,热风通过风孔排出。从而实现对柜体内半导体籽晶的快速烘干,提升烘干效率。

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【技术保护点】

1.半导体籽晶清洗机自烘干组件,其特征在于:包括柜体(1),所述柜体(1)内设有清洗机构,所述清洗机构包括呈对称状分布的多组卡座(21),相对卡座(21)之间设有料框(22),所述料框(22)上部及下部均设有多组冲洗管(35),且每个所述冲洗管(35)上均设有若干冲洗头(351),所述冲洗管(35)一端设有冲洗管带轮(34),所述柜体(1)顶部设有电机(31),所述电机(31)输出端设有主带轮(32),所述主带轮(32)相邻一侧设置有副带轮(33),所述主带轮(32)、副带轮(33)以及冲洗管带轮(34)之间均通过皮带(37)相连,所述冲洗管(35)通过旋转接头连接有供水管。

2.根据权利要求1所述的半导体籽晶清洗机自烘干组件,其特征在于:所述冲洗管(35)外套设有轴承(36),且轴承(36)与柜体(1)相连。

3.根据权利要求1所述的半导体籽晶清洗机自烘干组件,其特征在于:所述柜体(1)正面设有柜门(11),且柜门(11)相邻一侧设置有控制面板(12),所述柜体(1)底部设有滚轮(13)。

4.根据权利要求3所述的半导体籽晶清洗机自烘干组件,其特征在于:所述柜体(1)内设有烘干组件,所述烘干组件包括烘干风机(41),所述烘干风机(41)输出端设有风罩(42),所述风罩(42)底部设有风管(43),所述风管(43)尾端连通设有热源盒(44),所述热源盒(44)内设有发热翅片(45),所述热源盒(44)上背面设有若干风孔(441),所述热源盒(44)正面设有盖板(46)。

5.根据权利要求4所述的半导体籽晶清洗机自烘干组件,其特征在于:所述控制面板(12)与发热翅片(45)、烘干风机(41)以及电机(31)电性连接。

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【技术特征摘要】

1.半导体籽晶清洗机自烘干组件,其特征在于:包括柜体(1),所述柜体(1)内设有清洗机构,所述清洗机构包括呈对称状分布的多组卡座(21),相对卡座(21)之间设有料框(22),所述料框(22)上部及下部均设有多组冲洗管(35),且每个所述冲洗管(35)上均设有若干冲洗头(351),所述冲洗管(35)一端设有冲洗管带轮(34),所述柜体(1)顶部设有电机(31),所述电机(31)输出端设有主带轮(32),所述主带轮(32)相邻一侧设置有副带轮(33),所述主带轮(32)、副带轮(33)以及冲洗管带轮(34)之间均通过皮带(37)相连,所述冲洗管(35)通过旋转接头连接有供水管。

2.根据权利要求1所述的半导体籽晶清洗机自烘干组件,其特征在于:所述冲洗管(35)外套设有轴承(36),且轴承(36)与柜体(1)相连。

【专利技术属性】
技术研发人员:刘斌
申请(专利权)人:内蒙古百环半导体有限公司
类型:新型
国别省市:

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