【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体籽晶加工,具体为半导体籽晶清洗机自烘干组件。
技术介绍
1、半导体籽晶,又称半导体晶体种子,是半导体材料生长过程中至关重要的一环,半导体籽晶的质量直接影响到最终半导体材料的性能。在我国,半导体产业近年来得到了迅猛发展,籽晶技术也取得了显著成果。
2、在半导体籽晶的加工过程中,表面清洗烘干环节显得尤为重要。当前市场上的清洗烘干方法多为分开式操作,这种方式存在效率不高、清洗及烘干效果不佳等问题。
3、因此,基于上述技术问题,本领域的技术人员有必要研发半导体籽晶清洗机自烘干组件。
技术实现思路
1、本技术目的是提供半导体籽晶清洗机自烘干组件,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:
3、半导体籽晶清洗机自烘干组件技术方案,包括柜体,所述柜体内设有清洗机构,所述清洗机构包括呈对称状分布的多组卡座,相对卡座之间设有料框,所述料框上部及下部均设有多组冲洗管,且每个所述冲洗管上均设有若干冲洗头,所述冲洗管一端设有冲洗管带轮,所述柜体顶部设有电机,所述电机输出端设有主带轮,所述主带轮相邻一侧设置有副带轮,所述主带轮、副带轮以及冲洗管带轮之间均通过皮带相连,所述冲洗管通过旋转接头连接有供水管。
4、作为一种优选的技术方案,所述冲洗管外套设有轴承,且轴承与柜体相连。
5、作为一种优选的技术方案,所述柜体正面设有柜门,且柜门相邻一侧设置有控制面板,所述柜体底部设有滚轮。
< ...【技术保护点】
1.半导体籽晶清洗机自烘干组件,其特征在于:包括柜体(1),所述柜体(1)内设有清洗机构,所述清洗机构包括呈对称状分布的多组卡座(21),相对卡座(21)之间设有料框(22),所述料框(22)上部及下部均设有多组冲洗管(35),且每个所述冲洗管(35)上均设有若干冲洗头(351),所述冲洗管(35)一端设有冲洗管带轮(34),所述柜体(1)顶部设有电机(31),所述电机(31)输出端设有主带轮(32),所述主带轮(32)相邻一侧设置有副带轮(33),所述主带轮(32)、副带轮(33)以及冲洗管带轮(34)之间均通过皮带(37)相连,所述冲洗管(35)通过旋转接头连接有供水管。
2.根据权利要求1所述的半导体籽晶清洗机自烘干组件,其特征在于:所述冲洗管(35)外套设有轴承(36),且轴承(36)与柜体(1)相连。
3.根据权利要求1所述的半导体籽晶清洗机自烘干组件,其特征在于:所述柜体(1)正面设有柜门(11),且柜门(11)相邻一侧设置有控制面板(12),所述柜体(1)底部设有滚轮(13)。
4.根据权利要求3所述的半导体籽晶清洗机自烘干组件,
5.根据权利要求4所述的半导体籽晶清洗机自烘干组件,其特征在于:所述控制面板(12)与发热翅片(45)、烘干风机(41)以及电机(31)电性连接。
...【技术特征摘要】
1.半导体籽晶清洗机自烘干组件,其特征在于:包括柜体(1),所述柜体(1)内设有清洗机构,所述清洗机构包括呈对称状分布的多组卡座(21),相对卡座(21)之间设有料框(22),所述料框(22)上部及下部均设有多组冲洗管(35),且每个所述冲洗管(35)上均设有若干冲洗头(351),所述冲洗管(35)一端设有冲洗管带轮(34),所述柜体(1)顶部设有电机(31),所述电机(31)输出端设有主带轮(32),所述主带轮(32)相邻一侧设置有副带轮(33),所述主带轮(32)、副带轮(33)以及冲洗管带轮(34)之间均通过皮带(37)相连,所述冲洗管(35)通过旋转接头连接有供水管。
2.根据权利要求1所述的半导体籽晶清洗机自烘干组件,其特征在于:所述冲洗管(35)外套设有轴承(36),且轴承(36)与柜体(1)相连。
【专利技术属性】
技术研发人员:刘斌,
申请(专利权)人:内蒙古百环半导体有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。