【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体生产设备领域，尤其涉及一种多尺寸晶圆冲洗及甩干一体机。
技术介绍
1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，在晶圆表面可加工制作各种电路结构以形成具有特定电性功能的电子元器件产品。晶圆在各个制程处理过程中，由于与各种有机物、粒子及金属杂质等污染物接触，导致污染物附着在晶圆上，因此需要对其进行清洗。湿法清洗为晶圆清洗工艺中较为常见的清洗方式，清洗完成的晶圆需要对其进行干燥，晶圆甩干机是晶圆干燥步骤中可选择的一种甩干设备。
2、公开号为cn117588906a的中国专利公开了一种晶圆甩干机，其包括机架，机架上设置有用于转动晶圆的转动装置，转动装置的顶部设置有盖子，机架上设置有用于开闭盖子的开闭盖机构，转动装置上设置有用于承载晶圆的承载盒，机架上设置有用于使承载盒进行翻转的翻转机构。
3、晶圆清洗完成后需要转移至甩干机中进行甩干步骤，由于晶圆清洗过程中所使用的例如去离子水等清洗药品存在一定的腐蚀性，在将晶圆转移至甩干机内的过程中部分残留于晶圆表面的去离子水可能发生干涸并形成水印，而形成水印的晶圆经过上述现有技术中所公开的晶圆甩干机进行甩干后，水印仍然存在于晶圆表面无法被去除，影响最终的成品元器件的性能，并且，上述现有技术所公开电镀晶圆甩干机仅适用于一种尺寸的晶圆清洗，存在适用性较低的问题。
4、有鉴于此，有必要对现有技术中的晶圆甩干机予以改进，以解决上述问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于揭示一种多尺寸晶圆冲洗及甩干一
2、为实现上述目的，本专利技术提供了一种多尺寸晶圆冲洗及甩干一体机，包括：箱体，所述箱体开设甩干室，所述甩干室内设置甩干组件，所述甩干组件包括驱动装置和驱动座，所述驱动座内分布不少于两组的容纳盒；
3、多组所述容纳盒分别用于容纳盛放两种不同尺寸晶圆的晶圆花篮，所述驱动装置的驱动端驱使所述驱动座带动容纳盒和晶圆花篮转动以甩干晶圆，所述容纳盒通过摆动机构改变在甩干室内的状态，所述摆动机构推动所述容纳盒转动至具有的开口平行于驱动座的径向向上以接送晶圆花篮；
4、所述箱体通过翻转机构连接盖体，所述盖体连接烘干管道和喷淋管道，所述翻转机构驱使所述盖体扣合于所述甩干室上方，所述喷淋管道向甩干室内通入冲洗药品以冲洗晶圆表面，所述烘干管道向甩干室内通入烘干气体以烘干晶圆表面。
5、作为本专利技术的进一步改进，所述甩干室内设置液体容纳腔，所述驱动座设于液体容纳腔内并与所述液体容纳腔同心设置，所述驱动座具有安装板，所述驱动装置的驱动端穿过所述液体容纳腔的底壁后与安装板同轴固定，所述驱动装置设置为驱动电机并且固接于液体容纳腔的下表面；
6、所述驱动座还具有与安装板同轴设置的安装环，所述安装环设于安装板上方，所述安装环与安装板之间垂直固定多组安装座，每组所述安装座转动连接一容纳盒；
7、所述容纳盒长度方向两侧连接一受力组件，所述受力组件包括转轴和受力件，所述转轴穿过安装座后连接所述受力件，所述摆动机构推动所述受力件以容纳盒以转轴为轴相对于安装座转动。
8、作为本专利技术的进一步改进，所述摆动机构具有齿条、齿轮以及施力轮，所述甩干室的内壁固接承托座，所述齿条设于承托座上方，所述齿轮与齿条相互啮合，所述齿轮同轴固定施力杆，所述施力杆穿入所述液体容纳腔后连接所述施力轮的圆心，驱使所述齿条沿承托座的长度方向位移驱使所述齿轮转动，进而使得所述施力杆带动施力轮推动所述受力件上升以使转轴带动所述容纳盒盛放晶圆花篮一侧转动至平行于安装板的径向向上的位置。
9、作为本专利技术的进一步改进，所述容纳盒设置有四个，所述安装座于所述安装板表面均布四组，四个所述容纳盒包括两个第一盒体和两个第二盒体，两个所述第一盒体以所述安装板的直径为轴对称分布于两个安装座内，两个所述第二盒体以所述安装板的另一直径为轴对称分布于两个安装座内，所述第一盒体和第二盒体分别盛放两种尺寸的晶圆花篮；
10、所述安装座包括第一连接板和第二连接板，所述第一连接板和第二连接板均垂直固定于安装环和安装板之间，所述第一连接板与第二连接板之间位于第一盒体或第二盒体所具有的转轴下方垂直固定连杆；
11、所述甩干室内设置定位组件，所述摆动机构设置为两组，所述定位组件控制所述驱动装置和安装板停止转动以使两组所述摆动机构所具有的施力轮同时向两个第一盒体或第二盒体所具有的受力件施加推力。
12、作为本专利技术的进一步改进，所述定位组件包括限位板和控制气缸，所述限位板与驱动装置的驱动端同轴固定，所述限位板的侧壁均布四个定位槽，所述控制气缸的驱动端连接限位块，所述控制气缸驱使所述限位块伸出并插入限位槽内以使所述安装板停止转动。
13、作为本专利技术的进一步改进，所述盖体内同心分布第一导流环和第二导流环，所述第一导流环和第二导流环的顶端和底端与盖体的顶壁和底壁固接并围成流体腔室，所述盖体的侧壁连接进气管和进液管，所述进气管和进液管穿过所述盖体的侧壁后连接至所述第一导流环并与所述流体腔室连通；
14、所述烘干管道和喷淋管道所具有的接口均固接于第二导流环处并与流体腔室连通，液体药品和烘干气体分别由进气管和进液管进入所述流体腔室后再经由所述喷淋管道和烘干管道进入甩干室内。
15、作为本专利技术的进一步改进，所述第二导流环远离第一导流环一侧与盖体的顶壁围成环形腔室，所述喷淋管道垂直于所述环形腔室的轴线设置，所述盖体扣合于甩干室上方状态下所述喷淋管道垂直于所述安装板的圆心设置；
16、所述盖体的顶面固接安装盒，所述安装盒内设有驱使所述喷淋管道在若干容纳盒之间升降的驱动气缸，所述第二导流环固接第一管体，所述喷淋管道位于盖体内一端连接进液口，所述进液口与第一管体之间通过软管连通。
17、作为本专利技术的进一步改进，所述烘干管道沿平行于盖体的顶壁所在平面的方向设置于环形腔室内，所述烘干管道的进气端固接于第二导流环处并与流体腔室连通，所述液体容纳腔的顶端由甩干室的顶部开口处伸出，所述盖体扣合状态下所述液体容纳腔的外壁与所述环形腔室的周缘贴合。
18、作为本专利技术的进一步改进，所述箱体的侧壁连接废气腔，所述液体容纳腔通过流体通道连通至废气腔，所述流体通道具有坡度并且所述流体通道连接废气腔一端的高度低于连接液体容纳腔一端的高度；
19、所述流体通道的底壁连通过滤箱，所述过滤箱内安装滤板，所述甩干室内设有导流箱，所述导流箱通过导流管与过滤箱连通，所述导流箱连接出液管，所述出液管由箱体的侧壁穿出。
20、作为本专利技术的进一步改进，所述翻转机构包括翻转气缸和转动组件，所述转动组件包括固定座、连接座和旋转轴，所述固定座设有两组并固接于箱体的顶面，所述旋转轴穿设于两个固定座之间，所述连接座固接于所述盖体的侧壁并且所述连接座与旋转轴转动连接；本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种多尺寸晶圆冲洗及甩干一体机，其特征在于，包括：箱体，所述箱体开设甩干室，所述甩干室内设置甩干组件，所述甩干组件包括驱动装置和驱动座，所述驱动座内分布不少于两组的容纳盒；
2.根据权利要求1所述的多尺寸晶圆冲洗及甩干一体机，其特征在于，所述甩干室内设置液体容纳腔，所述驱动座设于液体容纳腔内并与所述液体容纳腔同心设置，所述驱动座具有安装板，所述驱动装置的驱动端穿过所述液体容纳腔的底壁后与安装板同轴固定，所述驱动装置设置为驱动电机并且固接于液体容纳腔的下表面；
3.根据权利要求2所述的多尺寸晶圆冲洗及甩干一体机，其特征在于，所述摆动机构具有齿条、齿轮以及施力轮，所述甩干室的内壁固接承托座，所述齿条设于承托座上方，所述齿轮与齿条相互啮合，所述齿轮同轴固定施力杆，所述施力杆穿入所述液体容纳腔后连接所述施力轮的圆心，驱使所述齿条沿承托座的长度方向位移驱使所述齿轮转动，进而使得所述施力杆带动施力轮推动所述受力件上升以使转轴带动所述容纳盒盛放晶圆花篮一侧转动至平行于安装板的径向向上的位置。
4.根据权利要求3所述的多尺寸晶圆冲洗及甩干一体机，其特征在于
5.根据权利要求4所述的多尺寸晶圆冲洗及甩干一体机，其特征在于，所述定位组件包括限位板和控制气缸，所述限位板与驱动装置的驱动端同轴固定，所述限位板的侧壁均布四个定位槽，所述控制气缸的驱动端连接限位块，所述控制气缸驱使所述限位块伸出并插入限位槽内以使所述安装板停止转动。
6.根据权利要求2所述的多尺寸晶圆冲洗及甩干一体机，其特征在于，所述盖体内同心分布第一导流环和第二导流环，所述第一导流环和第二导流环的顶端和底端与盖体的顶壁和底壁固接并围成流体腔室，所述盖体的侧壁连接进气管和进液管，所述进气管和进液管穿过所述盖体的侧壁后连接至所述第一导流环并与所述流体腔室连通；
7.根据权利要求6所述的多尺寸晶圆冲洗及甩干一体机，其特征在于，所述第二导流环远离第一导流环一侧与盖体的顶壁围成环形腔室，所述喷淋管道垂直于所述环形腔室的轴线设置，所述盖体扣合于甩干室上方状态下所述喷淋管道垂直于所述安装板的圆心设置；
8.根据权利要求7所述的多尺寸晶圆冲洗及甩干一体机，其特征在于，所述烘干管道沿平行于盖体的顶壁所在平面的方向设置于环形腔室内，所述烘干管道的进气端固接于第二导流环处并与流体腔室连通，所述液体容纳腔的顶端由甩干室的顶部开口处伸出，所述盖体扣合状态下所述液体容纳腔的外壁与所述环形腔室的周缘贴合。
9.根据权利要求2所述的多尺寸晶圆冲洗及甩干一体机，其特征在于，所述箱体的侧壁连接废气腔，所述液体容纳腔通过流体通道连通至废气腔，所述流体通道具有坡度并且所述流体通道连接废气腔一端的高度低于连接液体容纳腔一端的高度；
10.根据权利要求1所述的多尺寸晶圆冲洗及甩干一体机，其特征在于，所述翻转机构包括翻转气缸和转动组件，所述转动组件包括固定座、连接座和旋转轴，所述固定座设有两组并固接于箱体的顶面，所述旋转轴穿设于两个固定座之间，所述连接座固接于所述盖体的侧壁并且所述连接座与旋转轴转动连接；
...【技术特征摘要】
1.一种多尺寸晶圆冲洗及甩干一体机，其特征在于，包括：箱体，所述箱体开设甩干室，所述甩干室内设置甩干组件，所述甩干组件包括驱动装置和驱动座，所述驱动座内分布不少于两组的容纳盒；
2.根据权利要求1所述的多尺寸晶圆冲洗及甩干一体机，其特征在于，所述甩干室内设置液体容纳腔，所述驱动座设于液体容纳腔内并与所述液体容纳腔同心设置，所述驱动座具有安装板，所述驱动装置的驱动端穿过所述液体容纳腔的底壁后与安装板同轴固定，所述驱动装置设置为驱动电机并且固接于液体容纳腔的下表面；
3.根据权利要求2所述的多尺寸晶圆冲洗及甩干一体机，其特征在于，所述摆动机构具有齿条、齿轮以及施力轮，所述甩干室的内壁固接承托座，所述齿条设于承托座上方，所述齿轮与齿条相互啮合，所述齿轮同轴固定施力杆，所述施力杆穿入所述液体容纳腔后连接所述施力轮的圆心，驱使所述齿条沿承托座的长度方向位移驱使所述齿轮转动，进而使得所述施力杆带动施力轮推动所述受力件上升以使转轴带动所述容纳盒盛放晶圆花篮一侧转动至平行于安装板的径向向上的位置。
4.根据权利要求3所述的多尺寸晶圆冲洗及甩干一体机，其特征在于，所述容纳盒设置有四个，所述安装座于所述安装板表面均布四组，四个所述容纳盒包括两个第一盒体和两个第二盒体，两个所述第一盒体以所述安装板的直径为轴对称分布于两个安装座内，两个所述第二盒体以所述安装板的另一直径为轴对称分布于两个安装座内，所述第一盒体和第二盒体分别盛放两种尺寸的晶圆花篮；
5.根据权利要求4所述的多尺寸晶圆冲洗及甩干一体机，其特征在于，所述定位组件包括限位板和控制气缸，所述限位板与驱动装置的驱动端同轴固定，所述限位板的侧壁均布四个定位槽，所述控制气缸...
【专利技术属性】
技术研发人员：戴文海，岳佳佳，
申请(专利权)人：苏州智程半导体科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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