物质检测传感器制造技术

本发明专利技术提供一种物质检测传感器，该物质检测传感器包括：绝缘层；２个电极，该２个电极在上述绝缘层上相互间隔地相对配置；导电性层，该导电性层在上述绝缘层上，在２个上述电极之间，以与２个上述电极电连接的方式形成，该导电性层的溶胀的比率相应于指定物质的种类和／或数量而发生变化，导电性层在２个电极之间被分开形成多个。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及物质检测传感器，具体地说涉及主要用于检测气体的种类、数量的物质检测传感器。
技术介绍
以往以来，检测气体、液体的物质传感器被应用于各种产业。这样的物质传感器用 于指定气体、液体的定性分析和定量分析等。 例如，提出有如下的传感器阵列，该传感器阵列包括含有导电性物质的电阻 (resistor);相互隔有间隔地配置、经由电阻电连接的第1和第2导电性引线(例如，参照 日本特开2006-10703号公报)。 在日本特开2006-10703号公报的传感器阵列中，以与第1和第2导电性引线接触 地方式涂敷(浇注)含有导电性物质的溶液后，通过干燥形成电阻。 但是，在日本特开2006-10703号公报中，因为将上述的溶液涂敷在第1和第2导 电性引线上，集中为一次形成电阻，所以有时电阻以不均匀的厚度形成。特别是在大面积形 成电阻的情况下，有时造成厚度显著不均匀。 其结果，因电阻的厚度不均匀而造成无法高精度地检测物质这样的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种通过以均匀的厚度形成导电性层，能以优异的精度检 测物质的物质检测传感器。 本专利技术的物质检测传感器的特征在于，包括绝缘层；在上述绝缘层上，相互隔有 间隔而相对配置的2个电极；在上述绝缘层上，在2个上述电极之间，以与2个上述电极电 连接的方式形成的、相应于指定的物质的种类和/或数量而溶胀(swelling)的比率发生变 化的导电性层，上述导电性层在2个上述电极之间被分开形成多个。 采用本专利技术的物质检测传感器，因为导电性层被分开形成多个，所以被划分成小 的区域，因此，能使该导电性层的厚度均匀。因此，能使导电性层整体的厚度均匀。 其结果，能以优异的精度检测物质。 此外，在本专利技术的物质检测传感器中，优选具有用于将被分开形成多个的上述导 电性层相互连接的布线，而且，优选被分开形成多个的上述导电性层相互隔有间隔地配置， 上述布线分别与相邻的各上述导电性层连接，或者，被分开形成多个的上述导电性层具有 相互重叠的重叠部分，优选上述布线隔着上述重叠部分地分别与相邻的各上述导电性层连 接。 在该物质检测传感器中，被分开形成多个的、相互隔有间隔地配置的导电性层在1 对电极之间分别通过布线连接，所以能可靠地谋求1对电极之间的连接，能可靠地实施高 精度的物质检测。 或者，在该物质检测传感器中，被分开形成多个的、具有重叠部分的导电性层在1对电极之间分别通过布线连接，所以能可靠地谋求1对电极之间的连接，能可靠地谋求高 精度的物质检测。 采用本专利技术的物质检测传感器，能以优异的精度检测物质。附图说明 图1是表示本专利技术的物质检测传感器的一实施方式的气体检测传感器的俯视图。 图2是表示沿着图1的A-A剖视图。 图3是表示图2所示的气体检测传感器的制造方法的工序图， (a)表示准备绝缘层的工序， (b)表示形成电极图案和桥布线的工序， (c)表示形成保护层的工序， (d)表示形成导电性层的工序。 图4表示本专利技术的气体检测传感器的另一实施方式(设有3层导电性层的状态) 的俯视图。 图5是表示本专利技术的气体检测传感器的另一实施方式(桥布线俯视呈大致矩形形 状的状态)的俯视图。 图6是表示本专利技术的气体检测传感器的另一； 形状的状态)的俯视图。 图7是表示本专利技术的气体检测传感器的另一； 形状的状态)的俯视图。 图8是表示本专利技术的气体检测传感器的另一； 状的状态)的俯视图。 图9是表示本专利技术的气体检测传感器的另-状态)的俯视图。 图10是表示图1的B-B剖视图。 图11是表示本专利技术的气体检测传感器的另一实施方式(导电性层具有重叠部分 的状态)的俯视图。 图12是表示图1的C-C剖视图。 图13是表示比较例1的气体检测传感器(1个导电性层连续形成的状态)的俯视-实施方式(桥布线俯视呈大致矩形框 -实施方式(桥布线俯视呈大致矩形框 -实施方式(桥布线俯视呈大致H字形 ,一实施方式(2个导电性层相互接触的具体实施例方式图1是本专利技术的物质检测传感器的一实施方式的气体检测传感器的俯视图，图2 是图1的A-A剖视图，图3是表示图2所示的气体检测传感器的制造方法的工序图。另外， 对于方向的记载，以图1为基准，纸面左侧为前侧，纸面右侧为后侧，纸面下侧为右 侧( 一方侧)、纸面上侧为左侧(另一方侧)、纸面跟前侧为上侧，纸面内侧为下侧。 在图1和图2中，该气体检测传感器1包括绝缘层2 ;形成在绝缘层2上的电极 图案3 ;作为形成在绝缘层2上的布线的桥布线9 ;在绝缘层2上，以电连接电极图案3和桥 布线9的方式形成的导电性层4。 绝缘层2例如由俯视呈大致矩形状的片材形成。 电极图案3在绝缘层2的上表面具有1对电极布线6， 1对电极布线6在左右方向 上相互隔有间隔地相对配置，沿着前后方向延伸，各后端部形成为向相互相对方向内侧弯 曲的布线电路图案(导体图案)。 具体来说，1对电极布线6包括配置在右侧(左右方向一方侧)的第1布线(右 侧布线)6A ;隔有间隔地配置在第1电极布线6A的左侧(左右方向另一方侧)的第2布线 (左侧布线)6B。此外，1对电极布线6在其后侧端部与电阻检测器10连接。 桥布线9用于连接导电性层4而被设置，在绝缘层2的上表面设于1对电极布线6 的相对方向内侧。具体来说，桥布线9在1对电极布线6的相对方向内侧分别与电极布线 6隔有间隔地配置，形成为朝向前侧敞开的俯视呈大致- (U)字形状。 具体地说，桥布线9 一体地包括配置在右侧(左右方向一方侧)的第1连接布线 (右侧连接布线)7A;隔有间隔地配置在第1连接布线7A的左侧(左右方向另一方侧)的 第2连接布线(左侧连接布线)7B ;连接第1连接布线7A的后端部和第2连接布线7B的 后端部的第3连接布线(后侧连接布线)7C。 此外，在电极图案3和桥布线9上形成有覆盖电极图案3和桥布线9的保护层15。 保护层15直接形成在电极图案3和桥布线9的表面(上表面和侧面)。 导电性层4被分开形成多个(2个)，在左右方向上相互隔有间隔地配置。各导电 性层4形成为沿前后方向延伸的俯视呈大致矩形状，包括配置在右侧(左右方向一方侧) 的第1导电性层4A和隔有间隔地配置在第1导电性层4A的左侧(左右方向另一方侧)的 第2导电性层4B。 第！导电性层4A遍及第！电极布线6A和第1连接布线7A之间地设置，覆盖第1 电极布线6A和第l连接布线7A。此外，第2导电性层4B遍及第2电极布线6B和第2连接 布线7B之间地设置，覆盖第2电极布线6B和第2连接布线7B。 此外，各导电性层4和被各导电性层4覆盖的电极图案3和桥布线9在气体检测 传感器1中构成检测指定气体的检测部20。 在检测部20中，被各导电性层4覆盖的电极图案3的电极布线6(第1电极布线 6A或第2电极布线6B)被作为电极5 (第1电极5A或第2电极5B)，被各导电性层4覆盖 的桥布线9 (第1连接布线7A或第2连接布线7B)被作为连接部8 (第1连接部8A或第2 连接部8B)。 电极5和连接部8分别被配置在各导电性层4中的左右方向两端部。具体来说， 第1电极5A被配置在第1导电性层4A的右侧端部，第1连接部8A被配置在第1导电性层 4A的左侧端部，第2连接部8B被配置在第2导电性层4B的右侧端部，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种物质检测传感器，其特征在于，包括：绝缘层；２个电极，该２个电极在上述绝缘层上相互隔有间隔地相对配置；导电性层，该导电性层在上述绝缘层上，在２个上述电极之间，以与２个上述电极电连接的方式形成，该导电性层的溶胀的比率相应于指定物质的种类和／或数量而发生变化，上述导电性层在２个上述电极之间被分开形成多个。

【技术特征摘要】
JP 2009-1-13 2009-005091一种物质检测传感器，其特征在于，包括绝缘层；2个电极，该2个电极在上述绝缘层上相互隔有间隔地相对配置；导电性层，该导电性层在上述绝缘层上，在2个上述电极之间，以与2个上述电极电连接的方式形成，该导电性层的溶胀的比率相应于指定物质的种类和/或数量而发生变化，上述导电性层在2个上述电极之间被分开形成多个。2. 根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：山崎博司，内藤俊树，花园博行，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]