【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空干燥，尤其涉及一种真空干燥装置及真空干燥系统。
技术介绍
1、钙钛矿电池在制备中的工艺之一为在玻璃基板上涂布钙钛矿液膜，之后将涂布有钙钛矿液膜的玻璃基板送至真空腔室内进行真空闪蒸，以使钙钛矿液膜迅速干燥结晶，进而得到钙钛矿薄膜。
2、钙钛矿液膜转变为干膜时，会同时具有成核和涨晶两个过程，为使得钙钛矿液膜干燥时得到较好的晶体，会尽量缩短钙钛矿液膜成核涨晶工艺的时间，以达到加强成核过程而弱化涨晶过程的目的。因此，真空干燥装置对真空腔室内的抽真空速度要求较大，一般空腔抽速要求10s达到10pa，为了达到所需抽真空速度，现有的真空干燥装置一般采用功率较大，和/或数量较多的真空泵，尤其在应对大面积钙钛矿液膜的干燥需求时，真空干燥装置中真空泵组的结构较为复杂，且硬件成本和使用成本均较高。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种真空干燥装置及真空干燥系统，用于提供一种结构简化、抽速较快的真空干燥装置和真空干燥系统。
2、本技术的目的采用以下技术方案实现：
3、一种真空干燥装置，包括：
4、真空室，用于放置待干燥工件；
5、真空发生件，与所述真空室连接，并用于使所述真空室产生负压；
6、缓存罐，所述真空发生件连接所述缓存罐并用于使所述缓存罐产生负压，所述缓存罐能够存储负压；所述缓存罐还与所述真空室连接；
7、控制阀，设置在所述缓存罐与所述真空室的连接路径上，并用于控制所述缓存罐与所述真空室的通断，
8、优选地，所述真空发生件与所述真空室之间通过第一连接线路连接，所述第一连接线路设置有第一控制阀，所述第一控制阀用于控制所述真空发生件与所述真空室的通断；
9、所述缓存罐连接有第二连接线路，所述第二连接线路设置有第二控制阀，所述第二控制阀用于控制所述缓存罐与所述真空室的通断。
10、优选地，所述第二连接线路与所述第一连接线路连接，并相交于连接点，所述缓存罐通过所述第二连接线路和部分所述第一连接线路与所述真空室连通。
11、优选地，所述第一控制阀设置在连接点与所述真空室之间的第一连接线路上；当所述第一控制阀关闭时，所述第二控制阀用于控制所述真空发生件与所述缓存罐通断；当所述第一控制阀打开时，所述第二控制阀用于控制所述缓存罐在指定条件下与所述真空室连通，并对所述真空室抽真空。
12、优选地，所述第一连接线路上还设置有调速阀，所述调速阀设置在连接点与所述真空室之间的第一连接线路上，所述调速阀用于控制所述真空发生件和/或所述缓存罐对所述真空室的抽真空速度。
13、优选地，所述第二连接线路的一端与缓存罐连接，另一端与所述真空室连接；所述缓存罐与所述真空发生件通过第三连接线路连通。
14、优选地，所述第三连接线路上设置有第三控制阀；所述第三控制阀用于控制所述真空发生件与所述缓存罐的通断；所述第二控制阀用于控制所述缓存罐在指定条件下与所述真空室连通，并对所述真空室抽真空。
15、优选地，所述第一连接线路上还设置有调速阀，所述第一连接线路上的调速阀用于控制所述真空发生件对所述真空室的抽真空速度；
16、和/或，所述第二连接线路上还设置有调速阀，所述第二连接线路上的调速阀用于控制所述缓存罐对所述真空室的抽真空速度。
17、优选地，所述真空室为vcd腔室；所述真空发生件为真空泵，所述控制阀为真空角阀；所述调速阀为电动蝶阀，所述待干燥工件为涂覆钙钛矿液膜后的玻璃基板。
18、一种真空干燥系统，包括：
19、上述任意一种的真空干燥装置；
20、移取装置，用于将待干燥工件放置于真空室内，和/或将干燥后的工件自真空室内取出。
21、与现有技术相比，本技术的有益效果至少包括：
22、通过采用缓存罐，并使缓存罐在真空发生件的作用下存储负压，可以使得缓存罐在需要时与真空泵共同对真空室进行抽真空，实现对真空室进行快速抽真空，减少对真空泵抽真空速度的要求，简化真空泵的结构。并且，真空发生件在不对真空室进行抽真空时，可以对缓存罐进行抽真空，减少真空发生件的空转时间，提高能源利用率。
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1.一种真空干燥装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述真空发生件(2)与所述真空室(1)之间通过第一连接线路(5)连接，所述第一连接线路(5)设置有第一控制阀(51)，所述第一控制阀(51)用于控制所述真空发生件(2)与所述真空室(1)的通断；
3.根据权利要求2所述的真空干燥装置，其特征在于，所述第二连接线路(6)与所述第一连接线路(5)连接，并相交于连接点(P)，所述缓存罐(3)通过所述第二连接线路(6)和部分所述第一连接线路(5)与所述真空室(1)连通。
4.根据权利要求3所述的真空干燥装置，其特征在于，所述第一控制阀(51)设置在连接点(P)与所述真空室(1)之间的第一连接线路(5)上；当所述第一控制阀(51)关闭时，所述第二控制阀(61)用于控制所述真空发生件(2)与所述缓存罐(3)通断；当所述第一控制阀(51)打开时，所述第二控制阀(61)用于控制所述缓存罐(3)在指定条件下与所述真空室(1)连通，并对所述真空室(1)抽真空。
5.根据权利要求3所述的真空干燥装置，其特征在于，所
6.根据权利要求2所述的真空干燥装置，其特征在于，所述第二连接线路(6)的一端与缓存罐(3)连接，另一端与所述真空室(1)连接；所述缓存罐(3)与所述真空发生件(2)通过第三连接线路(7)连通。
7.根据权利要求6所述的真空干燥装置，其特征在于，所述第三连接线路(7)上设置有第三控制阀(71)；所述第三控制阀(71)用于控制所述真空发生件(2)与所述缓存罐(3)的通断；所述第二控制阀(61)用于控制所述缓存罐(3)在指定条件下与所述真空室(1)连通，并对所述真空室(1)抽真空。
8.根据权利要求7所述的真空干燥装置，其特征在于，所述第一连接线路(5)上还设置有调速阀(52)，所述第一连接线路(5)上的调速阀(52)用于控制所述真空发生件(2)对所述真空室(1)的抽真空速度；
9.根据权利要求8所述的真空干燥装置，其特征在于，所述真空室(1)为VCD腔室；所述真空发生件(2)为真空泵，所述控制阀为真空角阀；所述调速阀(52)为电动蝶阀，所述待干燥工件为涂覆钙钛矿液膜后的玻璃基板。
10.一种真空干燥系统，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种真空干燥装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述真空发生件(2)与所述真空室(1)之间通过第一连接线路(5)连接，所述第一连接线路(5)设置有第一控制阀(51)，所述第一控制阀(51)用于控制所述真空发生件(2)与所述真空室(1)的通断；
3.根据权利要求2所述的真空干燥装置，其特征在于，所述第二连接线路(6)与所述第一连接线路(5)连接，并相交于连接点(p)，所述缓存罐(3)通过所述第二连接线路(6)和部分所述第一连接线路(5)与所述真空室(1)连通。
4.根据权利要求3所述的真空干燥装置，其特征在于，所述第一控制阀(51)设置在连接点(p)与所述真空室(1)之间的第一连接线路(5)上；当所述第一控制阀(51)关闭时，所述第二控制阀(61)用于控制所述真空发生件(2)与所述缓存罐(3)通断；当所述第一控制阀(51)打开时，所述第二控制阀(61)用于控制所述缓存罐(3)在指定条件下与所述真空室(1)连通，并对所述真空室(1)抽真空。
5.根据权利要求3所述的真空干燥装置，其特征在于，所述第一连接线路(5)上还设置有调速阀(52)，所述调速阀(52)设置在连接点(p)与所述真空室(1)之间的第一连接线...
【专利技术属性】
技术研发人员：张恒，丁中山，谭奇略，魏正，
申请(专利权)人：德沪涂膜设备苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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