【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆加工，更具体地说，涉及一种在具有纳米结构的led晶圆中填充量子点的装置。
技术介绍
1、为了提高发光效率，改变发光波长等，需要在晶圆表面填充量子点。在晶圆表面填充量子点的传统方式为，将量子点与环氧树脂等胶液或有机溶剂混合后，使用匀胶机涂覆。但当晶圆表面具有非常密集的纳米结构时，由于胶液或溶剂的表面张力作用，无法有效填充到纳米结构形成的一个个孔洞中，进而现有的填充方式在表面具有纳米结构的晶圆上很难适用。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种在具有纳米结构的led晶圆中填充量子点的装置，用以解决上述
技术介绍
中存在的技术问题。
2、本技术技术方案一种在具有纳米结构的led晶圆中填充量子点的装置，包括点胶室、设置在所述点胶室内的旋转支撑组件、位于所述旋转支撑组件上方的点胶组件，所述点胶室上连接抽真空组件；
3、所述旋转支撑组件包括旋转台、设置在所述旋转台上的支撑台和位于所述支撑台上的负压组件，旋涂时晶圆负压固定在支撑台上，所述点胶室为真空状态。
4、在一个优选地实施例中，所述负压组件包括位于所述支撑台底部的设有空腔的导气盘和连接所述导气盘的输气管，所述支撑台上贯穿设置有与所述导气盘连通的气孔，所述输气管外接抽气设备。
5、在一个优选地实施例中，所述气孔包括中心气孔和位于中心气孔外侧且呈周向分布的若干个边缘气孔。
6、在一个优选地实施例中，所述支撑台上设置有限位块。
7、在一个优选地实施例中，所述点胶
8、在一个优选地实施例中，所述点胶室一侧设置有出气管和进气管，所述真空组件包括与出气管连接的抽真空泵，所述进气管连上设置有氮气导入泵。
9、本技术技术方案的有益效果是：
10、量子点的填充工作在点胶室内完成，点胶室处于密封状态，在点胶过程中通过改变点胶室内的真空度，利用压差实现量子点在晶圆上的纳米级孔洞上的有效填充。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种在具有纳米结构的LED晶圆中填充量子点的装置，其特征在于：包括点胶室、设置在所述点胶室内的旋转支撑组件、位于所述旋转支撑组件上方的点胶组件，所述点胶室上连接抽真空组件；
2.根据权利要求1所述的一种在具有纳米结构的LED晶圆中填充量子点的装置，其特征在于：所述负压组件包括位于所述支撑台底部的设有空腔的导气盘和连接所述导气盘的输气管，所述支撑台上贯穿设置有与所述导气盘连通的气孔，所述输气管外接抽气设备。
3.根据权利要求2所述的一种在具有纳米结构的LED晶圆中填充量子点的装置，其特征在于：所述气孔包括中心气孔和位于中心气孔外侧且呈周向分布的若干个边缘气孔。
4.根据权利要求1所述的一种在具有纳米结构的LED晶圆中填充量子点的装置，其特征在于：所述支撑台上设置有限位块。
5.根据权利要求1所述的一种在具有纳米结构的LED晶圆中填充量子点的装置，其特征在于：所述点胶组件包括点胶器和与所述点胶器通过输送管连接的储胶罐。
6.根据权利要求1所述的一种在具有纳米结构的LED晶圆中填充量子点的装置，其特征在于：所述点胶室一侧设
...【技术特征摘要】
1.一种在具有纳米结构的led晶圆中填充量子点的装置，其特征在于：包括点胶室、设置在所述点胶室内的旋转支撑组件、位于所述旋转支撑组件上方的点胶组件，所述点胶室上连接抽真空组件；
2.根据权利要求1所述的一种在具有纳米结构的led晶圆中填充量子点的装置，其特征在于：所述负压组件包括位于所述支撑台底部的设有空腔的导气盘和连接所述导气盘的输气管，所述支撑台上贯穿设置有与所述导气盘连通的气孔，所述输气管外接抽气设备。
3.根据权利要求2所述的一种在具有纳米结构的led晶圆中填充量子点的装置，其特征在于：所述气孔包括中心气孔...
【专利技术属性】
技术研发人员：林勇成，欧海燕，越来，刘洋，宫艺，丁欣，田兴友，
申请(专利权)人：中欧电子材料国际创新中心合肥有限公司，
类型：新型
国别省市：
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