【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光伏电池制造，具体涉及一种推舟系统和低压扩散炉。
技术介绍
1、目前管式pecvd设备的推舟机构由水平模组和竖直运动机械手集成，通过竖直运动机械手的上下运动带动水平模组移动，从而在对应的炉体内进行石墨舟的取送料操作，然而呈竖直排列的多个炉体的中心轴线可能并不平行，水平模组无法自动调节并对正炉体中心轴线，引起石墨舟和炉体发生剐蹭，导致石墨舟的损坏，从而增加生产成本。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请提供了一种推舟系统，解决了水平模组无法对正炉体中心轴线的问题，提高了石墨舟和炉体的安全性，降低生产成本。另外，本申请还提供了一种包括上述推舟系统的低压扩散炉。
2、为了达到上述目的，本申请提供如下技术方案：
3、一种推舟系统，包括：
4、第一模组，沿第一方向进行推舟；
5、第二模组，与所述第一模组连接，并能带动所述第一模组沿第二方向移动；
6、第一调节装置，连接所述第一模组的第一位置和所述第二模组的第一位置；
7、第二调节装置，连接所述第一模组的第二位置和所述第二模组的第二位置；
8、其中，所述第一调节装置和所述第二调节装置与所述第一模组转动连接，并能使所述第一模组沿第三方向移动，且所述第一调节装置和所述第二调节装置独立使所述第一模组在所述第三方向上移动，所述第一方向，所述第二方向和所述第三方向分别为空间坐标系中x轴方向、y轴方向和z轴方向。
9、可选的，上述推舟系统中，所述第一调节
10、所述第二调节装置还包括第二滑动组件，所述第二滑动组件设置在所述第一模组上并能带动所述转动组件沿所述第一方向移动。
11、可选的，上述推舟系统中，所述转动组件包括转轴、轴承、轴承座以及位于所述转轴两端的固定板，所述轴承固定于所述轴承座内，所述转轴同轴穿过所述轴承座，以使所述第一模组向所述第三方向偏移。
12、可选的，上述推舟系统中，所述第一滑动组件包括设置在所述第二模组上的第一板和与所述第一板连接的第二板，所述第二板与所述转动组件相连，所述第一板上设置有第一滑轨，所述第二板上设置有第一滑槽，所述第一滑轨位于所述第一滑槽内并沿所述第一滑槽滑动，以使所述第一模组沿所述第三方向滑动。
13、可选的，上述推舟系统中，所述第二滑动组件包括连接在所述第一模组上的第三板和连接在所述转动组件上的过渡板，所述第三板上设置有第二滑轨，所述过渡板上设置有第二滑槽，所述第二滑轨位于所述第二滑槽内，并沿所述第二滑槽滑动，以使所述第一模组向所述第三方向偏移。
14、可选的，上述推舟系统中，所述第二滑动组件包括连接在所述第一模组上的第三板，所述第三板上设置有第二滑轨，所述轴承座具有与所述第二滑轨相对设置第一部分，所述第一部分上设置第二滑槽，所述第二滑轨位于所述第二滑槽内，并沿所述第二滑槽滑动，以使所述第一模组向所述第三方向偏移。
15、可选的，上述推舟系统中，所述第一模组包括呈矩形的板状件，所述板状件具有与所述第一方向平行设置的两个壁面，在两个所述壁面中的至少一者上设置有第二滑轨，在所述转动组件上设置有连接板，所述连接板上设置有第二滑槽，所述第二滑轨位于所述第二滑槽内，并沿所述第二滑槽滑动，以使所述第一模组向所述第三方向偏移。
16、可选的，上述推舟系统中，所述第二模组包括平行设置的第一竖板和第二竖板，所述第一竖板和所述第二竖板与所述第一板连接，以实现第一模组和第二模组的连接。
17、一种低压扩散炉，包括上述任一项所述的推舟系统。
18、本申请提供的一种推舟系统，包括第一模组、第二模组、第一调节装置和第二调节装置，其中，第一模组能沿空间坐标系的x轴方向(水平方向)推舟，第一调节装置连接第一模组的第一位置和第二模组的第一位置，第二调节装置连接第一模组的第二位置和第二模组的第二位置，通过如此，实现第一模组和第二模组的连接，使第二模组能带动第一模组沿空间坐标系的y轴方向(高度方向)移动。除此之外，第一调节装置和第二调节装置与第一模组转动连接，且独立使第一模组沿空间坐标系的z轴方向(垂直于纸面的方向)移动，即第一模组的第一位置与第二位置的移动是独立的，也就是说，第一模组的第一位置与第二位置沿z轴方向移动的距离相同或不同，移动距离相同时，第一模组向z轴发生平移，移动距离不同时，借助第一调节装置和第二调节装置与第一模组的转动连接，从而实现第一模组的水平偏转，即向z轴方向的偏转。
19、从而可见，第一模组在第二模组的带动下能位于不同的高度，并能在不同的高度位置处向z轴方向移动或偏转，以与位于不同高度的炉体的中心线对齐，从而避免石墨舟与炉体的碰撞，提高生产的安全性，并降低生产成本。
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1.一种推舟系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的推舟系统，其特征在于，所述第一调节装置和所述第二调节装置均包括：转动组件；第一滑动组件，设置在所述第二模组上并能带动所述转动组件沿所述第三方向移动；
3.根据权利要求2所述的推舟系统，其特征在于，所述转动组件包括转轴、轴承、轴承座以及位于所述转轴两端的固定板，所述轴承固定于所述轴承座内，所述转轴同轴穿过所述轴承座，以使所述第一模组向所述第三方向偏移。
4.根据权利要求2所述的推舟系统，其特征在于，所述第一滑动组件包括设置在所述第二模组上的第一板和与所述第一板连接的第二板，所述第二板与所述转动组件相连，所述第一板上设置有第一滑轨，所述第二板上设置有第一滑槽，所述第一滑轨位于所述第一滑槽内并沿所述第一滑槽滑动，以使所述第一模组沿所述第三方向滑动。
5.根据权利要求2所述的推舟系统，其特征在于，所述第二滑动组件包括连接在所述第一模组上的第三板和连接在所述转动组件上的过渡板，所述第三板上设置有第二滑轨，所述过渡板上设置有第二滑槽，所述第二滑轨位于所述第二滑槽内，并沿所述第二滑槽滑
6.根据权利要求3所述的推舟系统，其特征在于，所述第二滑动组件包括连接在所述第一模组上的第三板，所述第三板上设置有第二滑轨，所述轴承座具有与所述第二滑轨相对设置第一部分，所述第一部分上设置第二滑槽，所述第二滑轨位于所述第二滑槽内，并沿所述第二滑槽滑动，以使所述第一模组向所述第三方向偏移。
7.根据权利要求2所述的推舟系统，其特征在于，所述第一模组包括呈矩形的板状件，所述板状件具有与所述第一方向平行设置的两个壁面，在两个所述壁面中的至少一者上设置有第二滑轨，在所述转动组件上设置有连接板，所述连接板上设置有第二滑槽，所述第二滑轨位于所述第二滑槽内，并沿所述第二滑槽滑动，以使所述第一模组向所述第三方向偏移。
8.根据权利要求4所述的推舟系统，其特征在于，所述第二模组包括平行设置的第一竖板和第二竖板，所述第一竖板和所述第二竖板与所述第一板连接，以实现第一模组和第二模组的连接。
9.一种低压扩散炉，其特征在于，包括上述权利要求1-8任一项所述的推舟系统。
...【技术特征摘要】
1.一种推舟系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的推舟系统，其特征在于，所述第一调节装置和所述第二调节装置均包括：转动组件；第一滑动组件，设置在所述第二模组上并能带动所述转动组件沿所述第三方向移动；
3.根据权利要求2所述的推舟系统，其特征在于，所述转动组件包括转轴、轴承、轴承座以及位于所述转轴两端的固定板，所述轴承固定于所述轴承座内，所述转轴同轴穿过所述轴承座，以使所述第一模组向所述第三方向偏移。
4.根据权利要求2所述的推舟系统，其特征在于，所述第一滑动组件包括设置在所述第二模组上的第一板和与所述第一板连接的第二板，所述第二板与所述转动组件相连，所述第一板上设置有第一滑轨，所述第二板上设置有第一滑槽，所述第一滑轨位于所述第一滑槽内并沿所述第一滑槽滑动，以使所述第一模组沿所述第三方向滑动。
5.根据权利要求2所述的推舟系统，其特征在于，所述第二滑动组件包括连接在所述第一模组上的第三板和连接在所述转动组件上的过渡板，所述第三板上设置有第二滑轨，所述过渡板上设置有第二滑槽，所述第二滑轨位于所述第二滑...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁骜，
申请(专利权)人：株洲三一硅能技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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