【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及过滤处理的，尤其是指一种前置的真空管路粉尘废水分离罐组合系统。
技术介绍
1、现有的半导体粉尘废水收集系统一般为带有薄膜滤芯的过滤器，虽然滤芯有着超高颗粒拦截效率，但是其使用寿命有限，需要经常进行维护更换，无疑是加重了企业的生产成本。其次，半导体制程室后端各级管路传送系统中，一般为多层过滤纯化装置，使用各种滤芯数量较多，维护成本较大。缺乏一种前端的初级过滤，免维护，低损耗的过滤组合，能够有效地降低维护成本，减轻企业生产负担的粉尘废水处理方式。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种前置的真空管路粉尘废水分离罐组合系统，具有免维护，低损耗等特点。
2、为了实现上述的目的，本专利技术所提供的一种前置的真空管路粉尘废水分离罐组合系统，其特征在于：包括至少一级串联在真空泵及反应腔室之间的分离组件，其中，每组所述分离组件包括串联在真空泵及反应腔室之间的分离罐、带有排污口的缓冲罐和正压发生器，所述缓冲罐入口与分离罐的废料口相连接，所述正压发生器用于产生正压压缩气体且旁通连接于缓冲罐；所述缓冲罐旁通引出有泄压通道；所述分离罐与缓冲罐之间设有隔离阀，所述正压发生器与缓冲罐之间设有正压阀，所述缓冲罐的排污口处设有排污阀；所述排污阀仅在隔离阀关闭后才开启，并且所述排污阀在正压阀关闭后延后关闭。
3、进一步，包括两分离组件，其中，两组所述分离组件的分离罐依次串联相通并且串联后两分离罐的首尾分别与真空泵和反应腔室相连接。
4、进
5、进一步，两组所述分离组件交替运行，其中一组所述分离组件的隔离阀开启时，则另一组分离组件的隔离阀关闭。
6、进一步，所述泄压通道上设有负压阀，所述负压阀用于在排污阀关闭时同步开启额定时长。
7、进一步，所述分离罐具有入料口、出料口及废料口，其中，所述入料口位于分离罐的中上部位置，所述出料口位于分离罐的顶部位置，所述废料口位于分离罐的底部位置。
8、本专利技术采用上述的方案，其有益效果在于：1. 高效稳定的分离效率：通过精心设计的排污流程，该系统能够在保证反应腔室排气稳定的前提下，高效稳定地分离粉尘废水。这种高效的分离操作确保了系统的连续性和稳定性。
9、2. 精确的控制机制：系统通过排污阀、隔离阀、正压阀和负压阀的精确控制，实现了缓冲罐与分离罐之间的有效隔离和排污。这种精确的控制不仅提高了系统的运行效率，还减少了不必要的能耗。
10、3. 交替运行设计：系统采用两组分离组件交替运行的方式，确保了粉尘废水的不间断分离。这种设计既提高了系统的处理能力，又保证了系统的连续性和稳定性。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种前置的真空管路粉尘废水分离罐组合系统，其特征在于：包括至少一级串联在真空泵及反应腔室之间的分离组件，其中，
2.根据权利要求1所述的一种前置的真空管路粉尘废水分离罐组合系统，其特征在于：包括两分离组件，其中，两组所述分离组件的分离罐（100、200）依次串联相通并且串联后两分离罐（100、200）的首尾分别与真空泵和反应腔室相连接。
3.根据权利要求2所述的一种前置的真空管路粉尘废水分离罐组合系统，其特征在于：两组所述分离组件共用一个正压发生器，其中，该正压发生器同时旁通连接至两组分离组件的缓冲罐（101、201）。
4.根据权利要求2所述的一种前置的真空管路粉尘废水分离罐组合系统，其特征在于：两组所述分离组件交替运行，其中一组所述分离组件的隔离阀（150、250）开启时，则另一组分离组件的隔离阀（150、250）关闭。
5.根据权利要求1所述的一种前置的真空管路粉尘废水分离罐组合系统，其特征在于：所述泄压通道上设有负压阀（152、252），所述负压阀（152、252）用于在排污阀（151、251）关闭时同步开启额定时长。<...
【技术特征摘要】
1.一种前置的真空管路粉尘废水分离罐组合系统，其特征在于：包括至少一级串联在真空泵及反应腔室之间的分离组件，其中，
2.根据权利要求1所述的一种前置的真空管路粉尘废水分离罐组合系统，其特征在于：包括两分离组件，其中，两组所述分离组件的分离罐（100、200）依次串联相通并且串联后两分离罐（100、200）的首尾分别与真空泵和反应腔室相连接。
3.根据权利要求2所述的一种前置的真空管路粉尘废水分离罐组合系统，其特征在于：两组所述分离组件共用一个正压发生器，其中，该正压发生器同时旁通连接至两组分离组件的缓冲罐（101、201）。
4.根据权利要求2所述的一种前置的真空管路粉尘废水分离罐组合系统，其特征在于：两组...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴镇强，
申请(专利权)人：广东鸿浩半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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