远红外线透射构件和远红外线透射构件的制造方法技术

技术编号：42976361 阅读：6 留言：0更新日期：2024-10-15 13:14

本发明专利技术适当地允许远红外线透射，并且提高耐擦伤性。远红外线透射构件20包含基材30和第一功能膜32，所述基材30允许远红外线透射，所述第一功能膜32形成于基材30上并且具有以NiO<subgt;x</subgt;作为主要成分的NiO<subgt;x</subgt;层34，所述远红外线透射构件20的波长8μm～12μm的光的平均透射率为50%以上，并且通过纳米压痕法测定的自所述功能膜的表面起的压入深度40nm以上且110nm以下的范围内的压入硬度的最大值H<subgt;max</subgt;为10GPa以上。

全部详细技术资料下载

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及远红外线透射构件和远红外线透射构件的制造方法。

技术介绍

1、例如在车辆等上安装远红外线传感器时，有时设置形成有用于使远红外线适当地入射至远红外线传感器中的功能膜的远红外线透射构件。例如专利文献1中记载了：在基材上形成包含以氧化锌作为主要成分的金属氧化物的红外线透射膜。另外，例如非专利文献1中记载了：在si基板上形成氧化镍膜作为远红外线透射膜。

2、对于用于增大远红外线的透射光量的远红外线透射膜，耐擦伤性高是重要的，但是例如根据非专利文献1，利用rf磁控溅射法形成于si基板上的氧化镍膜的压入硬度低至6.1gpa，因此预想容易产生擦伤划痕。

3、现有技术文献

4、非专利文献

5、非专利文献1：hyun bin shim等人, controlling the infrared opticalproperties of rf-sputtered nio films for application of infrared window,infrared physics and technology 72（2015）, 135-139

6、专利文献

7、专利文献1：日本特开2017-151408号公报

技术实现思路

1、专利技术所要解决的问题

2、这样的远红外线透射构件要求适当地允许远红外线透射并且提高耐擦伤性。

3、本专利技术的目的在于提供适当地允许远红外线透射并且能够提高耐擦伤性

4、用于解决问题的手段

5、本公开的远红外线透射构件包含基材和功能膜，所述基材允许远红外线透射，所述功能膜形成于所述基材上，并且具有一层以上的以niox作为主要成分的niox层，所述远红外线透射构件的波长8μm～12μm的光的平均透射率为50%以上，通过纳米压痕法测定的、自所述功能膜的表面起的压入深度40nm以上且110nm以下的范围内的压入硬度的最大值hmax为10gpa以上。

6、本公开的远红外线透射构件的制造方法中，通过后氧化溅射法在允许远红外线透射的基材上形成以niox作为主要成分的niox层，由此制造远红外线透射构件。

7、专利技术效果

8、根据本专利技术，能够适当地允许远红外线透射，并且能够提高耐擦伤性。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种远红外线透射构件，其中，所述远红外线透射构件包含：

2.如权利要求1所述的远红外线透射构件，其中，所述压入硬度的最大值Hmax与杨氏模量E之比Hmax/E为0.045以上且0.120以下。

3.如权利要求1或权利要求2所述的远红外线透射构件，其中，所述远红外线透射构件的算术平均粗糙度Ra为6nm以下。

4.如权利要求1～权利要求3中任一项所述的远红外线透射构件，其中，所述NiOx层对波长10μm的光的消光系数为0.4以下。

5.如权利要求1～权利要求4中任一项所述的远红外线透射构件，其中，所述NiOx层形成于最外侧。

6.如权利要求1～权利要求5中任一项所述的远红外线透射构件，其中，所述远红外线透射构件被搭载于车辆上。

7.如权利要求6所述的远红外线透射构件，其中，所述远红外线透射构件被配置在车辆的窗构件上。

8.如权利要求6或权利要求7所述的远红外线透射构件，其中，所述远红外线透射构件被配置在车辆的立柱用外部构件上。

9.如权利要求6～权利要求8中任一项所述的远红外线透射构件

10.一种远红外线透射构件的制造方法，其中，通过后氧化溅射法在允许远红外线透射的基材上形成以NiOx作为主要成分的NiOx层，由此制造远红外线透射构件。

11.如权利要求10所述的远红外线透射构件的制造方法，其中，所述制造方法包含以下步骤：

12.如权利要求11所述的远红外线透射构件的制造方法，其中，在所述层叠步骤中，将所述第1空间内的压力调节为小于0.5Pa。

13.如权利要求11或权利要求12所述的远红外线透射构件的制造方法，其中，在所述层叠步骤中，使用Ni的含量以原子量比计为50%以上且100%以下的构件作为所述靶。

14.如权利要求11～权利要求13中任一项所述的远红外线透射构件的制造方法，其中，在所述氧化步骤中，将所述第2空间内的气体总量中的氧气流量比率为10%以上且75%以下的氧气进行等离子体化，从而形成所述氧等离子体。

...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种远红外线透射构件，其中，所述远红外线透射构件包含：

2.如权利要求1所述的远红外线透射构件，其中，所述压入硬度的最大值hmax与杨氏模量e之比hmax/e为0.045以上且0.120以下。

3.如权利要求1或权利要求2所述的远红外线透射构件，其中，所述远红外线透射构件的算术平均粗糙度ra为6nm以下。

4.如权利要求1～权利要求3中任一项所述的远红外线透射构件，其中，所述niox层对波长10μm的光的消光系数为0.4以下。

5.如权利要求1～权利要求4中任一项所述的远红外线透射构件，其中，所述niox层形成于最外侧。

6.如权利要求1～权利要求5中任一项所述的远红外线透射构件，其中，所述远红外线透射构件被搭载于车辆上。

7.如权利要求6所述的远红外线透射构件，其中，所述远红外线透射构件被配置在车辆的窗构件上。

8.如权利要求6或权利要求7所述的远红外线透射构件，其中，所述远红外线透射构件被配置在车辆的立柱用外部构件上。

<...

【专利技术属性】
技术研发人员：井上英久，安井容二，
申请(专利权)人：AGC株式会社，
类型：发明
国别省市：

全部详细技术资料下载我是这个专利的主人