【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及芯片贴装，尤其涉及一种贴装件偏差的测量方法、补偿方法及测量系统。
技术介绍
1、在光电元件的高精度面对面贴装应用（即上元件的芯片图案面朝下，对准下元件上表面的定位特征并贴装）中，对两个元件贴装后的相对位置要求较高。目前，较为先进的光电元件贴装需要满足≤±0.5微米的相对位置偏差。
2、由于贴装后两个元件将对应定位特征的表面贴装到一起，两个元件通常均为不透明结构，贴装后定位特征被完全或大部分遮挡，导致贴装后两个元件之间的相对偏差难以即时测量。而通过光电特性测量不能判断细微差异，当误差在长期使用过程中逐渐放大到光电特性测量可测出的程度时，已经产生很多的不良品。
3、在实现本专利技术过程中，专利技术人发现现有技术中至少存在如下问题：
4、现有光电特性测量难以及时测量元件贴装后的偏差，容易出现不良品，增加了生产成本。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种贴装件偏差的测量方法、补偿方法及测量系统，以解决现有技术中存在的光电特性测量难以及时测量光电元件贴装后的偏差，容易出现不良品，增加了生产成本的技术问题。本专利技术提供的诸多技术方案中的优选技术方案所能产生的诸多技术效果详见下文阐述。
2、为实现上述目的，本专利技术提供了以下技术方案：
3、本专利技术提供的一种贴装件偏差的测量方法，包括以下步骤：s10：通过第一元件上视觉系统、第一元件下视觉系统对第一元件进行拍摄，获取第一元件的上表面外形特征及对位特征的相对位
4、优选的，承载台设置有x轴方向运动轴、y轴方向运动轴、xoy平面的旋转运动轴。
5、优选的，s10步骤中，通过吸嘴吸取第一元件，并置于第一元件上视觉系统、第一元件下视觉系统之间进行拍摄。
6、优选的，s10步骤中，将第一元件放置于透明板上，第一元件上视觉系统、第一元件下视觉系统分别从透明板的上下两侧进行拍摄。
7、优选的，s10步骤中，第一元件上视觉系统、第一元件下视觉系统为同一个视觉系统进行分光得到，并同时或分别对第一元件进行拍摄。
8、优选的，s30步骤中，第三视觉系统一次性拍摄贴装件中的第一元件的上表面、第二元件的上表面。
9、一种贴装件偏差的补偿方法，基于以上任一项所述的一种贴装件偏差的测量方法得到的偏差信息进行预补偿，以得到满足偏差条件的贴装件，包括以下步骤：s100：基于对多个贴装件的测量，获取到多组偏差信息；s200：将多组偏差信息分别分解为x轴方向的偏差距离dx和y轴方向的偏差距离dy；s300：将偏差距离dx、偏差距离dy分别求平均值，得到偏差距离dx平均值、偏差距离dy平均值；s400：基于偏差距离dx平均值、偏差距离dy平均值沿x轴方向、y轴方向对第一元件或第二元件进行反方向预移动，再进行第一元件、第二元件的贴装。
10、优选的，s300步骤替换为s300’：将偏差距离dx、偏差距离dy分别求平均值，得到偏差距离dx平均值、偏差距离dy平均值，第一元件与第二元件相互偏差的角度值。
11、优选的，s400替换为s400’：基于偏差距离dx平均值、偏差距离dy平均值、第一元件与第二元件相互偏差的角度值，在xoy平面对第一元件或第二元件进行反方向预转动，再进行第一元件、第二元件的贴装。
12、一种贴装件偏差的测量系统，用于运行以上任一项所述的一种贴装件偏差的测量方法，包括第一元件上视觉系统、第一元件下视觉系统、第二视觉系统、承载台，所述第一元件上视觉系统、第一元件下视觉系统在所述第一元件的上方、下方相对设置，所述第二视觉系统位于所述第二元件的上方，所述承载台用于承载所述第二元件。
13、实施本专利技术上述技术方案中的一个技术方案，具有如下优点或有益效果：
14、本申请由两组视觉系统对第一元件、第二元件分别进行拍摄，获取第一元件、第二元件的表面特征，并通过第三视觉系统拍摄第一元件、第二元件的贴装后的贴装件，从而对比得到贴装件的偏差信息，操作简单方便，便于及时尽早快速获取贴装件的偏差信息，从而基于偏差信息进行预补偿操作，可得到第一元件、第二元件相互没有偏差的贴装件，可降低不良品的比例，降低生产成本。
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1.一种贴装件偏差的测量方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种贴装件偏差的测量方法，其特征在于，承载台设置有X轴方向运动轴、Y轴方向运动轴、XoY平面的旋转运动轴。
3.根据权利要求1所述的一种贴装件偏差的测量方法，其特征在于，S10步骤中，通过吸嘴吸取第一元件，并置于第一元件上视觉系统、第一元件下视觉系统之间进行拍摄。
4.根据权利要求1所述的一种贴装件偏差的测量方法，其特征在于，S10步骤中，将第一元件放置于透明板上，第一元件上视觉系统、第一元件下视觉系统分别从透明板的上下两侧进行拍摄。
5.根据权利要求1所述的一种贴装件偏差的测量方法，其特征在于，S10步骤中，第一元件上视觉系统、第一元件下视觉系统为同一个视觉系统进行分光得到，并同时或分别对第一元件进行拍摄。
6.根据权利要求1所述的一种贴装件偏差的测量方法，其特征在于，S30步骤中，第三视觉系统一次性拍摄贴装件中的第一元件的上表面、第二元件的上表面。
7.一种贴装件偏差的补偿方法，其特征在于，基于权利要求1-6中任一项所述的一
8.根据权利要求7所述的一种贴装件偏差的补偿方法，其特征在于，S300步骤替换为：
9.根据权利要求8所述的一种贴装件偏差的补偿方法，其特征在于，S400替换为：
10.一种贴装件偏差的测量系统，其特征在于，用于运行权利要求1-6中任一项所述的一种贴装件偏差的测量方法，包括第一元件上视觉系统、第一元件下视觉系统、第二视觉系统、承载台，所述第一元件上视觉系统、第一元件下视觉系统在所述第一元件的上方、下方相对设置，所述第二视觉系统位于所述第二元件的上方，所述承载台用于承载所述第二元件。
...【技术特征摘要】
1.一种贴装件偏差的测量方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种贴装件偏差的测量方法，其特征在于，承载台设置有x轴方向运动轴、y轴方向运动轴、xoy平面的旋转运动轴。
3.根据权利要求1所述的一种贴装件偏差的测量方法，其特征在于，s10步骤中，通过吸嘴吸取第一元件，并置于第一元件上视觉系统、第一元件下视觉系统之间进行拍摄。
4.根据权利要求1所述的一种贴装件偏差的测量方法，其特征在于，s10步骤中，将第一元件放置于透明板上，第一元件上视觉系统、第一元件下视觉系统分别从透明板的上下两侧进行拍摄。
5.根据权利要求1所述的一种贴装件偏差的测量方法，其特征在于，s10步骤中，第一元件上视觉系统、第一元件下视觉系统为同一个视觉系统进行分光得到，并同时或分别对第一元件进行拍摄。
6.根据权利要求1所述的一种贴装件偏差的测量...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢煜，何岗，马星汉，王琛，宋璟琪，
申请(专利权)人：深圳市亿图视觉自动化技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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