【技术实现步骤摘要】
本公开涉及一种接合系统和接合方法。
技术介绍
1、专利文献1所记载的接合装置具备从上侧基板的上方吸附该上侧基板的上吸盘以及从下侧基板的下方吸附该下侧基板的下吸盘，将两张基板面对面地进行接合。具体地说，接合装置首先将被吸附于上吸盘的基板的中心部向下按，使之与被吸附于下吸盘的基板的中心部接触。由此，两张基板的中心部之间通过分子间力等进行接合。接着，接合装置使两张基板的进行了接合的接合区域从中心部向外周部扩展。
2、接合装置具有固定于上吸盘的上部摄像部、固定于下吸盘的下部摄像部以及使上吸盘与下吸盘相对地移动的移动部。上部摄像部对形成于被下吸盘吸附的下侧基板的对准标记进行拍摄。另一方面，下部摄像部对形成于被上吸盘吸附的上侧基板的对准标记进行拍摄。
3、接合装置基于由上部摄像部拍摄到的图像和由下部摄像部拍摄到的图像来测量上侧基板与下侧基板的相对的水平方向位置。接合装置使上吸盘与下吸盘相对地移动，以使在从铅垂方向观察时上侧基板的对准标记与下侧基板的对准标记重合，在此基础上，将上侧基板与下侧基板进行接合。
4、现有技术文献
5、专利文献
6、专利文献1：日本特开2015-095579号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的问题
2、本公开的一个方式提供一种能够提高在接合前进行的上侧基板与下侧基板的水平方向对位的精度的技术。
3、用于解决问题的方案
4、本公开的一个方式的接合系统具备：在铅垂方向上分离
5、本公开的一个方式的接合系统，具备：在铅垂方向上分离地配置的第一保持部和第二保持部，所述第一保持部在与所述第二保持部相向的面具有用于吸附保持第一基板的吸附面，所述第二保持部在与所述第一保持部相向的面具有用于吸附保持第二基板的吸附面；按压部，其将被所述第一保持部保持的所述第一基板和被所述第二保持部保持的所述第二基板进行压合；畸变产生部，其使被所述第二保持部保持的所述第二基板产生畸变；以及畸变控制部，其从接合系统的外部的测定部接收在由所述按压部将所述第一基板和所述第二基板进行压合并进一步完成了所述第一基板和所述第二基板的接合后由所述测定部测定在接合完成时产生的所述第一基板的对准标记与所述第二基板的对准标记的位置偏离而得到的测定数据，在由所述按压部将所述第一基板和所述第二基板进行压合之前，所述畸变控制部基于在过去的接合完成时产生的所述位置偏离来控制本次的接合中的所述畸变。
6、专利技术的效果
7、根据本公开的一个方式，能够提高在接合前进行的上侧基板与下侧基板的水平方向对位的精度。
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1.一种接合系统，具备：
2.根据权利要求1所述的接合系统，其特征在于，
3.根据权利要求1或2所述的接合系统，其特征在于，
4.根据权利要求1或2所述的接合系统，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的接合系统，其特征在于，还具备：
【技术特征摘要】
1.一种接合系统，具备：
2.根据权利要求1所述的接合系统，其特征在于，
3.根据权利要求1或2所述的接合系统，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：大塚庆崇，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：
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