【技术实现步骤摘要】
本申请涉及激光剥离，尤其涉及一种剥离装置及衬底剥离设备。
技术介绍
1、micro-led(micro light emitting diode，微型发光二极管)发光模组可以通过llo(laser lift-off，激光剥离技术)剥离的方法，去除外延层上的蓝宝石衬底，将产品变薄。
2、但相关技术中，在micro-led发光模组的衬底剥离过程中，在llo剥离后，需人工采用手工刀进行分离，存在分离难度较大、剥离良率较低的现象。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供了一种剥离装置及衬底剥离设备。
2、为实现上述目的，本申请采用的技术方案如下：
3、第一方面，本申请实施例提供了一种剥离装置，包括：
4、固定件，所述固定件开设有通槽，所述通槽放置有待分离工件；
5、第一分离件和第二分离件，所述第一分离件和所述第二分离件分别与所述待分离工件的两相对侧连接；
6、驱动件，所述驱动件与所述第一分离件和所述第二分离件中的一个连接，在所述驱动件的驱动下，所述第一分离件和所述第二分离件相互靠近或远离。
7、在第一方面的其中一个实施例中，所述通槽贯穿所述固定件，并使所述固定件的一个边侧形成缺口结构，所述通槽的内侧壁与所述待分离工件的周侧抵接，以限制所述待分离工件在剥离过程中向周侧偏移。
8、在第一方面的其中一个实施例中，所述剥离装置还包括安装件，所述固定件和所述驱动件均安装于所述安装件。
9、在第
10、在第一方面的其中一个实施例中，所述第一分离件和所述第二分离件分别位于所述顶板的两相对侧。
11、在第一方面的其中一个实施例中，所述底板靠近所述顶板的一侧设置有垫高块，所述第二分离件安装于所述垫高块远离所述底板的一侧。
12、在第一方面的其中一个实施例中，所述驱动件包括固定架、伸缩缸和连接块，所述固定架固定于所述顶板背离所述底板的一侧，所述伸缩缸安装于所述固定架远离所述安装件的一端，所述连接块的延伸方向与所述伸缩缸的伸缩方向垂直，所述第一分离件设置于所述连接块远离所述伸缩缸的一端。
13、在第一方面的其中一个实施例中，所述伸缩缸包括至少以下之一：线性马达、液压缸、气压缸。
14、在第一方面的其中一个实施例中，所述剥离装置还包括真空系统，所述第一分离件和所述第二分离件均设有吸取面，所述吸取面与所述待分离工件的表面接触，所述第一分离件和所述第二分离件远离所述吸取面的一端与所述真空系统连接。
15、第二方面，本申请实施例还提供了一种衬底剥离设备，包括上述任一实施例中所述的剥离装置，所述剥离装置将扫描后的所述待分离工件的层结构分离。
16、本申请提出了一种剥离装置及衬底剥离设备。相对于相关技术，本申请通过第一分离件和第二分离件分别设置于待分离工件的两侧，在分离过程中，待分离工件被激光扫描后，所需分离的层结构之间发生脱离。将扫描后的待分离工件放置于固定件的通槽内，以对待分离工件的周侧进行限制，保障在分离过程中，待分离工件不发生偏移。在驱动件的作用下，第一分离件和第二分离件相互靠近，并分别固定待分离工件的两侧。然后，驱动件带动第一分离件和第二分离件相互远离，将待分离工件被激光剥离后的层结构分离，降低待分离工件在分离过程中的损伤，提高剥离良率。
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1.一种剥离装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的剥离装置，其特征在于，所述通槽贯穿所述固定件，并使所述固定件的一个边侧形成缺口结构，所述通槽的内侧壁与所述待分离工件的周侧抵接，以限制所述待分离工件在剥离过程中向周侧偏移。
3.根据权利要求1所述的剥离装置，其特征在于，所述剥离装置还包括安装件，所述固定件和所述驱动件均安装于所述安装件。
4.根据权利要求3所述的剥离装置，其特征在于，所述安装件包括顶板、支撑架和底板，所述支撑架的一侧与所述顶板连接，所述支撑架远离所述顶板的一侧与所述底板连接。
5.根据权利要求4所述的剥离装置，其特征在于，所述第一分离件和所述第二分离件分别位于所述顶板的两相对侧。
6.根据权利要求4所述的剥离装置，其特征在于，所述底板靠近所述顶板的一侧设置有垫高块，所述第二分离件安装于所述垫高块远离所述底板的一侧。
7.根据权利要求4所述的剥离装置，其特征在于，所述驱动件包括固定架、伸缩缸和连接块，所述固定架固定于所述顶板背离所述底板的一侧，所述伸缩缸安装于所述固定架远离所述安装件
8.根据权利要求7所述的剥离装置，其特征在于，所述伸缩缸包括至少以下之一：线性马达、液压缸、气压缸。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的剥离装置，其特征在于，所述剥离装置还包括真空系统，所述第一分离件和所述第二分离件均设有吸取面，所述吸取面与所述待分离工件的表面接触，所述第一分离件和所述第二分离件远离所述吸取面的一端与所述真空系统连接。
10.一种衬底剥离设备，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的剥离装置，所述剥离装置将扫描后的所述待分离工件的层结构分离。
...【技术特征摘要】
1.一种剥离装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的剥离装置，其特征在于，所述通槽贯穿所述固定件，并使所述固定件的一个边侧形成缺口结构，所述通槽的内侧壁与所述待分离工件的周侧抵接，以限制所述待分离工件在剥离过程中向周侧偏移。
3.根据权利要求1所述的剥离装置，其特征在于，所述剥离装置还包括安装件，所述固定件和所述驱动件均安装于所述安装件。
4.根据权利要求3所述的剥离装置，其特征在于，所述安装件包括顶板、支撑架和底板，所述支撑架的一侧与所述顶板连接，所述支撑架远离所述顶板的一侧与所述底板连接。
5.根据权利要求4所述的剥离装置，其特征在于，所述第一分离件和所述第二分离件分别位于所述顶板的两相对侧。
6.根据权利要求4所述的剥离装置，其特征在于，所述底板靠近所述顶板的一侧设置有垫高块，所述第二分离件安装于所述垫高块远离所述底板的...
【专利技术属性】
技术研发人员：邱成峰，蔡政银，姜建兴，
申请(专利权)人：深圳市思坦科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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