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一种基于机器视觉的石英坩埚缺陷检测设备制造技术

技术编号:42965314 阅读:6 留言:0更新日期:2024-10-15 13:11
本发明专利技术公开了一种基于机器视觉的石英坩埚缺陷检测设备,涉及坩埚检测技术领域,包括底座,底座的上表面固定安装有输送道,输送组件包括:两个传动台,两个传动台分别固定安装在输送道的内部两侧末端,检测机构,检测机构由外检组件和内检组件组成,外检组件包括:检测台,检测台固定安装在输送道的一侧表面,内检组件包括:底部固定板,底部固定板位于活动台的上表面中心处,出料机构,出料机构包括存储组件、分流组件和下料组件,存储组件包括:三个储料滑坡,下料组件包括:底盒,底盒与活动台之间通过轴体进行连接,分流组件包括:转动筒,在本方案中,通过设置有检测机构和出料机构,提高了检测效率,增强了检测的准确性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及坩埚检测,具体为一种基于机器视觉的石英坩埚缺陷检测设备


技术介绍

1、石英坩埚作为半导体、光伏等高科技产业中的关键材料,其质量直接关系到产品的性能和稳定性,在传统石英坩埚生产流程中,质量检测一直是关键环节但面临诸多挑战;

2、传统的石英坩埚检测普遍使用人工检测的检测方法,通常需要人工逐个对坩埚进行检查,检测速度受限于人工操作或设备的自动化程度,而且人工检测易受主观因素影响,如检测人员的经验、疲劳程度、视力差异等,导致检测结果不稳定,容易出现漏检或误判,并且在现有技术中,检测工序往往更侧重于坩埚表面的检测,而对于坩埚内部的检测则相对困难,需要额外的设备或人工操作,增加了检测成本和复杂度。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种基于机器视觉的石英坩埚缺陷检测设备,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种基于机器视觉的石英坩埚缺陷检测设备,包括:

3、底座,所述底座的上表面固定安装有输送道,所述输送道的一侧表面固定安装有预备台;

4、输送组件包括:两个传动台,两个所述传动台分别固定安装在输送道的内部两侧末端,两个所述传动台的内部设置有转台,所述转台的底面设置有用于带动其进行转动的伺服电机;

5、检测机构,检测机构由外检组件和内检组件组成,所述外检组件包括:检测台,所述检测台固定安装在输送道的一侧表面,所述检测台的底面设置有转动筒,所述检测台的底面还设置有两个连接臂,两个所述连接臂之间设置有照明环;

6、所述内检组件包括:底部固定板,所述底部固定板位于活动台的上表面中心处,所述底部固定板的中心处设置有可升降的升降台,所述升降台的中心处设置有可转动的转动柱,所述转动柱的上表面设置有内部摄像头,所述内部摄像头的侧表面还设置有两个加强灯,所述底部固定板的上表面还设置有四个内部照明灯;

7、出料机构,所述出料机构包括存储组件、分流组件和下料组件,所述存储组件包括:三个储料滑坡,三个所述储料滑坡均固定安装在底座的上表面,三个所述储料滑坡的底部均设置有用于收集检测品的收集盒;

8、所述下料组件包括:底盒,所述底盒与活动台之间通过轴体进行连接,所述活动台的底面还设置有与传动带相配合的底部套环;

9、所述分流组件包括:转动筒,所述转动筒位于底座的上表面,且位于三个储料滑坡的交汇之处,所述转动筒的底面设置有驱动其进行转动的制动电机。

10、进一步地,所述外检组件还包括:固定架,所述固定架的底部两端分别与一个连接臂的上表面固定连接,所述固定架的上表面设置有支架,所述支架的上表面设置有驱动电机,所述驱动电机的输出轴末端设置有转动盘,所述转动盘的两端均通过连接弹簧连接有活动支杆,两个所述活动支杆的上表面均设置有小型伸缩杆,两个所述活动支杆的底面均设置有一个外部摄像头,所述外部摄像头的一侧表面设置有用于标记坩埚检测结果的标记擦块,两个所述外部摄像头的底面均设置有滑块,所述照明环的上表面开设有与滑块相配合的滑道槽。

11、进一步地,所述输送组件还包括:传动带,传动带位于两个传动台之间,所述传动带的表面套设有一个可活动的活动台,所述活动台的一侧表面设置有两个触发顶桩,所述输送道的上表面还设置有可转动的限制板,所述限制板通过两个连接轴连接在输送道的侧壁上,所述限制板的一侧表面设置有两个与触发顶桩相配合的触压按钮。

12、进一步地,所述内检组件还包括:信号传输器,所述信号传输器位于活动台的内部,所述信号传输器的上方表面设置有连接管,所述连接管的上表面固定安装有升降片,所述升降片的上表面设置有四个伸缩电机,所述伸缩电机的顶面与底部固定板的底面固定连接,所述升降片的上表面还设置有小型电机,所述小型电机的输出轴末端设置有啮合片,所述啮合片与啮合套环相啮合。

13、进一步地,所述分流组件还包括:安装框,所述安装框位于转动筒的一侧表面,所述安装框的内部设置有活动凸块,所述活动凸块的一侧表面设置有弹性板,所述弹性板的一侧表面与安装框的内壁固定连接,所述弹性板的另一侧表面设置有受压板。

14、进一步地,所述底座的上表面还设置有辅助架,所述辅助架的侧表面设置有两个辅助顶块,与辅助架相近的传动台的侧表面也设置有一个辅助顶块。

15、进一步地,所述下料组件还包括:电动顶杆,所述电动顶杆位于底盒的内部上表面,所述电动顶杆的上表面与活动台的底面固定连接,所述底盒的侧表面还设置有两个控制按钮。

16、进一步地,所述预备台的上表面开设有测品槽,所述预备台的上方设置有可升降的安装基台,所述安装基台的底面固定安装有限制杆,所述限制杆贯穿预备台的中心处,所述安装基台的上表面设置有抓取机械臂,所述安装基台的底面还设置有液压杆,所述液压杆的底面固定安装在预备台的上表面。

17、与现有技术相比,本专利技术的有益效果是:

18、1、在本方案中,通过设置有外检组件,实现了对坩埚的全面检测,外部摄像头在滑道槽内的滑动,结合照明环提供的充足光线,确保了检测过程中的高清晰度和准确性,提高了瑕疵检测的效率,能够有效识别出微小裂纹和缺陷,避免了传统人工检测中可能存在的漏检和误判,同时,外部摄像头保持与坩埚表面一定距离,有效防止了反光对检测结果的干扰,进一步提升了检测的准确性和可靠性,在检测到瑕疵后,小型伸缩杆驱动外部摄像头靠近坩埚表面,进行细致观测和裂纹程度判断,确保了检测结果的详细性和准确性;

19、2、在本方案中,通过设置有内检组件,通过升降台和伸缩电机的,使内部摄像头能够进入坩埚内部,对其进行全面深入的检测,加强灯和内部照明灯内部摄像头提供了充足的照明,确保了拍摄到的图像清晰,四个伸缩电机的协同工作,使得内部摄像头能够像外检组件一样,灵活调整观测视角和距离,实现对坩埚内部各个角落的细致检查,这种设计不仅提高了内部检测的效率,还确保了检测的全面性,避免了因视角受限而导致的漏检;

20、3、在本方案中,通过设置有出料机构,通过活动台与传动台的配合,实现了坩埚从检测到分类收集的无缝衔接,根据检测结果,坩埚能够被迅速且准确地推送至对应的储料滑坡,最终滑入收集盒中进行分类收集,减少了中间环节的等待时间,避免了因人工分类可能导致的混乱和错误,提高了整体生产效率和管理水平。

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【技术保护点】

1.一种基于机器视觉的石英坩埚缺陷检测设备,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的石英坩埚缺陷检测设备,其特征在于:所述外检组件还包括:固定架(18),所述固定架(18)的底部两端分别与一个连接臂(17)的上表面固定连接,所述固定架(18)的上表面设置有支架,所述支架的上表面设置有驱动电机(20),所述驱动电机(20)的输出轴末端设置有转动盘(19),所述转动盘(19)的两端均通过连接弹簧连接有活动支杆(21),两个所述活动支杆(21)的上表面均设置有小型伸缩杆(22),两个所述活动支杆(21)的底面均设置有一个外部摄像头(24),所述外部摄像头(24)的一侧表面设置有用于标记坩埚检测结果的标记擦块(25),两个所述外部摄像头(24)的底面均设置有滑块,所述照明环(23)的上表面开设有与滑块相配合的滑道槽(26)。

3.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的石英坩埚缺陷检测设备,其特征在于:所述输送组件还包括:传动带(10),传动带(10)位于两个传动台(8)之间,所述传动带(10)的表面套设有一个可活动的活动台(16),所述活动台(16)的一侧表面设置有两个触发顶桩(30),所述输送道(2)的上表面还设置有可转动的限制板(12),所述限制板(12)通过两个连接轴(28)连接在输送道(2)的侧壁上,所述限制板(12)的一侧表面设置有两个与触发顶桩(30)相配合的触压按钮(27)。

4.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的石英坩埚缺陷检测设备,其特征在于:所述内检组件还包括:信号传输器(33),所述信号传输器(33)位于活动台(16)的内部,所述信号传输器(33)的上方表面设置有连接管(38),所述连接管(38)的上表面固定安装有升降片(35),所述升降片(35)的上表面设置有四个伸缩电机(36),所述伸缩电机(36)的顶面与底部固定板(34)的底面固定连接,所述升降片(35)的上表面还设置有小型电机(37),所述小型电机(37)的输出轴末端设置有啮合片,所述啮合片与啮合套环(44)相啮合。

5.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的石英坩埚缺陷检测设备,其特征在于:所述分流组件还包括:安装框(47),所述安装框(47)位于转动筒(15)的一侧表面,所述安装框(47)的内部设置有活动凸块(48),所述活动凸块(48)的一侧表面设置有弹性板,所述弹性板的一侧表面与安装框(47)的内壁固定连接,所述弹性板的另一侧表面设置有受压板(49)。

6.根据权利要求5所述的一种基于机器视觉的石英坩埚缺陷检测设备,其特征在于:所述底座(1)的上表面还设置有辅助架(14),所述辅助架(14)的侧表面设置有两个辅助顶块(46),与辅助架(14)相近的传动台(8)的侧表面也设置有一个辅助顶块(46)。

7.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的石英坩埚缺陷检测设备,其特征在于:所述下料组件还包括:电动顶杆(45),所述电动顶杆(45)位于底盒(29)的内部上表面,所述电动顶杆(45)的上表面与活动台(16)的底面固定连接,所述底盒(29)的侧表面还设置有两个控制按钮(31)。

8.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的石英坩埚缺陷检测设备,其特征在于:所述预备台(5)的上表面开设有测品槽(13),所述预备台(5)的上方设置有可升降的安装基台(50),所述安装基台(50)的底面固定安装有限制杆(6),所述限制杆(6)贯穿预备台(5)的中心处,所述安装基台(50)的上表面设置有抓取机械臂(9),所述安装基台(50)的底面还设置有液压杆(7),所述液压杆(7)的底面固定安装在预备台(5)的上表面。

...

【技术特征摘要】

1.一种基于机器视觉的石英坩埚缺陷检测设备,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的石英坩埚缺陷检测设备,其特征在于:所述外检组件还包括:固定架(18),所述固定架(18)的底部两端分别与一个连接臂(17)的上表面固定连接,所述固定架(18)的上表面设置有支架,所述支架的上表面设置有驱动电机(20),所述驱动电机(20)的输出轴末端设置有转动盘(19),所述转动盘(19)的两端均通过连接弹簧连接有活动支杆(21),两个所述活动支杆(21)的上表面均设置有小型伸缩杆(22),两个所述活动支杆(21)的底面均设置有一个外部摄像头(24),所述外部摄像头(24)的一侧表面设置有用于标记坩埚检测结果的标记擦块(25),两个所述外部摄像头(24)的底面均设置有滑块,所述照明环(23)的上表面开设有与滑块相配合的滑道槽(26)。

3.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的石英坩埚缺陷检测设备,其特征在于:所述输送组件还包括:传动带(10),传动带(10)位于两个传动台(8)之间,所述传动带(10)的表面套设有一个可活动的活动台(16),所述活动台(16)的一侧表面设置有两个触发顶桩(30),所述输送道(2)的上表面还设置有可转动的限制板(12),所述限制板(12)通过两个连接轴(28)连接在输送道(2)的侧壁上,所述限制板(12)的一侧表面设置有两个与触发顶桩(30)相配合的触压按钮(27)。

4.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的石英坩埚缺陷检测设备,其特征在于:所述内检组件还包括:信号传输器(33),所述信号传输器(33)位于活动台(16)的内部,所述信号传输器(33)的上方表面设置有连接管(38),所述连接管(38)的上表面固定安装有升降片(35),所述升降片(35)的上表面设置有四个...

【专利技术属性】
技术研发人员:汪国华徐顺清王吉祥
申请(专利权)人:常州裕能石英科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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